一種鈦基羥基磷灰石生物醫(yī)用復(fù)合材料的電沉積制備方法

公開號 103014801

公開日 2013.04.03

申請人 天津市玄真生物醫(yī)藥科技發(fā)展有限公司

地址 天津市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)第三大街捷達(dá)園2號3-402

本發(fā)明公開了一種在鈦或鈦合金表面電沉積羥基磷灰石涂層的制備方法。以預(yù)處理后的鈦或鈦合金基片為陰極，以鍍鉑鈦網(wǎng)為陽極，電鍍液加熱至40～80 °C的恒溫，磁力攪拌條件下，采用恒電流或恒電位方式進(jìn)行電沉積：其中，電流密度為 1.0～50.0 mA/cm2，沉積電位為1.0～10.0 V。電鍍液組成為：Ca2+20.2～80.0 mmol/L，10.0～50.0 mmol/L，Ca與P的摩爾比 1.6～2.0，支持電解質(zhì)濃度0.1～1.0 mol/L，pH 4.2～5.0。本發(fā)明采用恒電流或恒電位方式電沉積制備的羥基磷灰石涂層具有結(jié)晶細(xì)致、表面光滑平整且與基底結(jié)合力強(qiáng)的特點(diǎn)，具有良好的生物活性和力學(xué)性能。本發(fā)明的鈦基羥基磷灰石復(fù)合材料的制備方法，其反應(yīng)條件溫和，避免了高溫處理對材料生物活性的影響；其工藝簡單，所需儀器投資較低，克服了現(xiàn)有方法所存在的設(shè)備昂貴及操作復(fù)雜帶來的一系列問題。

一種印制線路板酸性鍍銅電鍍液及其制備和應(yīng)用方法

公開號 103060860

公開日 2013.04.24

申請人 中南大學(xué)

地址 湖南省長沙市岳麓區(qū)麓山南路932號

本發(fā)明公開了一種線路板酸性鍍銅用的電鍍液及其制備與應(yīng)用方法，本發(fā)明特征在于自制的合成整平劑，將該整平劑與水溶性銅鹽、硫酸、走位劑、氯離子及光澤劑和表面活性劑配合組成電鍍液。所述的自制的整平劑為：N?乙烯基咪唑鎓鹽與丙烯基脂類的共聚物以及N?乙烯基咪唑與環(huán)氧化物聚合物中的一種或多種。含有自制合成整平劑的電鍍液有很好的深度能力和分散能力，能提高印制線路板通孔孔內(nèi)銅層均勻分布，還能有效降低表面銅層厚度與孔中心銅層厚度的比。

電鍍液、其制備方法及應(yīng)用此電鍍液的鍍鋅工藝

公開號 103014785

公開日 2013.04.03

申請人 廣州博泉環(huán)保材料科技有限公司

地址 廣東省廣州市增城市石灘鎮(zhèn)上塘村東二社四方墩(土名)廠房A2之二

本發(fā)明公開了一種電鍍液，主要由以下物質(zhì)的水溶液組成：鋅、氫氧化鈉、碳酸鈉、調(diào)整劑、開缸劑、主光劑和走位劑。本發(fā)明通過在電鍍液中加入幾種添加劑，調(diào)整適當(dāng)?shù)匿\離子濃度和電流密度，使電鍍液具有完美的分散能力、較好的電流效率、均鍍能力和深鍍能力。該電鍍液所得鍍層具有更好的物理性能，更加光亮飽滿、均勻細(xì)膩，并具有較強(qiáng)的結(jié)合能力。本發(fā)明還公開了上述電鍍液的制備方法以及應(yīng)用上述電鍍液的鍍鋅工藝。

一種熱浸鍍鋅鋁鎂合金鍍層的助鍍劑

公開號 103031505

公開日 2013.04.10

申請人 山東電力集團(tuán)公司電力科學(xué)研究院

地址 山東省濟(jì)南市市中區(qū)二環(huán)南路1號

本發(fā)明涉及鋼鐵材料表面鍍覆工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種熱浸鍍鋅鋁鎂合助金鍍層的助鍍劑，各原料質(zhì)量分?jǐn)?shù)如下：ZnCl220%～40%，NaF 0.1%～1.0%，CeCl20.1%～5%，SnCl20.1%～1.0%，乙醇5%～10%，復(fù)合表面活性劑0.5%～5.0%。本發(fā)明的助鍍劑，可得到結(jié)合良好、致密均勻的鋅鋁鎂合金鍍層，合金鍍層耐蝕性能是熱鍍鋅鍍層的3倍以上，能夠廣泛適用于1%～25% Al含量的鋅鋁合金鍍液。

