微電子計量測試在航空、航天、交通、通信,尤其是在國防領域都有著重要的意義。而當前我國,微電子參數(shù)計量測試、測試設備計量檢定等方面普遍遇到困難,也是計量測試基礎行業(yè)中比較薄弱的環(huán)節(jié)。

本書作者在25年微電子計量測試工作中,積累了大量的經(jīng)驗,而本書就是這些經(jīng)驗的總結,也是我國第一部有關微電子計量測試技術的專著。

本書對微電子計量技術、微電子測試技術、微電子測試設備以及微電子測試程序設計,從概念到具體的技術細節(jié),都作了系統(tǒng)的介紹,具有很好的實用價值。

相信,本書對從事微電子計量測試的專業(yè)技術人員、相關的管理干部,以及相關專業(yè)的學生們都有很好的參考價值。

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