近日,中科院大連化學(xué)物理研究所副研究員陸曉偉、研究員姜鵬、包信和院士團(tuán)隊(duì)在高靈敏、低功耗人體紅外熱輻射探測(cè)器研制及其在非接觸人機(jī)交互系統(tǒng)中的應(yīng)用方面取得新進(jìn)展。相關(guān)研究成果發(fā)表在《先進(jìn)材料》上。
人體自發(fā)熱輻射主要位于長(zhǎng)波紅外波段,呈現(xiàn)出光子能量低、光強(qiáng)弱等特點(diǎn)。實(shí)現(xiàn)人體紅外熱輻射的高靈敏探測(cè),對(duì)構(gòu)建低功耗、非接觸人機(jī)交互系統(tǒng)具有重要意義。作為一種熱敏型探測(cè)器,光熱電探測(cè)器是基于光熱轉(zhuǎn)換、熱電轉(zhuǎn)換兩個(gè)能量轉(zhuǎn)換過(guò)程,具有光譜響應(yīng)范圍寬、無(wú)需制冷、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。目前,商業(yè)的光熱電探測(cè)器通常采用分立式的熱電堆結(jié)構(gòu),需要復(fù)雜的MEMS微機(jī)械加工制備工藝,且在探測(cè)人體熱輻射時(shí),其輸出電壓相對(duì)較?。〝?shù)十至數(shù)百微伏),需要額外的高信噪比信號(hào)采集電路。
該工作中,研究團(tuán)隊(duì)突破傳統(tǒng)熱電堆材料和構(gòu)架的限制,構(gòu)建了基于SrTiO3-x/CuNi異質(zhì)界面結(jié)構(gòu)的一體式熱電堆。該異質(zhì)界面結(jié)構(gòu)一方面將SrTiO3-x高的Seebeck系數(shù)(-737 μV/K)與CuNi高的電導(dǎo)率(5×105 S/m)協(xié)同耦合,在降低器件內(nèi)阻的同時(shí),可保持高的電壓輸出;另一方面,通過(guò)結(jié)合聲子共振吸收和自由載流子吸收,該異質(zhì)結(jié)展現(xiàn)出優(yōu)異的吸光能力,其在長(zhǎng)波紅外波段的吸光率最高可達(dá)98%。結(jié)合這些優(yōu)勢(shì),基于SrTiO3-x/CuNi的熱電堆在探測(cè)人體輻射時(shí)展現(xiàn)出高靈敏度、低噪音、高穩(wěn)定性等特征,其輸出電壓最高可達(dá)13 mV,相比商業(yè)熱電堆有數(shù)量級(jí)的提升。通過(guò)進(jìn)一步構(gòu)建熱電堆陣列,團(tuán)隊(duì)還實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)手勢(shì)識(shí)別、非接觸式數(shù)字/字母輸入等功能。
該研究為開發(fā)低功耗非接觸人機(jī)交互系統(tǒng)提供了新思路,在人工智能技術(shù)、公共衛(wèi)生安全領(lǐng)域具有廣闊的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。