朱進清 李沅 張晨 付瑞芝 張路 董雙鵬 馬金竹 國家食品藥品監(jiān)督管理局天津醫(yī)療器械質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心 （天津 300384）

內(nèi)容提要： 鈦及鈦合金通過陽極氧化進行表面改性，可以提高基體的物理性能及生物相容性。但是若陽極氧化工藝引入與基體不一致的雜質(zhì)元素，生物安全性能則存在一定的風險。文章基于掃描電鏡及能譜儀，依據(jù)相關(guān)的國家標準和行業(yè)標準，建立一種分析鈦及鈦合金表面陽極氧化層雜質(zhì)元素的分析方法。收集國內(nèi)外不同生產(chǎn)商提供的約200件試驗樣品，對發(fā)現(xiàn)的雜質(zhì)元素種類及其數(shù)量進行統(tǒng)計分析，并分析雜質(zhì)元素產(chǎn)生的可能原因，有助于促進該領(lǐng)域技術(shù)水平的進步。

近年來，越來越多的生產(chǎn)商將外科植入物進行陽極氧化，以改善產(chǎn)品的性能。常見的陽極氧化產(chǎn)品類型有：脊柱類及創(chuàng)傷類，少量關(guān)節(jié)類，也可見3D打印類。鈦及鈦合金的陽極氧化就是用鈦作陽極，用不銹鋼或鋁作陰極，以水溶液、非水溶液或熔鹽作電解液，通過外加電場的作用，以特定的工藝條件在其表面生成氧化層的過程。鈦及鈦合金表面陽極氧化一般分為兩類：一是黑灰色陽極氧化，采用特殊的電解液，通過電化學反應在鈦及鈦合金表面形成一層致密的氧化層，視覺效果為黑灰色?？梢愿纳苹w的性能，例如：耐磨性能、耐腐蝕性、提高表面硬度、疲勞性能等[1,2]；二是著色陽極氧化，旨在辨識作用而不以提高產(chǎn)品力學性能為目的的一種陽極氧化方式。其主要成分是二氧化鈦，是一層透明的干涉膜，可以強烈地反射和折射光線，根據(jù)膜層厚度的不同呈現(xiàn)不同的顏色，非常有利于外科術(shù)前準備及縮短手術(shù)時間。有文獻報道，鈦及鈦合金表面陽極氧化可以提高生物相容性[3]；抑制有害元素釩和鋁的析出，降低細胞毒性[4,5]。

但是外科植入物長期植入人體體內(nèi)，表面陽極氧化層若含有雜質(zhì)元素，生物安全性能存在一定的風險。本文基于掃描電鏡及能譜儀，依據(jù)相關(guān)的國家標準和行業(yè)標準，建立一種分析鈦及鈦合金表面陽極氧化層雜質(zhì)元素的分析方法，有助于國家監(jiān)督部門監(jiān)管，及企業(yè)內(nèi)部質(zhì)量控制。收集不同生產(chǎn)商提供的約200件試驗樣品，統(tǒng)計試驗發(fā)現(xiàn)的雜質(zhì)元素種類及其數(shù)量，并結(jié)合生產(chǎn)流程分析雜質(zhì)元素產(chǎn)生的可能原因，有助于推動該領(lǐng)域技術(shù)水平的進步。

1.儀器設備

①掃描電鏡與能譜儀；②膜厚測量儀：型號F40優(yōu)尼康科技有限公司。

2.試驗方法

2.1 實驗準備

儀器準備：在進行校準和分析之前，首先檢查束流穩(wěn)定性、探測器穩(wěn)定性（見GB/T 20726）；檢查或重新校準探測器的能量標尺；測量探測器的分辨率（見GB/T 20726）。

