張忠寧,宋治崑,范宇超,范光照,婁志峰

(大連理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院,遼寧 大連 116024)

0 引言

作為制造業(yè)的工業(yè)“母機(jī)”,數(shù)控機(jī)床扮演著現(xiàn)代制造業(yè)核心輸出者的角色。隨著現(xiàn)代工業(yè)的快速發(fā)展,對數(shù)控機(jī)床加工準(zhǔn)確度提出了越來越高的要求。為通過誤差補(bǔ)償法提高機(jī)床加工準(zhǔn)確度,研制一套機(jī)床誤差高效測量儀器具有重要意義。

當(dāng)機(jī)床線性工作臺沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí),會(huì)產(chǎn)生六個(gè)自由度的幾何誤差,Lee C[1-2]基于激光干涉原理設(shè)計(jì)了一種用于超精密導(dǎo)軌的六自由度誤差測量系統(tǒng),其角度分辨力可達(dá)0.02″。房豐洲等人[3]在全息透鏡分光原理的基礎(chǔ)上提出了一種基于激光衍射原理的六自由度誤差測量系統(tǒng),該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,但滾轉(zhuǎn)角分辨力有待提高。K.C.Fan[4]提出基于四準(zhǔn)直光束的六自由度誤差測量方法,采用四套多普勒測量儀及兩個(gè)光電探測器組成測量系統(tǒng),在進(jìn)行誤差測量的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了誤差分離。馮其波等人[5-6]提出了基于三準(zhǔn)直光束的具有共光路補(bǔ)償功能的六自由度測量方法。

在六自由度誤差中,滾轉(zhuǎn)角誤差測量相對較難[7-8]。陶衛(wèi)等人[9]提出了基于雙光束干涉法的滾轉(zhuǎn)角測量方法,利用特制的楔形反射光柵作為敏感器件,其角度分辨力可達(dá)0.1″?？锎浞降热薣10]提出一種以1/4波片作為敏感單元的偏振差分測量方法,該方法結(jié)構(gòu)簡單,但對光源穩(wěn)定性要求很高。K.C.Fan[11]提出了一種基于雙平行光束的滾轉(zhuǎn)角誤差測量方法,通過測量直線度誤差間接得到滾轉(zhuǎn)角誤差,但該系統(tǒng)成本較高且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。曹睿等人[12]采用特殊棱鏡作為敏感單元,通過雙光束間接測量滾轉(zhuǎn)角誤差,但該方法對其敏感元件加工準(zhǔn)確度要求很高。

上述各測量方法應(yīng)用場合不盡相同,且難以同時(shí)兼顧測量準(zhǔn)確度、便捷性和成本。本文基于激光準(zhǔn)直原理,提出一種利用雙光束進(jìn)行五自由度誤差同步測量的方法,并研制了相應(yīng)的測量系統(tǒng),該系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單、便于集成、造價(jià)低等優(yōu)點(diǎn),為多自由度誤差測量技術(shù)發(fā)展提供了有力支撐。

1 五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)原理與研制

設(shè)計(jì)的五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)可同時(shí)測量線性平臺的兩個(gè)直線度誤差(δx和δy)和三個(gè)角度誤差(偏擺角εx,俯仰角εy和滾轉(zhuǎn)角εroll)。其中,直線度誤差及偏擺、俯仰角度誤差基于激光準(zhǔn)直原理進(jìn)行測量,滾轉(zhuǎn)角誤差通過雙光束法間接測量。五自由度測量系統(tǒng)光學(xué)結(jié)構(gòu)如圖1 所示,該系統(tǒng)由激光端和感測端兩部分組成,激光端為固定單元,感測端安裝在線性平臺上,可沿導(dǎo)軌滑動(dòng)。

