陳士凱（浙江江南工程管理股份有限公司， 浙江 杭州 310013）

0 引 言

近年來(lái)，我國(guó)新型顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅猛，其在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占有重要的戰(zhàn)略地位，是先進(jìn)制造和新一代電子信息領(lǐng)域的核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)。隨著高端電子顯示產(chǎn)品的使用范圍越來(lái)越廣泛，全柔技術(shù)的應(yīng)用將顯示器由平板式發(fā)展成為卷曲式、折疊式，并逐漸拓展至更多的應(yīng)用領(lǐng)域，釋放出前所未有的市場(chǎng)潛能?；谌峒夹g(shù)的顯示器在為用戶(hù)提供多元化視覺(jué)感受的同時(shí)，也激發(fā)了業(yè)界極大的想象空間，各廠家紛紛投入大量的物力財(cái)力進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)，爭(zhēng)相進(jìn)行全柔顯示面板項(xiàng)目的開(kāi)發(fā)建設(shè)。業(yè)界普遍認(rèn)為，顯示面板產(chǎn)品的優(yōu)良率主要取決于對(duì)潔凈車(chē)間的環(huán)境控制，而建筑車(chē)間的內(nèi)裝飾技術(shù)對(duì)電子廠房潔凈車(chē)間的環(huán)境控制具有重要意義[1]。本文以建造第六代全柔主動(dòng)矩陣有機(jī)發(fā)光二極管（Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED）面板生產(chǎn)線潔凈車(chē)間為例，梳理、探討和研究潔凈施工技術(shù)的控制方法，供相關(guān)人士參考。

1 項(xiàng)目背景

第六代全柔 AMOLED 面板生產(chǎn)線項(xiàng)目占地面積約為45 913.56 m2（68.87 畝），總建筑面積為 58.73 萬(wàn) m2，主體結(jié)構(gòu)為鋼筋混凝土框排架結(jié)構(gòu)，屋蓋結(jié)構(gòu)為現(xiàn)澆混凝土結(jié)構(gòu)＋鋼梁 DECK 板（一種樓承鋼板）混凝土屋面，建筑類(lèi)別丙類(lèi)，耐火等級(jí)一級(jí)，工程設(shè)防烈度 7 度。在陣列廠房、有機(jī)蒸鍍及成盒廠房、觸控及屏體廠房、研發(fā)線廠房的二層設(shè)有潔凈車(chē)間，潔凈車(chē)間總建筑面積為 14.2 萬(wàn) m2。技術(shù)夾層樓板采用華夫板（SMC，空氣過(guò)濾循環(huán)）＋高架地板體系，混凝土結(jié)構(gòu)外露部位涂裝環(huán)氧樹(shù)脂，隔墻采用金屬巖棉夾芯板，吊頂采用金屬盲板＋風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（Fan Filter Units，F(xiàn)FU）系統(tǒng)。根據(jù)《廠房潔凈度等級(jí)區(qū)域劃分標(biāo)準(zhǔn)》要求，職業(yè)健康安全（Occupational Health and Safety，OHS）設(shè)備區(qū)的潔凈度為 Class 10，庫(kù)存?zhèn)魉屯ǖ赖臐崈舳葹?Class 100，其余區(qū)域的潔凈度為 Class 1 000，因而潔凈車(chē)間的潔凈標(biāo)準(zhǔn)非常高。

2 重難點(diǎn)分析

潔凈車(chē)間作為全柔 AMOLED 廠房的核心生產(chǎn)車(chē)間，其施工技術(shù)有別于普通廠房，主要是由項(xiàng)目特征所決定的：大面積潔凈工程的施工技術(shù)難度大，平整度控制標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)、潔凈標(biāo)準(zhǔn)高，施工環(huán)境復(fù)雜；技術(shù)夾層內(nèi)存在大量通風(fēng)設(shè)備和工藝管道，作業(yè)面存有密集的華夫板的孔洞，吊桿的懸掛點(diǎn)位于屋面鋼梁下翼緣，超高作業(yè)環(huán)境增加施工難度；工程中存在大量的高大混凝土結(jié)構(gòu)柱，柱面需要涂裝環(huán)氧樹(shù)脂，施工難度非常大；項(xiàng)目參建單位多，各專(zhuān)業(yè)交叉作業(yè)頻繁，協(xié)調(diào)管理難度大。

3 潔凈施工技術(shù)的控制

3.1 金屬巖棉墻板施工控制

潔凈車(chē)間外圍墻板起著封閉、隔離外界污染源的作用，是潔凈工程施工質(zhì)量控制的重要環(huán)節(jié)，對(duì)潔凈車(chē)間的潔凈度至關(guān)重要。為有效控制潔凈車(chē)間內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）污染和滿(mǎn)足防靜電要求，隔墻采用面層為防靜電和不產(chǎn)生 VOCs 污染物的金屬巖棉夾芯板。

