三氯氫硅
- 淺談多晶硅生產(chǎn)中碳雜質(zhì)的分布和去除
生二氯硅烷、三氯氫硅和四氯化硅的混合液，流程上首先要分離二氯硅烷和四氯化硅，因此甲基二氯硅烷幾乎都混合在三氯氫硅中，甲基三氯硅烷都混合在四氯化硅中。三氯氫硅為了達(dá)到進(jìn)入還原的純度要求，還要經(jīng)過(guò)2-4次脫輕脫重。于是甲基三氯硅烷就更多的富集在三氯氫硅首個(gè)脫重塔的塔釜液，甲基三氯硅烷會(huì)富集在四氯化硅脫重塔（部分工藝方案未設(shè)置該塔）的塔釜液。從2物化性質(zhì)分析也可以看出，經(jīng)過(guò)脫重后的三氯氫硅中不會(huì)有甲基三氯硅烷，但一定會(huì)有微量的甲基二氯硅烷。這些甲基二氯硅烷進(jìn)入還
世界有色金屬 2022年16期2022-10-20
- 多晶硅循環(huán)氫中氮含量升高原因及解決措施
藝是將電子級(jí)三氯氫硅與氫氣按一定的物質(zhì)的量比，在還原爐內(nèi)的高溫硅芯上發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，生產(chǎn)硅棒；產(chǎn)生的尾氣送至干法回收裝置進(jìn)行分離后重復(fù)使用[1]。循環(huán)氫中的氮含量影響干法回收循環(huán)氫質(zhì)量。在非金屬雜質(zhì)中，硅中的C、N、O等輕質(zhì)元素形成的SiC、Si3N4等非金屬夾雜以及氧沉淀等，也對(duì)材料電學(xué)性能及機(jī)械性能產(chǎn)生不利影響[2]。本文重點(diǎn)分析循環(huán)氫中氮含量升高的原因，并提出各個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)工藝優(yōu)化措施，從而降低循環(huán)氫中氮的含量，提升循環(huán)氫品質(zhì)。1 還原尾氣回收工
云南化工 2022年8期2022-08-16
- 電子級(jí)三氯氫硅中微量氯硅烷雜質(zhì)檢測(cè)應(yīng)用
氣體。電子級(jí)三氯氫硅主要用于制造硅酮化合物、電子級(jí)多晶硅、電子級(jí)單晶硅。三氯氫硅具有高腐蝕性、毒性，可與空氣中的水等成分發(fā)生發(fā)應(yīng)，在取樣過(guò)程中極易被污染，其泄漏對(duì)環(huán)境造成污染、影響人體健康。三氯氫硅常溫下為液體，所以將液態(tài)的三氯氫硅在密閉的管線中氣化，其中管線需要伴熱，防止已氣化的三氯氫硅在輸送到氣相色譜儀進(jìn)樣口之前液化。通過(guò)線性分析，檢測(cè)電子級(jí)三氯氫硅中痕量的氯硅烷雜質(zhì)。2 實(shí)驗(yàn)部分2.1 實(shí)驗(yàn)儀器AGC NovaCHROM 1000氣相色譜儀，搭載氦放
低溫與特氣 2022年3期2022-07-04
- 三氯氫硅，怎么就這么火？
董師傅當(dāng)下，三氯氫硅概念十分火熱。板塊中既有三連板的，也有20%漲停板的，還有短時(shí)間股價(jià)翻倍的，各路投資者在其中進(jìn)進(jìn)出出，好不熱鬧。作為光伏最上游的三氯氫硅，怎么就這么火？三氯氫硅，是一種無(wú)機(jī)化合物，由金屬硅粉和氯化氫反應(yīng)合成，主要用于制造多晶硅、硅烷偶聯(lián)劑等。其中，多晶硅為光伏的核心材料。據(jù)百川盈孚的數(shù)據(jù)顯示，2021年三氯氫硅產(chǎn)能為56.6萬(wàn)噸，產(chǎn)量為34.62萬(wàn)噸，下游實(shí)際消費(fèi)量為34.63萬(wàn)噸，其中32%用于多晶硅，25%用于硅烷偶聯(lián)劑，剩余43%
電腦報(bào) 2022年24期2022-07-01
- 壓力對(duì)氯硅烷精餾的影響研究
D)的方法將三氯氫硅(TCS)通過(guò)還原爐在 1100 ℃ 左右沉積而生成高純的硅料?；瘜W(xué)氣相沉積過(guò)程會(huì)產(chǎn)生四氯化硅(STC)、二氯二氫硅(DCS)、氯化氫(HCl)、氫氣(H2)、三氯氫硅等副產(chǎn)物和未完全反應(yīng)的原料組成的混合尾氣。這部分原料尾氣，通過(guò)冷凝后，變成含有四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅和溶解了少量HCl組成的混合液相料。這部分液相料，在精餾工序中進(jìn)行分離，得到高純度的、組分單一的四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅，然后進(jìn)行閉環(huán)回收再利用，可大大降低生