圖1 五自由度測量系統(tǒng)光學(xué)結(jié)構(gòu)示意圖

由半導(dǎo)體激光器發(fā)射的光束經(jīng)分光棱鏡一后分為2束光,光束一經(jīng)分光棱鏡二后,其透射光由探測器一接收,用于直接測量水平及垂直方向直線度誤差;其反射光經(jīng)聚焦透鏡聚焦后由探測器二接收,用于測量偏擺角及俯仰角誤差。光束二射入探測器三中,所測得的垂直方向直線度誤差與探測器一所測得的垂直方向直線度誤差做差分處理,間接得到滾轉(zhuǎn)角誤差。

1.1 直線度誤差測量原理

直線度誤差測量原理如圖2 所示。當(dāng)完成光束與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)軸線的平行調(diào)整后,將光束作為測量基準(zhǔn)進(jìn)行誤差測量。當(dāng)導(dǎo)軌無直線度誤差時(shí),投射在探測器一上的光斑將位于探測器一的中心;若存在直線度誤差,探測器一的中心將相對于光斑產(chǎn)生位移,水平和垂直方向上的位移Δx和Δy即為所測得的線性平臺直線度誤差δx和δy。

圖2 探測器一所測光斑位置

由四象限光電探測器的位移感測原理可知,光斑在探測器表面的位置發(fā)生變化時(shí),探測器內(nèi)四塊光電二極管的輸出電流會(huì)發(fā)生變化,利用式(1)和式(2)即可計(jì)算得到直線度誤差。

式中:kδx和kδy為常量,可通過電感測微儀標(biāo)定得到;i1,i2,i3,i4分別為探測器一4 個(gè)象限的輸出電流。由于電流量為模擬量且非常微弱,不能直接用于采集處理,需將其轉(zhuǎn)化為可采集的電壓信號后再進(jìn)行標(biāo)定實(shí)驗(yàn)。

1.2 偏擺、俯仰角度誤差測量原理

偏擺、俯仰角誤差的測量原理如圖3 所示,當(dāng)線性平臺存在微小偏擺角度誤差εx時(shí),經(jīng)分光棱鏡反射后的反射光也會(huì)產(chǎn)生角度變化,從而導(dǎo)致探測器上激光聚焦光斑位置產(chǎn)生變化,即Δx1。

圖3 角度誤差測量原理圖

因此,可以得到偏擺角誤差

式中:f為聚焦透鏡和探測器之間的距離,即透鏡的焦距。

當(dāng)線性平臺存在微小俯仰角度誤差εy時(shí),同理可得到俯仰角誤差為

1.3 滾轉(zhuǎn)角誤差測量原理

采用雙平行光束測量原理,通過探測器一及探測器三所測得的豎直方向直線度誤差間接得到滾轉(zhuǎn)角誤差。如圖4 所示,當(dāng)工作臺在移動(dòng)過程中產(chǎn)生滾轉(zhuǎn)角誤差εroll時(shí),投射在兩個(gè)四象限探測器上的光斑在豎直方向上的位置會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)變化,即分別產(chǎn)生不同的豎直方向直線度誤差δy1和δy3。

圖4 滾轉(zhuǎn)角誤差的計(jì)算

可計(jì)算得出滾轉(zhuǎn)角誤差值為

式中:δy1和δy3分別為探測器一和探測器三測得的直線度誤差;L為2 個(gè)四象限探測器的中心距離。在實(shí)際誤差測量過程中,L遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于δy1和δy3的差值,因此根據(jù)等價(jià)無窮小變換,可將上式簡寫為

1.4 滾轉(zhuǎn)角誤差的補(bǔ)償修正機(jī)理

進(jìn)行滾轉(zhuǎn)角誤差測量前需將雙光束調(diào)平,然而實(shí)際操作時(shí)無法保證雙光束絕對調(diào)平行,此時(shí)會(huì)存在雙光束不平行度θ0,影響滾轉(zhuǎn)角誤差的測量準(zhǔn)確度。因此,需通過水平儀預(yù)先測量系統(tǒng)雙光束不平行度。

