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濺射時(shí)間對(duì)磁控濺射V 2O 5離子儲(chǔ)存薄膜結(jié)構(gòu)與性能的影響

2021-05-06 03:06付亞東劉鑒寧劉紅英張遠(yuǎn)洋張得全梁小平
玻璃 2021年4期
關(guān)鍵詞:電致磁控濺射儲(chǔ)存

付亞東 劉鑒寧 劉紅英 張遠(yuǎn)洋 張得全 梁小平

(1. 天津耀皮工程玻璃有限公司 天津 300409;2. 天津工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院 天津 300387)

0 引言

隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,能耗和環(huán)保兩大問題引起了人們的重視[1]。其中,商業(yè)建筑的能耗約占全球總能耗的18%[2],各國(guó)對(duì)電致變色門窗(也叫智能門窗)的研究和使用表明,綠色和節(jié)能已成為當(dāng)今時(shí)代的主題。智能窗的結(jié)構(gòu)是由透明導(dǎo)電層-電致變色層-電解質(zhì)層-離子儲(chǔ)存層-透明導(dǎo)電層,相對(duì)于研究比較多的電致變色層材料,離子儲(chǔ)存層材料的研究報(bào)道較少。但作為智能窗的重要組成部分之一,離子儲(chǔ)存層性能的好壞直接影響到智能窗的循環(huán)耐久性和光學(xué)對(duì)比度。由于它的主要作用是儲(chǔ)存補(bǔ)償離子(Li+、H+等),所以對(duì)離子儲(chǔ)存材料的要求主要是有較大的離子存儲(chǔ)能力和良好的循環(huán)穩(wěn)定性[3]。

1 實(shí)驗(yàn)

1.1 材料制備

采用MSP-300C磁控濺射鍍膜系統(tǒng)制備V2O5薄膜,通過抽氣使濺射腔內(nèi)的真空度達(dá)到3.4×10-4Pa。介質(zhì)靶材為純度為99.99%V2O5,在濺射過程中,通入氬氣(Ar,純度為99.99%)作為核能粒子轟擊靶材,氬氣流為20 sccm,濺射壓力2 Pa,濺射時(shí)間2~5 h得到不同厚度薄膜,然后將制得的V2O5薄膜置于馬弗爐中退火熱處理,退火時(shí)間3 h,退火溫度400 ℃。

1.2 測(cè)試與表征

采用多晶X射線衍射儀(日本,Rigaku D/max-2500 v/pc)對(duì)所制得的V2O5薄膜進(jìn)行XRD分析。采用日立公司Hitach S-4800電鏡對(duì)V2O5薄膜形貌進(jìn)行表征。采用上海芷云光電有限公司生產(chǎn)M-2000 U Ellipsometer型號(hào)的橢偏儀對(duì)樣品進(jìn)行厚度的測(cè)試。采用德國(guó)Zahner電化學(xué)工作站以鉑片為對(duì)電極,飽和甘汞電極為參比電極,用1M LiClO4的PC溶液作為電解液,進(jìn)行測(cè)試樣品的循環(huán)伏安曲線,掃描電壓范圍為-0.4~1.2 V,掃描速率為50 mV/s,掃描次數(shù)為50次。采用美國(guó)Perkin Elmer公司生產(chǎn)的Lambda750紫外-可見漫反射光譜儀測(cè)試V2O5薄膜透光率。

2 結(jié)果與討論

圖1示出了濺射時(shí)間4 h時(shí)V2O5薄膜的XRD譜圖。從圖1中可以看出所得V2O5薄膜在20.3°處出現(xiàn)V2O5衍射峰,對(duì)應(yīng)的是(001)晶面(PDF#85-0601)。

圖1 濺射4 h制備的V 2O 5薄膜XRD

圖2示出了薄膜退火溫度為400 ℃、退火時(shí)間3 h熱處理的V2O5薄膜厚度隨濺射時(shí)間變化的關(guān)系。從圖2中可以看出,V2O5薄膜厚度隨濺射時(shí)間延長(zhǎng)而線性增加,濺射2、3、4、5 h所得V2O5薄膜的厚度分別為104.25、119.86、134.88、149.96 nm。

圖2 濺射時(shí)間與薄膜厚度的漸變曲線

圖5示出了不同濺射時(shí)間的V2O5薄膜表面SEM圖。從圖5可以看出,當(dāng)濺射時(shí)間從2 h延長(zhǎng)至5 h時(shí),濺射沉積到ITO玻璃表面的V2O5顆粒的數(shù)目呈上升趨勢(shì),而且晶粒尺寸分布越來越均化,V2O5晶粒數(shù)目的增加,較大提高了薄膜的比表面積,從而使得V2O5薄膜的電化學(xué)性能升高。