脈沖電沉積制備Zn–Pb–Bi–La合金電極材料的方法

公開號 103060846

公開日 2013.04.24

申請人 桂林理工大學(xué)

地址 廣西壯族自治區(qū)桂林市建干路12號

本發(fā)明公開了一種脈沖電沉積制備 Zn–Pb–Bi–La合金電極材料的方法。用 ZnCl2、H3BO3、BiCl3、Pb(CH3COO)2、二水合檸檬酸鈉、La2O3以及質(zhì)量分?jǐn)?shù)為36%的乙酸按要求配制鍍液；將銅基體依次進(jìn)行砂紙打磨、蒸餾水洗、化學(xué)除油、蒸餾水洗、超聲波除油和蒸餾水洗等預(yù)處理；將純Zn板和預(yù)處理后的銅基體放入鍍液中進(jìn)行施鍍。本發(fā)明操作簡單、方便、易于操作和控制，鍍液穩(wěn)定，不易變質(zhì)，制備出Zn–Pb–Bi–La合金作為鋅電極材料技術(shù)參數(shù)較好，具有較好的應(yīng)用前景。

一種堿性無氰鍍銅陽極溶解促進(jìn)劑

公開號 103014789

公開日 2013.04.03

申請人 廈門大學(xué)

地址 福建省廈門市思明南路422號

一種堿性無氰鍍銅陽極溶解促進(jìn)劑，涉及一種鍍銅陽極。所述促進(jìn)劑按質(zhì)量比的原料組成為：促進(jìn)劑A 5～8，促進(jìn)劑B 1～2，促進(jìn)劑C 1～3。A選自2?羥基丁二酸(蘋果酸)及其鈉鹽或鉀鹽，或丁二酸(琥珀酸)及其鈉鹽或鉀鹽；B選自順?丁烯二酸(馬來酸)及其鈉鹽或鉀鹽、反?丁烯二酸(富馬酸)及其鈉鹽或鉀鹽、2?羥基丙酸(乳酸)及其鈉鹽或鉀鹽中的一種；C選自丙二酸及其鈉鹽或鉀鹽、草酸及其鈉鹽或鉀鹽、羥基乙酸及其鈉鹽或鉀鹽、戊二酸及其鈉鹽或鉀鹽、己二酸及其鈉鹽或鉀鹽中的一種。將 A、B和 C混合，即得產(chǎn)物?？杀ＷC以檸檬酸鹽或/和酒石酸鹽為配位劑的無氰堿性鍍銅工藝在使用過程中，陽極溶解正常，鍍液長期穩(wěn)定使用。

一種無氰堿性鍍銅光亮劑及其制備方法

公開號 103014788

公開日 2013.04.03

申請人 武漢吉和昌化工科技有限公司；湖北吉和昌化工科技有限公司

地址 湖北省武漢市江漢經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)漢興都市工業(yè)園

本發(fā)明提出了一種無氰堿性鍍銅光亮劑及其制備方法，屬于電鍍領(lǐng)域。本發(fā)明的光亮劑含有煙酸、吲哚醋酸、聚二氨基脲與乙氧基?2?炔醇醚。通過以下方法制備：在一容器中，置入聚二氨基脲、吲哚醋酸、乙氧基?2?炔醇醚，加入蒸餾水或去離子水，攪拌溶解后；在另一容器中，加入蒸餾水、KOH；待氫氧化鉀溶解完后，趁熱加入煙酸；攪拌至煙酸完全溶解后，加入到上一容器溶液中，補(bǔ)蒸餾水至所需溶液體積，攪拌均勻。本發(fā)明的添加劑配合基礎(chǔ)鍍液可以使鍍液的性能和鍍層的性能均能達(dá)到采用氰化物鍍銅所獲得的效果。

