付純鶴，魏祥英，孫明睿,宋麗娟

(中國電子科技集團公司第四十五研究所，北京東燕郊 101601)

隨著電子技術的發(fā)展，用于電子組裝的PCB板線寬、間距、焊盤越來越細小，已到幾十微米級，復合層數(shù)最高已達到60層。傳統(tǒng)的人工目測和針床在線測試遠遠不能適應現(xiàn)在工藝技術水平和產(chǎn)品批量的要求，更嚴重的是，有些產(chǎn)品缺陷是顯微鏡也檢查不出來的，因此，檢驗手段己成為工藝線上必須解決的一個大問題。而PCB自動光學檢測系統(tǒng)就是以檢測出印刷線路板生產(chǎn)工藝造成的各種細微缺陷為目的的設備。該設備以相機獲取的圖像為處理目標，為了減少誤檢和漏檢，缺陷檢測算法要求圖像在指定的放大倍率下有清晰的圖像。此外，考慮到增強設備的適應性，并且兼顧效率和檢測精度，對于不同線寬標準的PCB板，設備使用了高精度變倍鏡頭。當線寬較大時，可縮小成像倍數(shù)以提高效率；當線寬較小時，可以增大成像倍數(shù)以提高檢測精度。如果通過人工進行設備的焦距和倍率校正，需要用調(diào)焦光柵板對每種倍率都進行校正，費工費時。而且，由于操作人員不同、評價標準單一、光柵板放置角度存在誤差和圖像清晰度超出人眼分辨極限等原因，會產(chǎn)生不確定性誤差。因此，PCB自動光學檢測系統(tǒng)中需要一種能精確快捷的自動調(diào)節(jié)焦距和倍率的方法，對于生產(chǎn)中微米級缺陷檢測要求的印刷版，調(diào)焦的焦距誤差應達到±5 μm，倍率的誤差1.22‰，才能滿足整機系統(tǒng)對采集圖像環(huán)節(jié)的要求。

1 系統(tǒng)構成

該系統(tǒng)中包括工控機、采集圖像的鏡頭、CCD、運動控制卡、步進電機，控制照明的D/A卡及光源，其中工控機控制所有的調(diào)焦、變倍、照明控制、圖像采集及處理等過程。

圖1 系統(tǒng)結(jié)構示意圖

參考目標是圖2所示的光柵玻璃板，該板上是固定線寬及間距的光刻線條，圖形尺寸精度達到±1 μm，能滿足作為調(diào)焦參照物的精度要求。光柵玻璃板安裝在工作臺上相應位置，固定時光柵線條的排列方向與線陣CCD方向要嚴格正交，從而保證板上作為已知數(shù)據(jù)的線間距與CCD上的對應測量結(jié)果能嚴格對應，不會因角度誤差過大帶來計算上的偏差。因采用的CCD像元尺寸為7 μm，如取像倍數(shù)為7：6，則物方對應的像素分辨率為6 μm，用于計算的取像寬度則為6 μm的整數(shù)倍。

圖2 參考目標

2 操作流程

本系統(tǒng)自動調(diào)焦的思想是根據(jù)所需倍率下的理論物像距，把CCD和鏡頭移動到其相應的理論物像距位置。因為鏡頭的焦距會有一定誤差，所以此時的圖像并不清晰，倍率也不準確。此時設置CCD的采樣步長為相應倍率下焦深的一半，并設置采樣次數(shù)，CCD每移動一個步長就采集一幅圖像并進行圖像處理。在一定的采樣次數(shù)和移動范圍內(nèi)，獲取的圖像會從不清晰到清晰然后又不清晰，軟件會根據(jù)圖像處理對比度的高低來推薦CCD聚焦的最佳位置。根據(jù)最佳位置時采到的圖像中光柵板圖像尺寸，計算出當前圖像的實際倍率，并與要求進行比較，根據(jù)差值計算出物像距相應的移動量，之后通過步進電機帶動鏡頭和CCD移動相應的距離。重復上述過程，兩個循環(huán)過程內(nèi)就可以找到所需的成像清晰的焦距和指定倍率下的物像距電機位置。流程圖如圖3所示：

