項立剛

近日，據(jù)知情人士透露，美國正在施壓荷蘭，要求荃球最大的光刻機生產(chǎn)企業(yè)阿斯麥公司(ASML）禁止向申國出售深紫外線光刻機(DUV),從而把對中國光刻機的禁售范圍從先進制程的極紫外線光刻機(EUV)擴大到普遍使用的DUV,目的就是全力遏制正在崛起的中國芯片產(chǎn)業(yè)。

短期而言，一旦ASML真的作出禁售決定，將對中國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生一定阻礙。今天先進制程5nm、3nm的芯片生產(chǎn)需要EUV，這樣才能進行大規(guī)模先進制程芯片的生產(chǎn)，以往美國也把EUV作為主要限制對象。但是在日常生活中，大部分產(chǎn)品需要的不是7nm以下的先進制程芯片，而是14nm、28nm等芯片，這些芯片被大量用于通信、汽車、電器、工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域。中國每年進口的大部分芯片也是這一類，這類芯片的生產(chǎn)實際上不需要最先進的EUV，而是用更成熟的DUV就可以。相關(guān)資料顯示，2021年中國向ASML公司購買了81臺DUV光刻機，今年一季度ASML銷售的62臺光刻機中，DUV占了59臺，其中22臺是賣給了中國，可見近兩年中國是ASML的主要買家，占了其銷售量的約1/30如果ASML不向中國銷售DUV光刻機，這一方面將會在未來一段時間里遲滯中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，從這個意義上來說，美國的打擊是精準的，他們已經(jīng)看到，僅僅只是在高端制程上對中國進行限制，并不能全面壓制中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

但另一方面，美國也給荷蘭方面出了一個難題，如果停止對華銷售DUV光刻機，不僅ASML司會失去巨大市場，最大的問題在于，此舉極可能會在未來激勵中國相關(guān)企業(yè)發(fā)展，給他們制造出強大的競爭對手。近年來，美國對中國在芯片領(lǐng)域的制裁激發(fā)了中國在該領(lǐng)域的投入，突破“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)。中國大力發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)，從政府部門到制造領(lǐng)域,包括大量資本都抱中國的芯片發(fā)展看作一個巨大機遇?，F(xiàn)實上，中國近幾年芯片產(chǎn)業(yè)正在大規(guī)模崛起，在半導體供應(yīng)鏈中逐漸形成一定優(yōu)勢，有美國機構(gòu)調(diào)查稱，2021,年全世界增長最快的20家芯片公司中，中國占據(jù)了19家。還有文章指出，從1990年到2020年,全世界半導體超級工廠中國建設(shè)了32家，其他國家建設(shè)了24家，而美國一家也沒有。從這個角度看，中國芯片產(chǎn)業(yè)崛起不可阻擋。中國即使目前不能生產(chǎn)最先進制程的芯片，但是它很快會成長為世界芯片制造的重要力量。這也是美國要打擊中國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要動機。

而光刻機市場是一個技術(shù)密集、資金密集，但是規(guī)模并不大的市場，因威它的集中度非常高，目前全世界除了最強大的ASML之外，只有尼康、佳能、上海微電子等幾家企業(yè)可以生產(chǎn)光刻機。而高端的EUV因為投入巨大，客戶數(shù)量很少，只有ASML—家能夠生產(chǎn)。2002年成立的上海微電子通過20年的積累發(fā)展，也有了光刻機的研發(fā)、制造能力，但因為前些年，中國芯片制造企業(yè)并不多，而ASML等企業(yè)在技術(shù)、成本上具有很大優(yōu)勢，上海微電子公司的發(fā)展并不快，核心技術(shù)研發(fā)人員只有幾百人，這在一定程度上制約了國產(chǎn)光刻機的發(fā)展。但是，需要明確，上海微電子經(jīng)過2'0年發(fā)展，已經(jīng)有大量的技術(shù)積累，也能夠生產(chǎn)多型號的光刻機產(chǎn)品，目前90nm精度已經(jīng)量產(chǎn)，正在攻關(guān)28nm精度。而且除了上海微電子之外，中國還有一些企業(yè)也在光刻機上攻堅克難。也就是說，光刻機對中國并不是一個完全攻克不了的產(chǎn)品，我們已經(jīng)有自己的研發(fā)生產(chǎn)能力，只是以往因為市場不夠大，企業(yè)投入不夠，發(fā)展速度不夠快。

如果ASML公司屈服于美國的施壓，未來不再向中國銷售光刻機，中國正在發(fā)展的多家志片企業(yè)把目光轉(zhuǎn)向本土企業(yè)，這就給了他們巨大的機會一。有了訂單，再加上以往積累下來的技術(shù)和研發(fā)經(jīng)驗，這就河以復葡“人海戰(zhàn)術(shù)”，在光刻機領(lǐng)域進行密集的資金和人力投入。中國已經(jīng)有了光刻機的研發(fā)：生產(chǎn)能力，接下來就是把這個能力進行更好的擴展，剩下的就只是時間問題。

每一次美方施加這樣的制裁都是中國相關(guān)產(chǎn)業(yè)“蓄力超車”的機會，對于中國本土光刻機企業(yè)而言，壓力與機會并存。今天美方濫用國家力量，倚仗技術(shù)霸權(quán)搞“技術(shù)恐怖主義”，是在幫助我們下決心，認識到短板和問題，從而增加投入，力爭形成多部門的協(xié)作和生態(tài)鏈。等到中國光刻機研發(fā)有了更多的突破，這又何嘗不是中國芯片產(chǎn)業(yè)的新機會呢？▲（作者是信息消費聯(lián)盟理事長）