3.1.1 金屬巖棉夾芯板墻的安裝

金屬巖棉夾芯板墻的表面應(yīng)清潔、無(wú)破損變形，地軌和天軌均采用鋁合金 U 型條，用脹栓按 600 mm 間距分別固定在樓面和梁底。金屬夾芯板插入軌道內(nèi)，在金屬夾芯板間的槽口內(nèi)通常放置中鋁條進(jìn)行連接。完成安裝的金屬板在潔凈區(qū)應(yīng)無(wú)暴露螺栓，并隨時(shí)對(duì)金屬夾芯板墻的垂直度和平整度進(jìn)行校核，確保達(dá)到垂直度≤0.2%、平整度≤2 mm/2 m 的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于末端金屬夾芯板墻，應(yīng)根據(jù)實(shí)際尺寸進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)裁切，并用鋁合金條收口包邊，確保金屬夾芯板墻安裝嚴(yán)密牢固。完工后，在金屬夾芯板的正壓面用中性密封膠進(jìn)行嵌縫密封，再用密封膠對(duì)陰陽(yáng)角處做成圓弧角。

3.1.2 回風(fēng)夾道處的墻板加固

潔凈車(chē)間回風(fēng)夾道處的金屬夾芯板高為 14.2 m，柱距為 12.7 m。根據(jù)施工單位編制的超高金屬夾芯墻加固方案的規(guī)定，凡超過(guò) 5 m 高的金屬夾芯墻必須采取加固措施?？紤]到工程的安全，現(xiàn)場(chǎng)采用 100 mm×100 mm×2.3 mm、100 mm×50 mm×2.3 mm 的鍍鋅方鋼焊接成龍骨骨架，再用膨脹螺栓固定在柱面上，形成穩(wěn)定的超高墻加固骨架體系。骨架安裝完成后，對(duì)焊縫進(jìn)行質(zhì)量檢查，符合后方可用防銹漆對(duì)焊縫進(jìn)行涂刷，最后安裝金屬夾芯墻板。

3.2 吊頂系統(tǒng)安裝控制

3.2.1 綜合支架系統(tǒng)

按照設(shè)計(jì)圖紙要求，需要用紅外線垂直儀進(jìn)行基準(zhǔn)線的放樣，要求基準(zhǔn)線控制在 ±1 mm 范圍內(nèi)，放樣引線控制在 ±5 mm 范圍內(nèi)，X 軸與 Y 軸成直角相交，確認(rèn)后沿基準(zhǔn)線位尋找懸吊掛點(diǎn)，雙個(gè) C 型抱箍卡住工字鋼，龍骨按懸吊間距 1 200 mm 進(jìn)行布置。按照設(shè)計(jì)標(biāo)高，在垂直方向配 M16 全牙螺桿懸吊于抱箍下端，天花按中心距1 200 mm×1 200 mm 或 1 200×600 mm 組合連接方形調(diào)節(jié)器，并與 M12 全牙螺桿相連接，形成綜合支架系統(tǒng)。所有材料均為熱鍍鋅。

3.2.2 天花龍骨系統(tǒng)安裝

天花龍骨系統(tǒng)按標(biāo)準(zhǔn)化模塊安裝，在庫(kù)存等局部區(qū)域，標(biāo)高有變化。為滿(mǎn)足大面積天花高效率施工，采取地面模塊化組裝方式。地面組裝模塊宜以 1 200 mm×3 600 mm 為一個(gè)單元，以便人工搬運(yùn)和垂直傳遞，同時(shí)保證連接件螺栓的安裝。組裝天花龍骨系統(tǒng)時(shí)應(yīng)注意以下事項(xiàng)。

（1）天花龍骨相對(duì)于地板安裝高度為 6.0 m～7.6 m，吊裝采用人工傳遞方式，由地面人員和移動(dòng)登高車(chē)人員共同配合安裝。在安裝過(guò)程中，天花龍骨大致起吊到標(biāo)高后，緊固連接螺栓，只需保證天花龍骨不會(huì)脫落即可，以便后續(xù)安裝盲板和風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元系統(tǒng)后再進(jìn)行標(biāo)高調(diào)整；盡量不要破壞保護(hù)膜（連接部位除外），以減少后期的清潔工作量。