試樣準備：試樣應平坦、無水、致密、穩(wěn)定和導電良好的試樣。

2.2 實驗條件

試驗條件依據(jù)GB/T 17359-2012，ISO 22309:2006《微束分析 能譜法定量分析》。

2.2.1 加速電壓設定

燈絲應有足夠的時間達到合適的穩(wěn)定度，加速電壓通常在10～25kV選擇，原則如下：①為了有效激發(fā)獲得高峰值強度，過壓比至少達到2例如要激發(fā)Cu的K線系譜線時，推薦的最小加速電壓為20kV。②為了分析低能線，例如1～3keV，用低加速電壓能夠減小吸收校正和可能產(chǎn)生的誤差。③為了準確分析，基本要求是分析特征應該全部包含在分析體積內(nèi)。估算加速電壓對分析區(qū)域和分析深度的影響，見ISO 14594，可以按該標準選擇合適的加速電壓。

2.2.2 試樣在電子束下的正確定位

①本次實驗中使用的能譜儀，需要試樣表面定位在光學顯微鏡的焦面上，并且與儀器電子束成90°的角度。試樣定位或者意外傾斜誤差，會降低分析數(shù)據(jù)的準確度。②在掃描電鏡中，試樣高度是由相關(guān)EDS廠家選擇或者給定的工作距離確定。試樣傾斜應設置為零。

2.2.3 束流選擇

為了從試樣中獲得整個譜峰的足夠高的計數(shù)率，束流應該足夠大。但束流也不能太大，以免產(chǎn)生電子學失真或者在譜圖中產(chǎn)生純元素的和峰。在可能的情況下計數(shù)率至少在2000～3000計數(shù)/s，相應的死時間為20%～30%，最強峰計數(shù)約為50000，或者譜圖總計數(shù)為250000，通常對應于約100s的活時間。

3.峰的識別

能譜廠商提供自動譜峰鑒別軟件，一些軟件能處理重疊峰。然而，其性能依賴于峰形構(gòu)成的準確度，因此，同一個試樣對不同的軟件、電路和探測器組合能產(chǎn)生不同的結(jié)果。仔細考慮可能的峰重疊，見GB/T 17359-2012，ISO 22309:2006中附錄B。

分析每個元素的濃度時，應該選擇合適的譜峰，例如，加速電壓20kV時，合適的定量分析線選擇如下：Z=11～30時，選擇K線；Z=29～71時，選擇L線；Z=72～92時，選擇M線。鑒別的譜峰應具有統(tǒng)計意義，即，峰強度>[N(b)+3[N(b)]1/2]，N(b)為背底強度的平均值。對一個特別感興趣的元素弱峰，應該較長時間采集譜圖，檢查該譜峰是否具有統(tǒng)計意義。

當兩個或者更多元素特征譜峰彼此之間靠得足夠近時，譜峰鑒別會產(chǎn)生不確定性。兩個相鄰譜峰之間分開的能量大小，依賴于探測器的分辨率和校正準確度。但典型的臨界值為30eV；分離的譜峰>30eV時，用自動和手動鑒別都不會產(chǎn)生問題。

4.結(jié)果分析

收到企業(yè)送檢樣品總共162批次，其中黑灰色陽極氧化樣品66批次，彩色陽極氧化樣品96批次。表面經(jīng)掃描電鏡及能譜儀分析：其中，黑灰色陽極氧化樣品，所包含元素除基體元素外，還可包含少量的Na、Si、P、S等元素；彩色陽極氧化樣品，所包含元素除基體元素外，應無與基體材料不一致的其他元素。

黑灰色陽極氧化樣品具體檢測結(jié)果見圖1。其中，未見雜質(zhì)元素的樣品11批次，占比16.67%?？梢婋s質(zhì)元素包含Na、Si、P、S、K、Mg及Ca，占比情況見圖1。

圖1. 黑灰色陽極氧化樣品檢測結(jié)果

彩色陽極氧化樣品具體檢測結(jié)果見圖2。其中，未見雜質(zhì)元素的樣品76批次，占比79.17%?？梢婋s質(zhì)元素包含Na、Si、P、S及F，占比情況見圖2。