一種鍍錫電解液

公開號 103060858

公開日 2013.04.24

申請人 郎溪縣金科金屬有限公司

地址 安徽省宣城市郎溪縣凌笪鄉(xiāng)鳳凰山

本發(fā)明公開了一種鍍錫電解液，包括以下組分：甲基磺酸亞錫60～90 g/L，硫酸亞錫10～30 g/L，對甲酚磺酸110～140 mg/L，磺基水楊酸60～120 mg/L，次亞磷酸30～50 g/L，2,2?二硫二吡啶 45～70 mg/L，8?羥基喹啉 15～25 mg/L，兒茶酚 20～30 mg/L，2,2?二羥基二乙硫醚10～15 g/L，溴化十六烷基吡啶5～10 mg/L，十二烷基酚聚氧乙烯醚8～12 g/L，乙二醇5～10 g/L，亞芐基苯乙酮 4～8 g/L，六偏磷酸鈉 5～10 g/L，十二烷基硫酸鈉 4～8 g/L。本發(fā)明通過改善電解液配方，電解過程中能夠有效抑制Sn2+轉(zhuǎn)化成Sn4+，提高鍍液的穩(wěn)定性；同時(shí)還增加了電解液的均鍍能力，提高了鍍錫層的光亮度、耐蝕性能及焊接性能。

一種酸性鍍鋅電鍍液中主成分快速在線分析方法

公開號 103063671

公開日 2013.04.24

申請人 沈陽理工大學(xué)

地址 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)南屏中路6號

一種酸性鍍鋅電鍍液中主成分快速在線分析方法，測試所用工具包括酸性鍍鋅電鍍液中硼酸、氯化鋅、氯化鋅含量對應(yīng)消耗硝酸銀溶液體積、體積差對應(yīng)氯化鉀含量速查表和測試藥盒，包括下述工藝步驟：測試藥盒內(nèi)裝有，1個(gè)錐形瓶、2個(gè)塑料注射器，3個(gè)塑料瓶和9個(gè)塑料離心管；上述的3個(gè)塑料瓶內(nèi)分別裝有硝酸銀溶液、溶液和氫氧化鈉溶液；9個(gè)塑料離心管內(nèi)分別裝有EDTA溶液、硝酸銀溶液、氫氧化鈉溶液、抗壞血酸和鉻黑T、pH = 10的氨緩沖溶液、三乙醇胺溶液、甲基紅3滴和EDTA溶液、酚酞數(shù)滴和甘油、K2CrO4溶液；酸性鍍鋅電鍍液中硼酸、氯化鋅、氯化鉀含量的測定通過加試劑、滴定操作、讀數(shù)查表來實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明簡單、便捷，有較高的實(shí)用價(jià)值，操作簡單、安全。

深孔加厚鍍硬鉻的工藝方法

公開號 103046096

公開日 2013.04.17

申請人 四川凌峰航空液壓機(jī)械有限公司

地址 四川省德陽市廣漢市廣東路東二段1號

本發(fā)明提出的一種深孔加厚鍍硬鉻的工藝方法，在鍍鉻槽邊安裝有多個(gè)分流嘴的循環(huán)過濾機(jī)，分流嘴通過導(dǎo)管接入槽中每個(gè)鍍鉻零件深孔循環(huán)，電鍍過程中鍍鉻槽液不間斷循環(huán)補(bǔ)充；穩(wěn)定鍍液的成分及比例控制在CrO3220～250 g/L、H2SO42.2～2.5 g/L、Cr3+2～4 g/L、CrO3和 H2SO4的質(zhì)量比 95∶100～100∶105。增大陽極面積，減小陰陽極面積之比；將陽極棒四周沿軸線制4～8個(gè)矩形槽后再鑄鉛，在同等的直徑下增大陽極的面積。本發(fā)明通過循環(huán)過濾機(jī)循環(huán)電鍍過程中鍍鉻零件內(nèi)孔槽液，不間斷補(bǔ)充更新零件內(nèi)孔槽液，鍍鉻液與整個(gè)鍍鉻零件內(nèi)部槽液不斷交換，鉻鍍層結(jié)合充分，鍍層厚度均勻，結(jié)晶細(xì)致、表面光潔平整，顯著提高了深孔加厚鍍硬鉻合格率。

一種耐高硫高碳介質(zhì)腐蝕的高錫Ni–Sn–P化學(xué)鍍層及其制備方法

公開號 103060781

公開日 2013.04.24

申請人 四川大學(xué)

地址 四川省成都市武侯區(qū)一環(huán)路南一段24號

一種應(yīng)用于天然氣輸送管線用鋼表面防腐的化學(xué)鍍配方及工藝參數(shù)，適于制備高含錫的Ni–Sn–P化學(xué)鍍層。其配方及工藝參數(shù)為：CH3COONa 10～30 g/L，C2H5COOH 0～5 mL/L，NaH2PO210～45 g/L，NiSO410～65 g/L，SnCl410～65 g/L，C6H5O7Na3·2H2O 10～65 g/L，C3H6O310～65 g/L，溫度55～110 °C，pH 3.0～9.0。