（2）天花龍骨安裝單元和地面單元中心相對(duì)縫，安裝時(shí)須檢驗(yàn)兩者在垂直方向的一致性；當(dāng)天花龍骨安裝面積超過(guò)廠房相鄰柱距時(shí)，應(yīng)對(duì)已安裝單元進(jìn)行臨時(shí)定位，防止因晃動(dòng)而在后續(xù)固定吊桿時(shí)出現(xiàn)偏差。臨時(shí)定位宜以廠房相鄰的四根柱子為固定單元，安裝時(shí)須保持吊桿垂直，使吊桿均勻受力，以減少天花龍骨平面位移和不均勻下垂。

3.2.3 盲板安裝質(zhì)量控制

對(duì)于潔凈車(chē)間天花盲板安裝的質(zhì)量控制，必須要保證潔凈車(chē)間內(nèi)處于獨(dú)立封閉狀態(tài)，同時(shí)承受上夾層氣流負(fù)壓作用。針對(duì)潔凈車(chē)間的這一特殊要求，采用以 1 200 mm×1 200 mm×1.5 mm 金屬板材作為盲板材料、表面再經(jīng)烤漆處理的施工方案。在盲板搬運(yùn)安裝過(guò)程中，應(yīng)注意以下事項(xiàng)：小心輕放，避免劃傷表面涂層；安裝時(shí)采用 5 mm 厚密封條粘貼，確保無(wú)空隙；安裝后應(yīng)檢驗(yàn)盲板的密封性能，并通過(guò)增加固定卡片或打膠的方式處理縫隙漏光點(diǎn)。

3.2.4 FFU 安裝質(zhì)量控制

FFU作為潔凈車(chē)間內(nèi)“新風(fēng)機(jī)組（Make-Up Air Unit，MAU）＋風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）＋干盤(pán)管（Dry Coil，DC）”空氣凈化系統(tǒng)中保證空氣循環(huán)過(guò)濾的重要環(huán)節(jié)。FFU 的安裝應(yīng)注意以下事項(xiàng)：FFU 在運(yùn)輸和存放時(shí)應(yīng)根據(jù)出廠標(biāo)記豎向放置，防止劇烈震動(dòng)和碰撞，每批設(shè)備進(jìn)場(chǎng)必須經(jīng)燈光檢查，保證濾紙、密封膠和框架無(wú)損壞；安裝前新風(fēng)機(jī)組需要進(jìn)行 24 h 以上的空吹以?xún)艋諝猓籉FU 內(nèi)聚氯乙烯（Polyvinyl chloride，PVC）包裝保護(hù)膜應(yīng)在潔凈車(chē)間內(nèi)拆除，使污染降到最低；安裝時(shí)必須控制人員與材料的進(jìn)出，尤其是安裝人員必須穿戴潔凈服，不得用手或工具觸摸濾紙。此外，安裝高效過(guò)濾器時(shí)應(yīng)注意外框上的箭頭與氣流方向一致，安裝接縫應(yīng)平直以保證在同一平面上，安裝固定后禁止拆卸以防遭受二次損壞。

3.3 環(huán)氧樹(shù)脂涂裝工程控制

3.3.1 環(huán)氧樹(shù)脂工程特點(diǎn)

環(huán)氧樹(shù)脂涂裝工程漆具有強(qiáng)度高、耐磨、無(wú)接縫、防腐、防水、防塵、保養(yǎng)方便、維護(hù)費(fèi)用低等特點(diǎn)。為滿(mǎn)足潔凈廠房防塵、防靜電的要求，采取以下施工方案：下夾層為 3 mm 防靜電環(huán)氧自流，華夫板樓面為 0.5 mm 厚環(huán)氧自流平，柱面、梁面為 0.5 mm 水性環(huán)氧樹(shù)脂涂裝。

3.3.2 基面處理

首先檢查是否達(dá)到環(huán)氧施工基本條件：混凝土澆筑養(yǎng)護(hù)≥28 d、混凝土抗壓強(qiáng)度≥25 N/mm2、抗拉強(qiáng)度≥1.5 N/mm2、基層含水率≤8%，室內(nèi)環(huán)境溫度≥5℃。其次檢查混凝土表面是否平整密實(shí)，具體補(bǔ)救措施如下：對(duì)松軟面層或突起物用環(huán)氧膩?zhàn)舆M(jìn)行批刮補(bǔ)平；對(duì)不規(guī)則裂縫切成 V 型縫并清理干凈，再用環(huán)氧膩?zhàn)犹畛溲a(bǔ)平，待干燥后用無(wú)塵研磨機(jī)對(duì)樓面進(jìn)行整體打磨；用手提式砂輪機(jī)對(duì)回風(fēng)夾道梁、高大柱面進(jìn)行打磨，使基層表面露出混凝土紋理，以利于環(huán)氧底涂更好地滲透，增強(qiáng)涂層間的粘結(jié)力。