圖2. 彩色陽極氧化樣品檢測結(jié)果

陽極氧化工藝的實驗步驟一般包括：試樣打磨拋光→水洗→堿洗除油→水洗→酸洗→水洗→陽極氧化→水洗→漂洗→干燥?！霸嚇哟蚰伖狻辈襟E，一般地用二氧化硅噴砂或者SiC水磨砂紙打磨[6]；“堿洗除油”步驟一般用NaOH溶液；“酸洗”步驟一般用HF處理。鈦合金陽極氧化的電解液一般有三種：酸性、堿性和中性。酸性電解液的成分有和H3PO4[1,2]；堿性電解液的成分為NaOH；中性電解液的成分有 (NH4)2SO4、Na2SO4、Na3PO4、NaAIO2等[7-9]。

有文獻報道，陽極氧化膜含雜質(zhì)的多少及種類與槽液的成分有關(guān)[10]。陽極氧化液為強酸或強堿則雜質(zhì)元素混入氧化膜的概率極微；相反地，若使用中性或弱酸性陽極氧化液，雜質(zhì)元素混入氧化膜概率稍多一點。分析工藝其P、S元素主要來自電解液配方（參見電解液成分）。含F(xiàn)元素可能是因為陽極氧化預處理使用了HF。表面含Si元素產(chǎn)品占產(chǎn)品總數(shù)25%，進一步分析工藝，可能來自陽極氧化前的噴砂過程（噴砂料為二氧化硅），或者預處理時使用了SiC水磨砂紙打磨試樣表面。表面雜質(zhì)中的Na元素，有可能自電解液中的Na離子，或者是堿洗除油使用了NaOH；此外，Na離子較容易通過后期清洗完全清除，也可能是清洗時間不夠長或者清洗方式不正確[7-9]。

按照陽極氧化產(chǎn)品顏色種類統(tǒng)計分析結(jié)果見表1。本中心收集數(shù)家企業(yè)陽極氧化產(chǎn)品，使用膜厚測量儀測量了表1所列四種顏色膜層厚度，由薄到厚依次是：藍色→黃色→紫色→綠色。該膜厚測量結(jié)果與光干涉的原理一致。由表1可見，4種顏色的陽極氧化產(chǎn)品雜質(zhì)元素都包含F(xiàn)元素，藍色和黃色陽極氧化產(chǎn)品雜質(zhì)元素包含Si元素。黃色陽極氧化產(chǎn)品雜質(zhì)元素種類最多，數(shù)量占比也最多。需要說明的是，表1所列數(shù)據(jù)僅代表目前四種顏色產(chǎn)品整體質(zhì)量水平，而且隨著樣本量的增加及技術(shù)水平的進步雜質(zhì)元素種類及其占比有可能會發(fā)生變化。本中心擬建立數(shù)據(jù)庫，匯總數(shù)千批產(chǎn)品的檢測結(jié)果，網(wǎng)羅國內(nèi)外幾十家企業(yè)該工藝可能出現(xiàn)的雜質(zhì)元素種類，并統(tǒng)計了每種雜質(zhì)元素占比情況。

表1. 不同顏色樣品雜質(zhì)元素分析

5.小結(jié)

本文建立了一種分析鈦及鈦合金陽極氧化層雜質(zhì)元素的方法，該方法樣品預處理簡單，可以批量檢驗，實現(xiàn)了對雜質(zhì)元素的定性及半定量分析。為了保證分析的有效性及準確性：①加速電壓設定：既要有效激發(fā)獲得高峰值強度，又能夠分析低能線，并且要求是分析特征應該全部包含在分析體積內(nèi)。②試樣在電子束下的正確定位：與儀器電子束成90°的角度，試樣高度由掃描電鏡廠家規(guī)定，本試驗室使用電鏡最佳高度是8mm。③束流選擇：須保證計數(shù)率和死時間在規(guī)定的范圍內(nèi)。

本文所述分析方法，一方面有助于國家監(jiān)督部門監(jiān)管，企業(yè)內(nèi)部質(zhì)量控制；另一方面，收集一定量的樣品，基于該方法在同等試驗條件下進行統(tǒng)計分析。匯總試驗發(fā)現(xiàn)的雜質(zhì)元素種類及其數(shù)量，并結(jié)合生產(chǎn)流程分析雜質(zhì)元素產(chǎn)生的可能原因，有助于該領(lǐng)域技術(shù)水平的進步。