當(dāng)雙光束存在不平行度θ0時(shí),如圖5 所示,探測器三所測垂直方向直線度誤差的變化會(huì)直接影響滾轉(zhuǎn)角誤差測量。

圖5 光束校準(zhǔn)原理圖

由滾轉(zhuǎn)角誤差的計(jì)算公式可推導(dǎo)得出

式(7)中θ0用弧度表示,由等價(jià)無窮小變換可將上式簡寫為

式中:L為探測器一和探測器三的中心距離;d為儀器測量距離(由測距模塊測得);εroll為水平儀測得的滾轉(zhuǎn)角誤差,ε′roll為儀器測得的滾轉(zhuǎn)角誤差,ε′roll-εroll即為光束不平行度對測量滾轉(zhuǎn)角誤差的影響值。根據(jù)式(7)可以看出由雙光束不平行而產(chǎn)生的滾轉(zhuǎn)角誤差影響值與測量位置呈正比例關(guān)系,因此可通過實(shí)驗(yàn)求出雙光束不平行度θ0后,對雙光束進(jìn)行補(bǔ)償修正。

1.5 五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)

基于上述測量原理,研制了五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng),如圖6 所示。其中感測端集成了三維角度調(diào)整機(jī)構(gòu),用于調(diào)整系統(tǒng)位姿;磁性表座吸附在機(jī)床主軸上,激光端與磁性表座通過連桿固定連接。該系統(tǒng)具有體積小、易安裝的優(yōu)點(diǎn)。

圖6 五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)實(shí)物圖

在研制的五自由度誤差測量系統(tǒng)中,從半導(dǎo)體激光器(型號為ZLM100AD650 -24GD)發(fā)出的準(zhǔn)直激光束直徑為3 mm,光斑為正圓光斑且大小可調(diào),發(fā)散角度小于0.02 mrad。四象限光電探測器采用德國的First Sensor 傳感器,其中負(fù)責(zé)測量直線度和滾轉(zhuǎn)角誤差的探測器一、探測器三型號為QP50 -6 -TO8S,四象限的有限面積為4 × 11.78 mm2,測量分辨力可達(dá)0.05 μm,水平直線度和垂直直線度誤差的理論分辨力為0.05 μm,滾轉(zhuǎn)角誤差的理論分辨力為0.1″。用來測量偏擺和俯仰角度誤差的探測器二型號為QP10 -6 -TO5,四象限有效面積為4 ×2.45 mm2,其測量分辨力可達(dá)到0.01 μm,系統(tǒng)使用的聚焦透鏡的焦距為20 mm,經(jīng)計(jì)算后偏擺角和俯仰角誤差的理論分辨力為0.1″。

2 五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)標(biāo)定

2.1 直線度標(biāo)定

采用電感測微儀(型號為Mahr1240,分辨力0.01 μm)與手動(dòng)微調(diào)位移臺相結(jié)合進(jìn)行直線度標(biāo)定實(shí)驗(yàn)。將感測端安裝在可以進(jìn)行水平、垂直方向手動(dòng)微調(diào)的位移臺上,并將測微儀的測頭與之固定相連。標(biāo)定垂直方向靈敏度時(shí),通過調(diào)節(jié)使系統(tǒng)進(jìn)行垂直方向移動(dòng),移動(dòng)范圍為±100 μm,位移臺單次移動(dòng)量為20 μm,同時(shí)記錄四象限光電探測器的電壓比值和電感測微儀的讀數(shù),進(jìn)而通過軟件將數(shù)據(jù)進(jìn)行最小二乘法擬合處理得到探測器靈敏度值。標(biāo)定實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場如圖7所示,標(biāo)定結(jié)果如圖8 所示。

圖7 直線度標(biāo)定實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場圖

圖8 測直線度誤差四象限靈敏度標(biāo)定結(jié)果圖

根據(jù)標(biāo)定結(jié)果可知,標(biāo)定殘差均在±1 μm 以內(nèi),四象限光電探測器的靈敏度和輸入光強(qiáng)有關(guān),為保證其在整個(gè)運(yùn)動(dòng)行程內(nèi)測量準(zhǔn)確度可靠,必須在全行程范圍內(nèi)定點(diǎn)進(jìn)行四象限的靈敏度標(biāo)定。以100 mm 為間隔進(jìn)行全行程500 mm 內(nèi)的標(biāo)定,結(jié)果如表1 所示。

