利用黃光微影、摻雜、薄膜成長、蝕刻等半導體制作技術，制作出微型機械元件、光學元件及電子元件，并將之整合成單一系統(tǒng)做在硅晶片上，這稱為“微機電系統(tǒng)”。它最大的優(yōu)點就是“小”，并且應用廣泛。目前世界上已經(jīng)可以做出小于直徑100納米的微機電元件。

目前已知及開發(fā)中的應用有：膠囊式胃鏡——患者可吞服然后通過糞便排泄，從而避免痛苦；微型加速度檢測器——用于汽車，快速探測出碰撞，使安全氣囊更早打開；現(xiàn)在使用最普遍的、應用在智能手機上的微地磁針與微陀螺儀；具有生化分析功能的生物晶片，使人能在短時間檢測出SARS、炭疽病毒、沙林毒氣等化學物質及微生物個體。