3 焦距評價

焦距評價函數(shù)應具有的特性有：無偏性、單峰性、能反映離焦極性、較高的信噪比以及計算量小等。常用的幾種集聚評價函數(shù)有以下5種：

(1)高頻分量法，即對圖像進行傅立葉變換，提取其中的高頻成分作為焦距評價函數(shù)。這種方法計算量大，不適于一般情況下的快速、實時測量；

(2)平滑法，即計算圖像上相鄰像素的平滑度，再對整個像面求和作為集聚評價函數(shù)，其最大值為圖像的聚焦判據(jù)，該方法靈敏度不高；

圖3 調(diào)焦流程圖

(3)閾值積分法，即根據(jù)圖像的灰度分布，選取一個閾值，并對大于閾值的灰度進行求和，其最大值為圖像的聚焦判據(jù)，該方法測量精度不高；

(4)灰度差分法，這是一個形式簡單但很有效的焦距評價函數(shù)，如式(1)所示：

它是利用圖像的相鄰像素灰度值差的絕對值之和作為焦距評價函數(shù)，即：當圖像聚集時，取最大值；

(5)拉普拉斯像能函數(shù)，這是一個非常有效的評價函數(shù)，在焦距附近具有較高的靈敏度，但計算量較大，其形式如式(2)和式(3)所示，當圖像聚焦時，拉普拉斯像能函數(shù)取得最大值。

根據(jù)以上分析，本系統(tǒng)采用一種類似灰度差分的方法，能實現(xiàn)快速、實時和有效的測量要求。用已知厚度、線寬及間距的光柵玻璃板作為調(diào)焦目標物，通過采集的圖像計算光柵線條與間距邊界的像素灰度變化曲線，若邊界的灰度值過渡的曲線斜率越大，即圖像越銳利，那么聚焦效果就越好。為了消除偶然誤差，將圖像進行y向投影得到f(x)灰度曲線，如公式(4)所示：

h為采集圖像的高度，|f(x)|越大聚焦效果越好，效果如圖4所示。

圖4 圖像的y向灰度投影曲線

4 倍率的計算

4.1 圖像預處理

由于圖像本身是黑白相間的線條與間距，進行二值化處理后更容易計算，且二值化閾值選擇灰度平均值即可。二值化閾值如式(5)所示：y向投影后f(x)的二值化結(jié)果如圖5所示。

圖5 二值化結(jié)果

4.2 計算倍率

從x=0開始，第一次(f(x)+f(x+1))的值不為零時記下當前x坐標的值，條數(shù)N置為1，此后每一次(f(x)+f(x+1))的值不為零時N加1，最后一個(f(x)+f(x+1))的值不為零時記下當前x坐標的值，當前倍率T如公式(6)所示：

因光柵條上線寬與線間距相等，故d為圖像中線條或間距的實際寬度。

5 反饋調(diào)節(jié)物像距

設所需倍率為T，物距為l，像距為l'，鏡頭焦距為 f，在倍率 T 下，物距為 l1，像距為 l1：

將已上結(jié)果帶入下式：

6 調(diào)焦及倍率調(diào)整結(jié)果

圖6所示為調(diào)整過程中的一組圖像及Y向灰度投影曲線，按圖號遞增的順序像距是遞增的，圖6.3為最佳倍率的最佳焦面，從圖中也可明顯地看出圖像由不清晰到清晰的變化趨勢。

圖6 自動調(diào)焦效果圖

7 結(jié)束語

本文描述的自動調(diào)節(jié)焦距和倍率的方法，可以達到線掃描相機在8192個像素的取像范圍內(nèi)誤差不超過10個像素的效果，即倍率誤差在1.22‰之內(nèi)，精確到10-3量級，整個調(diào)整焦距和倍率的過程簡單快捷，加快了設備初始校正過程，能滿足整機系統(tǒng)的使用要求。

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