讀到這兒，您或許真的會(huì)笑了。說你廣雨辰這家伙也太可笑了，你不就是在哈爾濱市第一醫(yī)院呼吸科住院認(rèn)識了蔣利學(xué)嗎？就住了那么幾天院，你能了解人家多少？還去想那些壓根兒沒影兒的事兒，純粹是你腦子進(jìn)水了。

表1 全行程內(nèi)探測器一靈敏度標(biāo)定結(jié)果

根據(jù)表1 的標(biāo)定結(jié)果可知,在距激光發(fā)射端不同位置時(shí),靈敏度的標(biāo)定結(jié)果略有不同,各位置處的靈敏度與靈敏度均值之間的相對偏差均在±0.65%以內(nèi),因此取靈敏度均值作為探測器一的測量靈敏度使用。

2.2 偏擺角、俯仰角標(biāo)定

采用光電自準(zhǔn)直儀(型號為AutoMAT5000U,分辨力0.01″)與系統(tǒng)二維角度調(diào)整架相結(jié)合,對測量偏擺角、俯仰角的探測器二進(jìn)行靈敏度標(biāo)定。將光電自準(zhǔn)直儀配套的反射鏡與感測端固定相連,調(diào)節(jié)系統(tǒng)的角度調(diào)整機(jī)構(gòu)使感測端產(chǎn)生偏擺、俯仰方向的轉(zhuǎn)動(dòng),調(diào)節(jié)范圍為±100″,調(diào)整架單次調(diào)節(jié)量為20″,同時(shí)記錄四象限光電探測器的電壓比值和光電自準(zhǔn)直儀的讀數(shù),標(biāo)定實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場如圖9 所示,標(biāo)定結(jié)果如圖10 所示。

圖9 角度標(biāo)定實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場圖

圖10 測角度誤差四象限靈敏度標(biāo)定結(jié)果圖

由標(biāo)定結(jié)果可知,標(biāo)定殘差均在± 1″以內(nèi)。以100 mm作為間隔進(jìn)行全行程500 mm 內(nèi)的標(biāo)定,結(jié)果如表2 所示。

根據(jù)表2 的標(biāo)定結(jié)果可知,各位置處的靈敏度與靈敏度均值之間的相對偏差均在±0.6%以內(nèi),因此,取靈敏度均值作為探測器二的測量靈敏度使用。

表2 全行程內(nèi)探測器二靈敏度標(biāo)定結(jié)果

3 滾轉(zhuǎn)角誤差補(bǔ)償修正

將感測端與水平儀結(jié)合并移至實(shí)驗(yàn)臺標(biāo)記近端,將系統(tǒng)測量滾轉(zhuǎn)角誤差調(diào)零的同時(shí)將水平儀清零,之后將感測端與水平儀移動(dòng)至實(shí)驗(yàn)臺標(biāo)記遠(yuǎn)端,根據(jù)式(8)計(jì)算得出光束不平行度θ0,然后將感測端與水平儀向?qū)嶒?yàn)臺標(biāo)記近端移動(dòng),每隔100 mm 記錄一次數(shù)據(jù),將各位置計(jì)算所得θ0取平均值處理。雙光束校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場如圖11 所示,標(biāo)定結(jié)果如圖12 所示。

圖11 雙光束校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場圖

圖12 光束校準(zhǔn)標(biāo)定結(jié)果

由標(biāo)定結(jié)果可知,標(biāo)定殘差在±0.8″以內(nèi)。校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)求得θ0=0.6″,將式(8)計(jì)算得到的滾轉(zhuǎn)角誤差影響值通過軟件補(bǔ)償?shù)綕L轉(zhuǎn)角測量值中,完成滾轉(zhuǎn)角誤差補(bǔ)償修正。