一種低溫?zé)o水無氧電沉積納米晶鎳表面涂層的制備方法

公開號 103060864

公開日 2013.01.30

申請人 昆明理工大學(xué)

地址 云南省昆明市五華區(qū)學(xué)府路253號

本發(fā)明提供一種低溫?zé)o水無氧條件下電沉積納米晶鎳表面涂層的制備方法，將尿素、乙酰胺和六水合氯化鎳分別真空干燥，將已干燥的尿素、乙酰胺和六水合氯化鎳及未經(jīng)處理的溴化鈉和溴化鉀，按一定質(zhì)分?jǐn)?shù)和濃度混合；并于60～80 °C下攪拌1～3 h，形成低溫融鹽電解液；以純鎳為陽極，不銹鋼為陰極，在電解溫度為25～40 °C、攪拌速率為300～600 r/min的無氧條件下施加電位?1.10～?1.25 V(相對于 Ag/AgCl)進(jìn)行恒電位沉積 300～1 200 s，即得到200～500 nm的納米晶鎳表面涂層。該方法的操作工藝簡單、成本低，所得納米晶鎳表面涂層密度高、孔隙率小、純度高；此外，電解液的制作容易、成本低、且可循環(huán)使用，從而降低生產(chǎn)成本。

一種鹵化物熔鹽電沉積制備Ni–Ti表面鉭鍍層的方法

公開號 103060863

公開日 2013.04.24

申請人 沈陽瑞康達(dá)科技有限公司

地址 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)天賜街7-3號曙光大廈1004室

本發(fā)明屬于材料表面改性和金屬熔鹽電沉積領(lǐng)域，特別涉及一種熔鹽電沉積制備Ni–Ti表面鉭鍍層的方法，包括以下步驟：在氟化鋰(LiF)、氯化鋰(LiCl)、氟化鈉(NaF)、氯化鈉(NaCl)、氟化鉀(KF)或氯化鉀(KCl)中的任意至少2種化合物中，添加氟化鉭(TaF5)、氯化鉭(TaCl5)或氧化鉭(T2O5)，得到電解質(zhì)熔鹽；以石墨為陽極，待鍍Ni–Ti合金為陰極，在電解質(zhì)熔鹽的初晶溫度之上 5～30 °C 進(jìn)行電沉積，電流密度 0.1～0.5 A/cm2，電解 1～5 h，在陰極表面得到致密的鉭涂層。本發(fā)明的電沉積過程穩(wěn)定，涂層牢固，粘接性能優(yōu)良，涂層均勻且成本低廉，可以在形狀復(fù)雜的Ni–Ti工件、器件表面制備涂層。

一種高耐蝕性三價(jià)鉻藍(lán)白鈍化液及其制備方法和應(yīng)用

公開號 103046037

公開日 2013.04.17

申請人 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院

地址 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號

本發(fā)明公開一種高耐蝕性三價(jià)鉻藍(lán)白鈍化液及其制備方法,所述的高耐蝕性三價(jià)鉻藍(lán)白鈍化液組成為：硫酸鉻5～25 g/L，氟化鈉2～8 g/L，次磷酸鈉1～6 g/L，檸檬酸 0.3～1.5 g/L，硝酸鈉1～5 g/L，七水硫酸鈷5～15 g/L。其制備方法為：將硫酸鉻溶于去離子水中，加入檸檬酸攪拌溶解之后加次磷酸鈉、硝酸鈉，再次攪拌使完全溶解，隨后后加入七水硫酸鈷溶解，最后加入氟化鈉持續(xù)攪拌使各原料混合均勻，最終得到性能穩(wěn)定、使用壽命長、生產(chǎn)成本降低、無毒性、環(huán)保無污染的高耐蝕性三價(jià)鉻藍(lán)白鈍化液。該高耐蝕性三價(jià)鉻藍(lán)白鈍化液的制備方法簡單，操作方便，適于工業(yè)化生產(chǎn)。

一種銅及銅合金酸洗鈍化劑、制備方法及其應(yīng)用

公開號 103060828

公開日 2013.04.24

申請人 北京藍(lán)星科技有限公司

地址 北京市順義區(qū)天竺空港工業(yè)區(qū)B區(qū)安祥路5號

本發(fā)明公開了一種銅及銅合金快速清洗鈍化劑及其應(yīng)用，包括如下組分：硫酸5%～15%，磷酸氫二鈉1%～5%，硝酸鈉1%～5%，A型鈍化劑5%～10%，其余為水，所述銅或銅合金經(jīng)30 s浸泡后，其表面經(jīng)高溫氧化變色部分便可完全清除，在常溫下即有快速高效的清洗效果，并在工序存儲(chǔ)期間不返銹；尤其適用于太陽能器材用銅合金管件的清洗鈍化。