3.3.3 底漆涂裝

首先充分?jǐn)嚢璀h(huán)氧樹(shù)脂底涂 A 組分（Sikafloor?-161），然后全部加入 B 組分，再使用電動(dòng)攪拌器進(jìn)行攪拌，時(shí)間至少 2 min，使 A、B 組分完全混合；加入石英砂攪拌，時(shí)間至少 2 min 以獲得均勻的混合物；在可使用時(shí)間內(nèi)，用刮板進(jìn)行批刮作業(yè)，確保覆蓋基面的涂層連續(xù)、均勻，無(wú)氣孔或漏涂現(xiàn)象，且充分干燥。

3.3.4 中涂層涂裝

中涂層施工前，對(duì)底層作如下處理：底涂層施工完成后，若局部地面出現(xiàn)破損、不平整現(xiàn)象，則采用環(huán)氧砂漿批刮，具體操作如下：將環(huán)氧樹(shù)脂主劑、固化劑混合，加入一定比例的石英砂，采用攪拌機(jī)械充分拌勻；將拌好的配料用刮板刮涂，涂裝時(shí)要做到厚薄均勻，養(yǎng)護(hù) 24 h。中涂層涂裝時(shí)，首先按照 2∶1∶4 的比例將環(huán)氧樹(shù)脂、稀釋劑、硬化劑混合均勻，再加入硅砂，攪拌均勻后直接倒在地面上，然后采用鏝刀使?jié){液在中涂層表面均勻流展，并使其達(dá)到初步平整。為了避免氣泡產(chǎn)生，應(yīng)使用消泡滾筒進(jìn)行消泡，待充分干燥后進(jìn)行砂磨并吸塵。

3.3.5 靜電釋放（Electro-Static Discharge，ESD）層涂裝

根據(jù)防靜電要求，應(yīng)布置銅箔靜電釋放層。先對(duì)防靜電地面進(jìn)行畫(huà)線布置，然后鋪置導(dǎo)電銅箔，完畢后配合電氣施工，在結(jié)構(gòu)柱上適當(dāng)預(yù)留接地端子盒。在地面施工完畢后，將防靜電地面內(nèi)的金屬線與該接地端子盒相連。另外，在土建施工過(guò)程中該接地端子須在柱內(nèi)與防靜電銅線連通，使靜電通過(guò)接地端子沿柱內(nèi)銅線流向地極。通常，防靜電接地電阻的阻值≤10 Ω。

3.3.6 面層涂裝

當(dāng)?shù)孛鎸?dǎo)電層強(qiáng)度達(dá)到質(zhì)量要求后，對(duì)地面存有刮痕的部位進(jìn)行二次打磨和清理。面漆涂裝采取二道成活的施工方案，應(yīng)在周?chē)纬擅荛]空間及上夾層管道安裝完成后進(jìn)行，具體操作如下：按配比將 A、B 兩個(gè)組分充分?jǐn)嚢? min 后均勻倒在地面上，使用專(zhuān)用鏝刀進(jìn)行第一道環(huán)氧面漆的涂裝，過(guò)程中若發(fā)現(xiàn)有沙粒雜質(zhì)須立即去除，同時(shí)確保環(huán)氧面漆不得有漏涂、堆積、滴掛等現(xiàn)象；第二道環(huán)氧面漆涂裝應(yīng)在第一道面漆完全干燥后進(jìn)行；在第二道面漆涂裝完成 7 d 后，對(duì)環(huán)氧涂層的抗拔承載力和厚度進(jìn)行檢測(cè)，確?？拱纬休d力≥2.5 MPa，涂層厚度符合設(shè)計(jì)要求。

3.4 高架地板安裝工程控制

3.4.1 放線打孔

首先根據(jù)高程點(diǎn)在柱面彈出標(biāo)高控制線，再選取中心基準(zhǔn)點(diǎn)，用經(jīng)緯儀放樣形成 X/Y 軸基準(zhǔn)線；然后根據(jù) X/Y 軸基準(zhǔn)線確定立柱安裝基準(zhǔn)線，借用由 4.5 mm 厚鍍鋅鋼板制成的標(biāo)準(zhǔn)方形塊畫(huà)出膨脹螺栓點(diǎn)位，再用 M14 沖擊鉆頭對(duì)定位點(diǎn)鉆孔，深度達(dá)到 70 mm 即可。

