西安工業(yè)大學(xué)田愛玲團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)、研發(fā)的新型三維動(dòng)態(tài)光學(xué)顯微鏡,基于目前的動(dòng)態(tài)觀察顯微鏡和測(cè)量用的掃描三維顯微鏡的應(yīng)用現(xiàn)狀,采用數(shù)字全息技術(shù)原理,記錄攜帶有被觀測(cè)物體輪廓或相位信息的單幀數(shù)字全息干涉圖,利用計(jì)算機(jī)數(shù)值重建算法對(duì)所記錄的全息圖進(jìn)行數(shù)值重建獲得被觀測(cè)物體的相位和振幅信息,從而完成被測(cè)物體三維形貌的重構(gòu),達(dá)到非接觸、全場(chǎng)、動(dòng)態(tài)觀察、測(cè)試、記錄和存儲(chǔ)的功能。最終研制三維動(dòng)態(tài)光學(xué)顯微鏡樣機(jī)獲得國(guó)家外觀專利許可(ZL201830159740.9)),實(shí)現(xiàn)了微觀形貌的納米級(jí)測(cè)量、并可延伸至動(dòng)態(tài)測(cè)試,其主要技術(shù)指標(biāo)有:① 空間采樣:1 280*1 024;② 橫向分辨率:0.5 μm;③ 縱向分辨率:5 nm;④縱向測(cè)量深度:平滑樣品根據(jù)視場(chǎng)深度而定,臺(tái)階樣品不超過半個(gè)波長(zhǎng)。與其它顯微技術(shù)相比,數(shù)字全息顯微術(shù)有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn):① 能夠記錄和再現(xiàn)物體的三維信息,且具有較高的分辨率;② 對(duì)樣本物體的影響較??;③ 設(shè)備簡(jiǎn)單,成本低廉;④ 操作簡(jiǎn)便,可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)試;⑤ 對(duì)測(cè)量環(huán)境要求不高。因此,本項(xiàng)目的產(chǎn)業(yè)化能夠促進(jìn)光學(xué)顯微鏡的更新?lián)Q代,符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的發(fā)展方向。該項(xiàng)目的研究技術(shù)將在很大程度上改善我國(guó)相關(guān)領(lǐng)域在測(cè)量觀察方面的現(xiàn)狀,對(duì)相關(guān)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步有著巨大的推進(jìn)作用。目前市場(chǎng)空間較大,符合行業(yè)的發(fā)展方向,技術(shù)門檻較高,可應(yīng)用于微小物體的形貌檢測(cè)、微形變分析以及生物細(xì)胞形態(tài)測(cè)量等多個(gè)領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)三維觀測(cè)。