圖3 濺射時(shí)間對(duì)V 2O 5薄膜透過率的影響

圖4示出了不同濺射時(shí)間下制備的V2O5薄膜電化學(xué)性能。從圖4(a)可以看到,所有薄膜的循環(huán)伏安曲線均是閉合曲線,在50次循環(huán)后,薄膜仍具有鋰離子嵌入/脫出可逆性,氧化峰和還原峰說明薄膜在氧化與還原過程中(嵌鋰態(tài)和脫鋰態(tài))均發(fā)生了氧化還原反應(yīng)[12]。當(dāng)濺射時(shí)間為4 h和5 h時(shí),V2O5薄膜峰電流分別為4.41 mA和5.67 mA,比3 h濺射時(shí)間制備的薄膜峰電流(2.49 mA)分別提高了77.11%和127.71%,這表明當(dāng)濺射時(shí)間為4 h時(shí),其Li+的傳輸速率顯著增加;圖4(b)離子注入/脫出容量曲線,負(fù)值是離子脫出量,正值是離子嵌入量,脫出和嵌入構(gòu)成一個(gè)循環(huán)。在開始幾次循環(huán)中,離子儲(chǔ)存容量降低較快,在循環(huán)20次以后,所有薄膜離子嵌入/脫出容量均保持穩(wěn)定。當(dāng)濺射時(shí)間為4 h,V2O5薄膜儲(chǔ)存容量分別為24.96 mC/cm2,而濺射時(shí)間延遲1 h,儲(chǔ)存容量提高了0.45 mC/cm2,經(jīng)50次循環(huán)后,離子儲(chǔ)存量分別下 降 到21.93 mC/cm2和22.35 mC/cm2, 降 低12.12%和12.03%,可以認(rèn)為濺射時(shí)間為4 h時(shí),V2O5薄膜的穩(wěn)定性開始增強(qiáng)。

圖4 不同濺射時(shí)間V 2 O 5薄膜電化學(xué)性能

眾所周知,厚度對(duì)透光率影響較大,而電致變色玻璃對(duì)著色/褪色的透光率有一定要求,因此,對(duì)不同濺射時(shí)間制得的V2O5薄膜進(jìn)行紫外分光光度計(jì)的測(cè)試,見圖3。由圖3可知,濺射2~5 h所得V2O5薄膜在可見光范圍內(nèi)的平均透過率為92.92%~72.27%,即當(dāng)濺射時(shí)間由2 h增加到5 h,V2O5薄膜厚度增加了43.85%,透過率降低了22.22%,即厚度阻礙了部分可見光的透過。

(1)采用磁控濺射法在ITO玻璃基地上成功制備了V2O5離子儲(chǔ)存層。

長(zhǎng)石礦物量較少(<5%),但礦物種類繁多,主要為鉀長(zhǎng)石,偶見有條紋長(zhǎng)石、微斜長(zhǎng)石和鈉長(zhǎng)石等?,F(xiàn)主要對(duì)鉀長(zhǎng)石的嵌布特征描述如下:

圖5 不同濺射時(shí)間制備的V 2O 5薄膜SEM圖

這一次,青辰再也招架不住。面對(duì)壓下來的血盆大口,他瞪起雙眼,惡狠狠地與那對(duì)幽深而邪惡的狼眸對(duì)視。從對(duì)方的眼中,他看到了自己猙獰的臉,那張臉齜著牙,瞪著眼,被搏斗時(shí)飛濺的鮮血染紅了半扇,恐怖而兇戾。

3 結(jié)論

結(jié)腸癌在性別間的各種差異之前主要?dú)w因于性激素在兩性之間的差異,一般而言,女性荷爾蒙(雌激素)在結(jié)腸癌發(fā)展過程中起到保護(hù)作用,而雄激素導(dǎo)致腫瘤相關(guān)風(fēng)險(xiǎn)增加,但其分子機(jī)制尚未明確。之前的研究主要集中在少數(shù)靶基因上,而系統(tǒng)分析可以整合多個(gè)研究的數(shù)據(jù),獲得較為系統(tǒng)全面的性別差異的解釋。

綜合考慮,滿足離子儲(chǔ)存量大于20 mC/cm2、可見光透過率要高于80%,磁控濺射法制備離子儲(chǔ)存V2O5薄膜的濺射時(shí)間控制為4 h為宜。

(2)V2O5薄膜的厚度隨著濺射時(shí)間延長(zhǎng)而增厚,從2 h延長(zhǎng)到5 h,厚度從104.25 nm到149.96 nm;薄膜透過率隨著厚度增加而呈現(xiàn)降低趨勢(shì),從92.92%降低到72.27%。

在20世紀(jì)60年代初,消息通過一系列中央開關(guān)從A點(diǎn)壓縮到B點(diǎn)。如果中斷一個(gè)開關(guān),消息就會(huì)停止。巴蘭構(gòu)想了一個(gè)規(guī)模更小、速度更快的傳輸節(jié)點(diǎn)網(wǎng)格。他的想法是將每條消息分解成數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)塊,然后將每個(gè)塊發(fā)送到網(wǎng)格中,以找到到達(dá)目的地的最快方法。在那里,這些塊將被重新整合成完整的信息。

(3)電化學(xué)性能測(cè)試結(jié)果表明,濺射時(shí)間為4 h和5 h時(shí)制備的V2O5薄膜峰電流比3 h分別提高了77.11%和127.71%,離子儲(chǔ)量分別是24.96 mC/cm2和25.38 mC/cm2,均高于20 mC/cm2。

(3)綜合考慮離子儲(chǔ)存量和可見光透過率,磁控濺射法制備離子儲(chǔ)存V2O5薄膜的濺射時(shí)間控制為4 h為宜。

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