5 月，光刻機(jī)生產(chǎn)研發(fā)公司荷蘭阿斯麥（ASML）公司與無(wú)錫高新區(qū)管委會(huì)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，未來(lái)阿斯麥公司將在原有基礎(chǔ)上對(duì)資源進(jìn)行整合提升，加速擴(kuò)建光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無(wú)錫）基地。

光刻機(jī)，又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備。作為“芯片之母”，它對(duì)某個(gè)國(guó)家或地區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)具備重要的發(fā)展支撐作用。阿斯麥公司與無(wú)錫“握手”，將為江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)帶來(lái)哪些新變化？

這是阿斯麥與無(wú)錫第二次“握手”。2006 年，阿斯麥公司在無(wú)錫布局建立光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地，經(jīng)過(guò)多年的“深耕細(xì)作”，如今，阿斯麥無(wú)錫基地是中國(guó)規(guī)模最大的光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地，成為華虹、SK 海力士等一批重點(diǎn)集成電路企業(yè)光刻機(jī)的供應(yīng)商。

此次阿斯麥實(shí)施（無(wú)錫）基地升級(jí)擴(kuò)建，將擁有近200 人規(guī)模專業(yè)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)中心，從事光刻設(shè)備的維護(hù)、升級(jí)等技術(shù)服務(wù)，為設(shè)備安裝、升級(jí)及生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)等所需的物料提供更高水準(zhǔn)的物流支持。項(xiàng)目建成后，將更好地滿足無(wú)錫乃至江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。

目前，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)正處于一個(gè)非常時(shí)期?！鞍⑺果湽饪淘O(shè)備技術(shù)服務(wù)的引入與此時(shí)擴(kuò)建，有著非同一般的重要意義。”有專家表示，無(wú)錫是最早布局的集成電路產(chǎn)業(yè)基地之一，近年來(lái)，在國(guó)家和地方政策的重點(diǎn)支持下，無(wú)錫先后引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。去年，無(wú)錫集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)到1178 億元，增長(zhǎng)8.3%，位居江蘇省第一、全國(guó)第二。專家坦言，江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)起步早，并形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，但在集成電路產(chǎn)業(yè)的上游，無(wú)論是光刻設(shè)備，還是集成電路設(shè)計(jì)和高端電子化學(xué)品方面，仍是一條“短腿”，亟待補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈，提升產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

據(jù)介紹，阿斯麥公司無(wú)錫技術(shù)服務(wù)基地還將服務(wù)江蘇乃至整個(gè)長(zhǎng)三角地區(qū)。目前江蘇先進(jìn)制程（28nm 及以下）半導(dǎo)體工廠有南京臺(tái)積電工廠、無(wú)錫SK 海力士DRAM 工廠等。其中，華虹半導(dǎo)體無(wú)錫基地12 英寸生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了高性能90nm FSI 工藝平臺(tái)產(chǎn)品投片。