蔣波

江蘇邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)泰山路西側(cè)坐落著一家并不起眼的企業(yè)——徐州博康信息化學(xué)品有限公司，近段時間以來，這個占地近200畝的小工廠卻成為資本市場追逐的目標(biāo)之一。

從8月11日到9月11日，短短一個月時間內(nèi)，華為旗下深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)向徐州博康新增投資3億元，成為華為哈勃最大單筆半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈投資;上市公司華懋科技發(fā)布公告，通過參與設(shè)立的產(chǎn)業(yè)基金東陽凱陽科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè)（有限合伙）對徐州博康進行投資。

科技巨頭和上市公司為何把目光投向江蘇邳州這家企業(yè)？

“我們自成立至今，一直專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)。先后攻克了有效去除光刻膠單體金屬離子和產(chǎn)品純化工藝等多項難題，填補了國內(nèi)在該項技術(shù)上的空白?！毙熘莶┛刀麻L傅志偉說，資本市場看好徐州博康，既是上市公司對發(fā)展光刻膠產(chǎn)業(yè)的一種戰(zhàn)略布局，更是對徐州博康光刻膠領(lǐng)域自主研發(fā)成果的認可。

找準(zhǔn)技術(shù)突破口

走進徐州博康產(chǎn)品展廳，一排排裝滿液體的褐色玻璃瓶罐擺放在展臺上，標(biāo)注著光刻膠單體、樹脂、光引發(fā)劑等光刻膠組成材料名稱，引人注目。

“過去這些光刻膠材料我們高價買不來?，F(xiàn)在我們在光刻膠材料研發(fā)領(lǐng)域取得突破，很多國外廠商反過來向我們訂購產(chǎn)品。”傅志偉端起一瓶單體試劑告訴記者，如果把芯片比作電子信息產(chǎn)業(yè)的皇冠，那光刻技術(shù)就是皇冠上的明珠，而作為芯片研發(fā)的重要材料——光刻膠，一直被發(fā)達國家攥在手里，成為制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”環(huán)節(jié)之一。

“我們把光刻膠單體作為突破口，心無旁騖專注研發(fā)，腳踏實地做產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化，成功實現(xiàn)了光刻膠單體的自主研發(fā)及生產(chǎn)?！备抵緜フf，企業(yè)當(dāng)時在沒有經(jīng)驗、缺少專業(yè)技術(shù)人才、缺失關(guān)鍵上游原材料的條件下啟動研發(fā)及生產(chǎn)，雖然經(jīng)歷曲折坎坷，但橫下一條心就一定能做成。

“光刻膠的研發(fā)，關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。”徐州博康信息化學(xué)品有限公司生產(chǎn)總監(jiān)劉司飛參與了公司光刻膠單體量產(chǎn)、樹脂研發(fā)以及配膠的全鏈條工作，他感慨地說，能夠參與其中感覺很驕傲、很自豪，累并快樂著。

為了讓光刻膠單體材料實現(xiàn)從實驗室小批量到生產(chǎn)線噸位級生產(chǎn)并品質(zhì)穩(wěn)定，劉司飛曾和研發(fā)團隊一起立下技術(shù)攻關(guān)軍令狀，半年時間吃住在公司，沒日沒夜地試驗，最終實現(xiàn)了193納米單體產(chǎn)品金屬離子含量由100ppb降到了10ppb，純化提高了10倍，滿足智能手機芯片等集成電路對于光刻膠的需求。

目前，徐州博康自主研發(fā)了光刻膠重要材料——光刻膠單體，同時還將國內(nèi)光刻膠單體由248納米的研發(fā)生產(chǎn)提升到193納米研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化階段;成功研發(fā)G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品并形成量產(chǎn)，為國內(nèi)主流廠商批量供貨。

走自主研發(fā)之路

“光刻膠在玻璃釜里制造和在流水線上生產(chǎn)有很大區(qū)別，試生產(chǎn)階段要時刻關(guān)注數(shù)據(jù)變化，確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。”在徐州博康新廠大數(shù)據(jù)控制中心，公司產(chǎn)品總監(jiān)邵嚴亮正帶領(lǐng)團隊針對一款即將量產(chǎn)的光刻膠進行穩(wěn)定性評估。

工欲善其事，必先利其器。今年6月份，徐州博康建成并投產(chǎn)國內(nèi)最完備的高水平光刻膠研制基地，每年可生產(chǎn)1100噸光刻材料、10000噸電子級溶劑，產(chǎn)值達20億元。“徐州博康不僅在光刻膠單體生產(chǎn)上實現(xiàn)了突圍，也在光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈研發(fā)制造及光刻機的研發(fā)上全面發(fā)力?！鄙蹏懒两榻B說，目前徐州博康光刻膠單體占全球市場份額5%，儲備了全球80%的技術(shù)，開發(fā)出10多個高端光刻膠系列產(chǎn)品。

打破國外壟斷、實現(xiàn)自主研發(fā)離不開科技創(chuàng)新的支撐，而提高科技創(chuàng)新支撐能力，人才是關(guān)鍵。

“為了給企業(yè)自主研發(fā)提供源源不斷的技術(shù)力量，我們在國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域廣發(fā)英雄帖，組建了120余人的研發(fā)團隊，占公司員工超40%，同時搭建了3000平方米國際標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)中心作為技術(shù)創(chuàng)新平臺?！备抵緜フf，通過不計其數(shù)的試驗，忍耐了無數(shù)次的失敗、重來，再失敗、再重來，公司自主研發(fā)收獲頗豐，已獲批27項發(fā)明專利，正在申請的專利達41項，并具有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。

布局中高端市場

傅志偉說，早在2013年，中科院微電子所就與徐州博康展開了密切合作，在光刻研發(fā)方面突飛猛進，并不斷挑戰(zhàn)一個又一個技術(shù)封鎖，最終使得光刻技術(shù)的研發(fā)達到國際先進技術(shù)水平。

在光刻材料取得重大進展的同時，徐州博康還與中科院微電子所聯(lián)合組建了一支新團隊——江蘇影速，開始進軍先進光刻設(shè)備領(lǐng)域。

短短3年時間，江蘇影速就完成了半導(dǎo)體納米級制板光刻設(shè)備研發(fā)及PCB激光直接成像設(shè)備研發(fā)兩個國家科技重大專項，成為我國唯一能夠制造“半導(dǎo)體納米級制板光刻設(shè)備”的企業(yè)，產(chǎn)品交付國內(nèi)研究所、軍工企業(yè)及一線廠商，逐步擠壓進口設(shè)備的市場空間，并結(jié)束了我國半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域“零出口”的歷史。

與此同時，徐州博康收購了英國的光刻機制造企業(yè)NBL電子束光刻機公司并落戶徐州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，未來將在園區(qū)內(nèi)主要生產(chǎn)電子束光刻機、掃描電鏡、高壓電源以及電子束槍、無磁電機等高科技產(chǎn)品。

目前，徐州博康已經(jīng)發(fā)展為全國為數(shù)不多的中高端光刻膠材料研發(fā)和規(guī)模化生產(chǎn)企業(yè)，成為全球最快激光直寫光刻機的發(fā)明者和制造商。談到企業(yè)未來的發(fā)展，傅志偉說：“我們要努力掌握和創(chuàng)造屬于我們自己的光刻技術(shù)及產(chǎn)品，改變?nèi)蚬饪坍a(chǎn)業(yè)格局?！?/p>