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量子點原位光刻

2023-05-26 18:53高志遠
大學(xué)生 2023年5期
關(guān)鍵詞:全彩光刻鈣鈦礦

高志遠

想要進入“元宇宙”,感受到接近于現(xiàn)實的虛擬效果,需要極為苛刻的顯示技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、渲染技術(shù)和計算處理能力。

目前,用戶體驗VR一般都需要佩戴VR頭盔,VR顯示器件是VR頭盔的重要組成部分,在諸多顯示器件中,微型發(fā)光二極管(Micro-LED)是一種由微米級半導(dǎo)體發(fā)光單元陣列組成,能將電能轉(zhuǎn)化為光能的電致發(fā)光器件。與傳統(tǒng)的液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管(OLED)相比,具有分辨率和對比度更高、響應(yīng)速度更快,功耗更低,以及可拼接等特點,是目前頭戴式顯示最具有潛力的技術(shù)。

但當(dāng)前其大規(guī)模商業(yè)化面臨著技術(shù)不成熟、成本高等難題,技術(shù)瓶頸之一是如何實現(xiàn)Micro-LED的全彩化。針對這一問題,目前主要有兩種解決方案,一是通過巨量轉(zhuǎn)移,如精準抓取技術(shù)、自組裝技術(shù)、轉(zhuǎn)印技術(shù)等,但此技術(shù)路線存在小尺寸紅光芯片效率低、巨量轉(zhuǎn)移涉及復(fù)雜的驅(qū)動電路設(shè)計等問題;二是采用藍光Micro-LED結(jié)合量子點色轉(zhuǎn)換陣列的技術(shù)。藍光Micro-LED制備工藝成熟、成本相對較低。量子點色轉(zhuǎn)換技術(shù)只需要整體地制造具有極高像素密度的藍光Micro-LED顯示器,通過圖案化的量子點色轉(zhuǎn)換陣列將其部分藍色像素分別轉(zhuǎn)換成紅色和綠色,即可實現(xiàn)全彩顯示。

量子點圖案化技術(shù)有很多,比如光刻、轉(zhuǎn)印、噴墨打印、激光直寫、電泳沉積等。在諸多圖案化技術(shù)中,光刻技術(shù)具有分辨率更高、可規(guī)?;a(chǎn)、技術(shù)成熟度高等優(yōu)勢。但現(xiàn)有的光刻工藝存在量子點在光刻過程中被破壞的風(fēng)險,比如加工溶劑來溶解破壞鈣鈦礦量子點,高能紫外光直接對量子點進行曝光致使光學(xué)性能大幅下降。

2016年,我們智能光子學(xué)團隊發(fā)明了鈣鈦礦量子點的原位制備技術(shù),只需要將含有鈣鈦礦前驅(qū)體的聚合物涂膜,就可以制備出高效率發(fā)光的量子點光學(xué)膜,目前已經(jīng)在液晶顯示技術(shù)上得到應(yīng)用。2022年,針對微顯示的圖案化應(yīng)用,我們又發(fā)明了鈣鈦礦量子點的光刻原位制備技術(shù),通過將鈣鈦礦前驅(qū)體與光刻膠混合,再通過掩模板進行紫外曝光,制備出高分辨率鈣鈦礦量子點圖案。這種量子點原位光刻技術(shù),規(guī)避了在光刻過程中量子點的破壞風(fēng)險,更具產(chǎn)業(yè)化價值。最近,我們正在積極推動AR顯示樣機的開發(fā)。

突破了全彩化等關(guān)鍵技術(shù),Micro-LED極有可能成為具有顛覆性和變革性的下一代主流顯示技術(shù),帶來新一輪顯示技術(shù)升級換代。

責(zé)任編輯:刁雅琴

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