鎂合金微弧氧化陶瓷層表面化學(xué)鍍鎳無鈀活化方法及應(yīng)用

公開號 103014680

公開日 2014.04.03

申請人 中國科學(xué)院金屬研究所

地址 遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號

本發(fā)明公開了一種鎂合金微弧氧化陶瓷層表面化學(xué)鍍鎳無鈀活化方法及應(yīng)用，屬于鎂合金表面處理技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明分預(yù)鍍鎳和無鈀活化2個(gè)步驟。預(yù)鍍鎳采用乙酸鎳的醇溶液，鎳鹽質(zhì)量濃度為1～10 g/L，預(yù)鍍鎳時(shí)間10～30 s；無鈀活化采用硼氫化鈉或者硼氫化鉀的醇溶液，硼鹽質(zhì)量濃度為1～10 g/L，活化時(shí)間為1～10 min。鎂合金微弧氧化陶瓷層試樣采用本發(fā)明活化后進(jìn)行化學(xué)鍍鎳，可在陶瓷層表面形成均勻性好，結(jié)合強(qiáng)度大的金屬鎳層。本發(fā)明原料來源廣泛，成本低廉；工藝過程在室溫條件下進(jìn)行，溶液低毒環(huán)保；活化液體系偏中性，減少活化過程對工件表面的損傷，能滿足實(shí)際工程化應(yīng)用的要求。

用于退除鈦合金陽極氧化膜的退膜方法

公開號 103014735

公開日 2014.04.03

申請人 北京航空航天大學(xué)

地址 北京市海淀區(qū)學(xué)院路37號

本發(fā)明公布了一種用于退除鈦合金陽極氧化膜的退膜方法，退膜液由酒石酸鈉和氫氧化鈉組成。該退膜方法解決了現(xiàn)有退膜液中含有有毒、有害物質(zhì)及成分不穩(wěn)定的缺陷，可以避免在退膜過程中氫氟酸的使用，同時(shí)也避免了硝酸、雙氧水的使用，是一種退膜溶液容易配制、成分穩(wěn)定的綠色環(huán)保鈦合金陽極氧化膜的退除方法。

熱浸鍍有機(jī)低酸無鉻鈍化劑的配方

公開號 103031554

公開日 2013.04.10

申請人 桐鄉(xiāng)市鐵盛線路器材有限公司

地址 浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市河山鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)內(nèi)

本發(fā)明所設(shè)計(jì)的一種鈍化劑的配方，尤其是一種不含致癌物的熱浸鍍有機(jī)酸無鉻鈍化劑的配方；本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種不含致癌物的熱浸鍍有機(jī)酸無鉻鈍化劑的配方；其包括有機(jī)酸、多烷基硫酸鈉、N?次甲基四胺、無毒的水溶性丙烯酸酯、不含鉻的緩蝕劑鉬酸鹽；本發(fā)明得到的熱浸鍍有機(jī)酸無鉻鈍化劑不含具有致癌物質(zhì)的三價(jià)鉻、六價(jià)鉻，降低了熱浸鍍鋅工藝對環(huán)境的污染，且在100 °C以下溫度中具有不揮發(fā)、不分解、熱穩(wěn)定性能好的特點(diǎn)。

高硅含量金屬類零件的表面化學(xué)氧化方法

公開號 103060790

公開日 2013.04.24

申請人 貴州紅林機(jī)械有限公司

地址 貴州省貴陽市小河區(qū)松花江路111號

本發(fā)明提供一種高硅含量金屬類零件的表面化學(xué)氧化方法，將高硅含量金屬類零件放入由NaOH和NaNO2的溶液配制的工藝槽中，NaOH的比例為500～800 g/L，NaNO2的比例為150～300 g/L，在128～134 °C 溫度下處理 25～30 min。經(jīng)以上方法處理后的高硅含量金屬類零件的表面呈紅棕色，經(jīng)硫酸銅試驗(yàn)，其表面的耐蝕性達(dá)到20～60 s。

一種環(huán)境友好的鍍鎵用電鍍液

公開號 103114316

公開日 2013.05.22

申請人 沈陽師范大學(xué)