3.4.2 立柱、橫梁安裝

首先用吸塵器將孔內(nèi)的積灰清理干凈，注入 30 mm 密封膠，嵌入套管后安裝膨脹螺栓，將立柱初步固定在安裝好的膨脹螺栓位置；其次用鍍鋅墊片和水平尺對(duì)立柱進(jìn)行調(diào)直、調(diào)正，嚴(yán)格控制立柱的定位，每隔一段距離檢查立柱的中心線距離，確定與圖紙一致后鎖緊立柱；最后用自動(dòng)水平儀引入標(biāo)高控制線對(duì)立柱進(jìn)行調(diào)平，調(diào)平的立柱間距為 600 mm×600 mm。通過(guò)橫梁連接立柱，形成整體后緊固連接螺栓。安裝完成后，用 2 m 鋁合金方管對(duì)立柱、連桿進(jìn)行驗(yàn)收，若發(fā)現(xiàn)超出偏差要求，則對(duì)螺絲進(jìn)行微調(diào)，保證其平整度達(dá)到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，即≤2 mm/2 m。

3.4.3 高架地板安裝

安裝高架地板時(shí)，首先在選定區(qū)域中間位置進(jìn)行基準(zhǔn)高架地板的安裝，安裝高度與標(biāo)高控制線一致，用水準(zhǔn)儀校準(zhǔn)后鎖緊支架螺母。施工時(shí)，邊安裝邊校核高度，確認(rèn)相鄰地板水平后緊固安裝螺母。安裝應(yīng)從廠房的幾何中心處柱位基線開(kāi)始，依次向四周同步展開(kāi)，以最大限度地消除安裝生產(chǎn)的累計(jì)誤差。對(duì)于不足標(biāo)準(zhǔn)板的部位，如廠房四周、柱邊緣、防微基礎(chǔ)邊等，應(yīng)安裝異型板，并且根據(jù)實(shí)際尺寸對(duì)地板和橫梁進(jìn)行裁切后再安裝，安裝后應(yīng)做好對(duì)切割剖口的收邊處理。高架地板安裝完成后，應(yīng)重點(diǎn)檢查以下施工效果是否符合以下質(zhì)量要求：表面平整度≤2 mm/2 m、接縫順直、行走無(wú)聲響、牢固穩(wěn)定、表面無(wú)污染。符合后用防塵薄膜覆蓋。

4 施工效果評(píng)價(jià)

為確認(rèn)潔凈車(chē)間工程施工質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范要求，先后要對(duì)潔凈車(chē)間進(jìn)行 3 次驗(yàn)收，即中間驗(yàn)收、施工驗(yàn)收和性能驗(yàn)收。當(dāng)中間驗(yàn)收和施工驗(yàn)收合格后，徹底全面清潔被測(cè)環(huán)境和通風(fēng)系統(tǒng)，并至少讓系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行 12 h，隨后由建設(shè)單位委托第三方檢測(cè)單位對(duì)潔凈車(chē)間的綜合性能進(jìn)行檢測(cè)，具體如下：結(jié)合工程設(shè)計(jì)參數(shù)和生產(chǎn)環(huán)境要求，分別對(duì)空氣潔凈度級(jí)別、表面潔凈度級(jí)別、甲醛濃度、溫度、相對(duì)濕度、噪聲、照度、系統(tǒng)新風(fēng)量、靜壓差、表面導(dǎo)靜電、送風(fēng)高效過(guò)濾器掃描檢漏等項(xiàng)目進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)結(jié)果表明，檢測(cè)項(xiàng)目的數(shù)值處于合格指標(biāo)的范圍內(nèi)，結(jié)合中間驗(yàn)收和施工驗(yàn)收的綜合評(píng)價(jià)結(jié)果，即潔凈車(chē)間工程質(zhì)量符合設(shè)計(jì)和 GB 50591—2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》的相關(guān)要求，同意驗(yàn)收。

5 結(jié) 語(yǔ)

現(xiàn)代潔凈技術(shù)的發(fā)展是由微電子技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)起來(lái)的，而微電子技術(shù)的發(fā)展對(duì)潔凈技術(shù)也提出了更高、更新的要求[2]。面對(duì)全柔 AMOLED 面板生產(chǎn)線潔凈裝飾項(xiàng)目空間大、周期長(zhǎng)、專(zhuān)業(yè)多、系統(tǒng)復(fù)雜、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)，項(xiàng)目管理單位在施工前制定了嚴(yán)格的施工標(biāo)準(zhǔn)，在施工中加強(qiáng)了對(duì)原材料和施工技術(shù)的控制，從而取得了較為理想的工作成果，為潔凈施工技術(shù)的日臻完善，積累了有益的經(jīng)驗(yàn)。