云南化工 2022年5期2022-06-17
- 樹(shù)脂除碳技術(shù)在超純三氯氫硅提純工藝中的應(yīng)用
0 引言高純三氯氫硅（SiHCl3，簡(jiǎn)稱TCS）是生產(chǎn)多晶硅的主要原料，也是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中硅外延片用的主要硅源材料之一，對(duì)其中雜質(zhì)的控制有很高的要求。改良西門子法工藝中，三氯氫硅中碳雜質(zhì)主要來(lái)自硅粉，其中以甲基氯硅烷形式存在，特別是沸點(diǎn)與三氯氫硅相接近的二甲基氯硅烷和甲基二氯硅烷難以去除，在多晶硅和作為硅源的外延片生產(chǎn)中很容易發(fā)生沉積，形成晶格點(diǎn)缺陷，從而影響半導(dǎo)體材料的性能。大部分的雜質(zhì)能在精餾系統(tǒng)高低沸中得以去除。然而，精餾產(chǎn)品中的微量雜質(zhì)是不能通過(guò)
化工管理 2022年3期2022-02-18
- 多晶硅生產(chǎn)中以四氯化硅補(bǔ)氯方式探討
產(chǎn)過(guò)程，包括三氯氫硅合成、還原、精餾、尾氣回收、冷氫化等過(guò)程。不管采用何種工藝，精餾、還原、尾氣回收和冷氫化等過(guò)程均會(huì)有硅、氯損耗，生產(chǎn)流程越長(zhǎng)，硅、氯損耗越大。1.2 氯補(bǔ)充方式當(dāng)前多晶硅補(bǔ)充氯主要采用2種方式，一是外購(gòu)液氯與氫氣進(jìn)行氯化氫合成，再用氯化氫與硅粉合成三氯氫硅；二是直接外購(gòu)三氯氫硅。對(duì)于多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，外購(gòu)液氯存在重大運(yùn)輸風(fēng)險(xiǎn)，且三氯氫硅合成過(guò)程經(jīng)濟(jì)效益不明顯，主要目的還是消耗過(guò)程副產(chǎn)氯化氫，實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)利用。以液氯補(bǔ)氯的工藝流程簡(jiǎn)圖如圖1
云南科技管理 2021年4期2021-10-19
- 三氯氫硅的安全生產(chǎn)
71023）三氯氫硅是光伏和集成電路制造過(guò)程中必不可少的原料[1-2]，尤其是高純三氯氫硅作為半導(dǎo)體硅外延所需的反應(yīng)氣體，在硅外延片生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用，硅外延片主要用于功率半導(dǎo)體器件和12英寸邏輯芯片，是集成電路的核心關(guān)鍵材料。然而，目前高純度三氯氫硅基本依賴進(jìn)口，發(fā)展高純度三氯氫硅具有廣闊的市場(chǎng)[3]。但是三氯氫硅的物化性質(zhì)比較活潑，易燃易爆。制備過(guò)程風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)較大，生產(chǎn)的安全把控尤為重要。1 物性特點(diǎn)三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭、易流動(dòng)、易揮
化工設(shè)計(jì)通訊 2020年12期2021-01-08
- 電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)尾氣中無(wú)定型硅的產(chǎn)生原因及預(yù)防措施
反應(yīng)動(dòng)向，而三氯氫硅的熱穩(wěn)定性較差，三氯氫硅開(kāi)始分解的溫度是400℃，隨著溫度上升，三氯氫硅分解加速，到550℃開(kāi)始劇烈分解，這是因?yàn)?span id="syggg00" class="hl">三氯氫硅化學(xué)結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱所致。三氯氫硅熱分解產(chǎn)生的硅顆粒一般沉積在硅芯的表面或在爐內(nèi)氣氛中。當(dāng)還原爐內(nèi)溫度達(dá)到900℃以上時(shí)，三氯氫硅才會(huì)在硅芯表面發(fā)生還原反應(yīng)，在高熱場(chǎng)中生成的硅顆粒沉積在硅芯表面。實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)爐內(nèi)反應(yīng)溫度在900～1080℃時(shí)三氯氫硅以熱分解為主，容易反應(yīng)生成SiH2Cl2，而二氯二氫硅的化學(xué)性質(zhì)非