地址 遼寧省沈陽市沈北新區(qū)道義南大街8號

一種環(huán)境友好的鍍鎵用電鍍液由以下物質(zhì)組成：硝酸N?正丁基吡啶955～965 g/kg，氯化鎵20～25 g/kg，N?甲基吡咯烷酮2～4 g/kg，乙二醇 4～6 g/kg，明膠 4～5 g/kg，硝酸鈉 4～6 g/kg。此電鍍液具有一些獨(dú)特的性能，如較低的熔點(diǎn)、良好的導(dǎo)電性、可以忽略的蒸汽壓、較寬的使用溫度及特殊的溶解性等。在電鍍工業(yè)中，電鍍液要作為電鍍廢物進(jìn)行廢棄處理，因此會(huì)產(chǎn)生環(huán)境污染和處理成本。用新電鍍液進(jìn)行電鍍時(shí)，購買電鍍液消耗大量成本。本發(fā)明使電鍍液循環(huán)多次再利用成為可能。通過電鍍液的循環(huán)使用，減少了電鍍液廢物、環(huán)境污染和處理成本。

含巰基雜環(huán)化合物的電鍍銅溶液

公開號 103103587

公開日 2013.05.15

申請人 陜西師范大學(xué)

地址 陜西省西安市長安南路199號

本發(fā)明涉及一種含巰基雜環(huán)化合物的電鍍銅溶液，是通過在電鍍銅溶液中添加含巰基吡啶類雜環(huán)化合物作為整平劑，以聚二硫二丙烷磺酸鈉或3?巰基?1?丙烷磺酸鹽作為加速劑，聚乙二醇、嵌段聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等作為抑制劑以及與氯離子協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)了不同深徑比的盲微孔無空洞、無縫隙、完美的電鍍銅填充。該電鍍銅溶液性質(zhì)穩(wěn)定，使用壽命長，容易生物降解，環(huán)境污染小，銅表面沉積厚度小，填充率高，能夠達(dá)到90%以上。

一種直接電鍍導(dǎo)電液及其制備方法

公開號 103103590

公開日 2013.05.15

申請人 西北工業(yè)大學(xué)

地址 陜西省西安市友誼西路127號

本發(fā)明公開了一種直接電鍍導(dǎo)電液及其制備方法。將 0.5～2.0 g/L的石墨烯和0.2～0.6 g/L穩(wěn)定劑加入到500 mL去離子水中，在60～80 °C下，用45 kHz、100 W的超聲波分散1～3 h，再加入200 mL1%～3%有機(jī)或無機(jī)穩(wěn)定劑，用10%的pH調(diào)節(jié)劑將pH調(diào)至9～11，補(bǔ)充去離子水至1 000 mL，繼續(xù)超聲分散1 h，即得1 L直接電鍍導(dǎo)電液。所述穩(wěn)定劑為聚丙烯酸、羧甲基纖維素、硅酸鈉中的一種或幾種。用本導(dǎo)電液進(jìn)行孔金屬化，粒徑小，用量少，吸附力強(qiáng)，形成的粒子層致密，導(dǎo)電性強(qiáng)，電鍍效率高。使用及維護(hù)簡便易行，避免了環(huán)境污染。

一種用于銅互連的高速凸點(diǎn)電鍍方法

公開號 103103585

公開日 2013.05.15

申請人 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司

地址 上海市松江區(qū)思賢路3600號

本發(fā)明公開了一種用于銅互連的高速凸點(diǎn)電鍍方法，采用磺酸銅體系電鍍液進(jìn)行銅柱凸點(diǎn)電鍍，電鍍條件為：電流密度1～25 A/dm2，溫度 15～35 °C；電鍍液包含 160～350 g/L 高純甲基磺酸銅鹽、30～180 g/L高純甲基磺酸、10～80 mg/L氯離子、1～10 mL/L加速劑和1～10 mL/L整平劑。加速劑為UPB3221A，包含聚二硫二丙烷磺酸鈉、醇硫基丙烷磺酸鈉、苯基二硫丙烷磺酸鈉、3?硫基?1?丙磺酸鈉鹽以及二甲基?二硫甲酰胺磺酸中的一種或幾種的組合；整平劑為UPB3221L，包含分子量為400、1 000、6 000和20 000的聚乙二醇，脂肪醇烷氧基化物，氧化乙烯?氧化丙烯嵌段共聚物中的一種或幾種的組合。本發(fā)明提供的用于銅互連的高速凸點(diǎn)電鍍方法，在保證銅柱具有良好可靠性和均勻性的同時(shí)，具有較高的電鍍速率。