4 系統(tǒng)準(zhǔn)確度比對實(shí)驗(yàn)

在完成五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)的標(biāo)定和補(bǔ)償后,對整套系統(tǒng)進(jìn)行準(zhǔn)確度比對實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證系統(tǒng)的測量準(zhǔn)確度是否滿足使用需求。

4.1 導(dǎo)軌直線度測量準(zhǔn)確度比對

直線度準(zhǔn)確度比對試驗(yàn)采用Jim Bryan 提出的直線度測量的布萊恩原則,即當(dāng)用于測量直線度誤差的感測軸與被測軸線不同軸時(shí),會(huì)由于角度變化而對直線度測量值產(chǎn)生直接影響,因此需在直線度測量中對此影響值進(jìn)行補(bǔ)償。垂直方向直線度準(zhǔn)確度比對測量原理如圖13 所示。

圖13 垂直向直線度準(zhǔn)確度比對測量原理圖

在垂直方向直線度準(zhǔn)確度比對實(shí)驗(yàn)中,當(dāng)線性平臺存在滾轉(zhuǎn)角誤差θ時(shí),阿貝臂L的存在會(huì)對電感測微儀的示數(shù)產(chǎn)生影響,該阿貝誤差為

在水平方向直線度準(zhǔn)確度比對實(shí)驗(yàn)中,線性平臺的角度誤差對于電感測微儀探針的影響不敏感,因此可直接取電感測微儀讀數(shù)作為水平直線度測量標(biāo)準(zhǔn)值。

對測量直線度誤差進(jìn)行補(bǔ)償后,直線度準(zhǔn)確度比對結(jié)果如圖14 所示。比對結(jié)果顯示,在全行程內(nèi),系統(tǒng)所測水平、垂直方向直線度準(zhǔn)確度比對殘差分別在±0.7 μm 及±0.8 μm 范圍內(nèi)。

圖14 直線度準(zhǔn)確度比對結(jié)果圖

4.2 偏擺角俯仰角準(zhǔn)確度比對

將光電自準(zhǔn)直儀的靶鏡與感測端固定連接,將感測端從實(shí)驗(yàn)標(biāo)記近端開始移動(dòng),每隔50 mm 進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄比對,全行程為500 mm,角度誤差準(zhǔn)確度比對結(jié)果如圖15 所示。由比對結(jié)果可知,在測量行程內(nèi),偏擺角和俯仰角準(zhǔn)確度比對殘差均在±0.8″范圍內(nèi)。

圖15 偏擺、俯仰準(zhǔn)確度比對結(jié)果圖

4.3 滾轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度比對

將水平儀固定在測量系統(tǒng)的感測端上,將感測端從近端開始移動(dòng),每隔50 mm 進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄比對,行程為500 mm,滾轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度比對結(jié)果如圖16 所示。

圖16 滾轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度比對結(jié)果圖

比對結(jié)果顯示:全行程內(nèi)滾轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度比對殘差在±1.5″范圍內(nèi)。

5 結(jié)論

基于雙準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì)了一套五自由度運(yùn)動(dòng)誤差同步測量系統(tǒng),進(jìn)行了系統(tǒng)直線度、偏擺角和俯仰角誤差測量核心器件參數(shù)的自標(biāo)定,針對雙光束難以調(diào)平的問題,利用水平儀對系統(tǒng)雙光束進(jìn)行補(bǔ)償修正。與商用精密測量儀器的準(zhǔn)確度比對測試結(jié)果表明,該五自由度運(yùn)動(dòng)誤差測量系統(tǒng)500 mm 范圍內(nèi)直線度、偏擺俯仰角和滾轉(zhuǎn)角誤差的準(zhǔn)確度分別為0.8 μm,0.8″和1.5″,可應(yīng)用于機(jī)床幾何誤差快速測量,為機(jī)床幾何誤差測量研究提供了技術(shù)借鑒。