化工管理 2020年34期2020-12-17
- 探討三氯氫硅在空氣中燃燒產(chǎn)物
考慮到可能的三氯氫硅泄漏燃燒事故。三氯氫硅在空氣中燃燒產(chǎn)物的成分是制定防護(hù)措施的依據(jù)。一般的文獻(xiàn)都會(huì)描述產(chǎn)物中包含氯氣，但并未明確氯氣產(chǎn)生的量。那么有三氯氫硅燃燒的環(huán)境，人員應(yīng)使用正壓空氣呼吸器或者佩戴氯氣專用的防毒面罩。事實(shí)上，多晶硅企業(yè)一般都沒(méi)有配備防氯氣中毒的物資而是主要防護(hù)氯化氫，行業(yè)內(nèi)卻鮮有聽(tīng)過(guò)氯氣中毒事件。因此，探討三氯氫硅在空氣中燃燒產(chǎn)物是制定防護(hù)措施的重要依據(jù)。1 理論計(jì)算如果我們認(rèn)為三氯氫硅在空氣中燃燒將產(chǎn)生氯氣，那么可以推斷出燃燒條件下
世界有色金屬 2020年12期2020-09-03
- 反應(yīng)精餾技術(shù)用于硅烷生產(chǎn)工藝的研究
密結(jié)合，運(yùn)用三氯氫硅兩次歧化生成硅烷，該技術(shù)同時(shí)可以消耗西門子工藝中的副產(chǎn)物二氯氫硅，值得推廣[1-3]。2 三氯氫硅歧化反應(yīng)機(jī)理三氯氫硅歧化反應(yīng)是可逆反應(yīng)，在一定的溫度壓力條件下，催化劑作用下，三氯氫硅發(fā)生一系列歧化反應(yīng)[4-7]，反應(yīng)原理如下：總的反應(yīng)方程式為：歧化反應(yīng)過(guò)程中，在催化劑存在下，式（2）反應(yīng)較為迅速，同時(shí)由于SiH3Cl極不穩(wěn)定，一旦生成立刻分解產(chǎn)生硅烷，因此式（2） 和式（3）達(dá)到平衡所需要時(shí)間遠(yuǎn)小于式（1）。因此式（1）是該歧化反應(yīng)的
云南化工 2020年3期2020-04-17
- 淺談氯堿企業(yè)的發(fā)展規(guī)劃，助推開(kāi)元化工可持續(xù)發(fā)展
礎(chǔ)，規(guī)劃了向三氯氫硅、環(huán)氧氯丙烷、環(huán)氧樹(shù)脂、氯化亞砜等材料產(chǎn)業(yè)擴(kuò)建或延伸，打造多條產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈，將一條產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的副產(chǎn)品用作另一個(gè)產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的投入或原材料，通過(guò)廢物交換、循環(huán)利用、清潔生產(chǎn)等手段，以最大限度地充分利用資源或減少負(fù)面環(huán)境影響，最終實(shí)現(xiàn)開(kāi)元化工可持續(xù)發(fā)展的目標(biāo)。關(guān)鍵詞：氯堿; 三氯氫硅; 環(huán)氧氯丙烷; 環(huán)氧樹(shù)脂; 氯化亞砜1929年，愛(ài)國(guó)實(shí)業(yè)家吳蘊(yùn)初先生在上海建立了天原電化工廠，從此揭開(kāi)我國(guó)氯堿工業(yè)發(fā)展的序幕。新中國(guó)成立后，氯堿工業(yè)經(jīng)過(guò)70年的發(fā)
科學(xué)與財(cái)富 2019年29期2019-10-21
- 三氯氫硅精餾提純塔的?分析
純工藝是提高三氯氫硅純度的關(guān)鍵，直接影響多晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量[2]。多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅精餾提純工藝綜合能耗約占總能耗的16%，主要為塔底再沸器蒸汽消耗，多晶硅生產(chǎn)中要求精餾產(chǎn)品純度高、精餾能源消耗少、精餾產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定、系統(tǒng)操作彈性大。為降低精餾提純工藝能耗，使用差壓熱耦合精餾技術(shù)，減少蒸汽消耗和塔頂循環(huán)水消耗[3]。傳統(tǒng)的應(yīng)用熱力學(xué)第一定律分析問(wèn)題的方法具有一定的局限性，只反映了能量在“量”上的關(guān)系，并沒(méi)有體現(xiàn)出能量在“質(zhì)”上的差異。分析方法的理論基礎(chǔ)是
有色冶金節(jié)能 2019年4期2019-09-21
- 三氯氫硅生產(chǎn)技術(shù)的改進(jìn)措施
重要中間體。三氯氫硅生產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)周期短，投資小，技術(shù)成熟，在國(guó)內(nèi)快速發(fā)展。由于盲目過(guò)速發(fā)展，2012年三氯氫硅總產(chǎn)能已達(dá)到約85萬(wàn)t/a，與國(guó)內(nèi)三氯氫硅50萬(wàn)t/a的需求量相比嚴(yán)重過(guò)剩。特別是近兩年來(lái)光伏產(chǎn)業(yè)急劇萎縮，三氯氫硅市場(chǎng)價(jià)格嚴(yán)重下滑，三氯氫硅企業(yè)大部分虧損，甚至部分企業(yè)已經(jīng)停產(chǎn)。在如此嚴(yán)峻的形勢(shì)下，企業(yè)當(dāng)務(wù)之急是提高自身管理水平，通過(guò)改進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)，降低各項(xiàng)生產(chǎn)消耗，實(shí)現(xiàn)企業(yè)在困境中發(fā)展。本文就三氯氫硅生產(chǎn)技術(shù)的改進(jìn)措施展開(kāi)探討。關(guān)鍵詞：三氯氫硅;
E動(dòng)時(shí)尚·科學(xué)工程技術(shù) 2019年5期2019-09-10
- 多晶硅原輔料中碳雜質(zhì)的分析
主反應(yīng)為高純三氯氫硅和氫氣在1100下的還原反應(yīng)，硅沉積在高純硅芯表面上，隨著沉積不斷進(jìn)行硅芯逐漸長(zhǎng)大長(zhǎng)粗，最終生長(zhǎng)為120～150mm尺寸的硅棒產(chǎn)品。碳在硅中主要以替位式或間隙式的形式存在。其中間隙式的碳原子主要是在器件制造過(guò)程中，通過(guò)氧沉淀、離子注入或等離子工藝而引入的自間隙硅原子與替位碳原子位置互換形成。一定條件下，碳會(huì)成為氧沉淀的成核中心，促進(jìn)氧的沉淀，氧的沉淀量依賴于碳含量的多少，而氧沉淀會(huì)誘發(fā)位錯(cuò)、層錯(cuò)等二次缺陷，這些會(huì)引發(fā)P-N結(jié)的軟擊穿、漏
云南化工 2019年1期2019-03-29
- 氣相色譜-質(zhì)譜法同時(shí)測(cè)定高純三氯氫硅中4種甲基氯硅烷的方法研究
55000)三氯氫硅(沸點(diǎn)：33℃)是一種重要的硅化合物中間體，主要用于制造多晶硅或者有機(jī)硅材料。三氯氫硅中的主要含碳雜質(zhì)是甲基氯硅烷[1]，常見(jiàn)的4鐘甲基氯硅烷的化學(xué)性質(zhì)極其活潑、沸點(diǎn)接近(一甲基二氯硅烷，沸點(diǎn)：41.9℃；三甲基一氯硅烷，沸點(diǎn)：57.7℃；一甲基三氯硅烷，沸點(diǎn)：66.4℃；二甲基二氯硅烷，沸點(diǎn)：70.5℃)，在精餾工序中較難分離去除。因此，要控制多晶硅中碳含量，必須嚴(yán)格控制三氯氫硅中甲基氯硅烷的濃度。三氯氫硅中4種甲基氯硅烷的分離具有相
分析儀器 2019年1期2019-02-20
- 電子級(jí)多晶硅制備過(guò)程中質(zhì)量影響因素分析
的工藝主要有三氯氫硅氫還原法和硅烷熱分解法兩種[2-3]。全球90%以上的多晶硅企業(yè)采用三氯氫硅氫還原工藝(即改良西門子法)生產(chǎn)電子級(jí)高純多晶硅，其特點(diǎn)是沉積速率較快，安全性好，產(chǎn)品純度不僅能夠滿足太陽(yáng)能級(jí)需求而且可以生產(chǎn)出高純的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品，以該工藝生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)量一直占據(jù)主導(dǎo)地位。當(dāng)然，也有部分公司采用硅烷熱分解方法生產(chǎn)電子級(jí)區(qū)熔用高純多晶硅棒，如美國(guó)REC公司，采用的是三氯氫硅轉(zhuǎn)化為硅烷[4]，然后用硅烷在CVD爐中沉積生產(chǎn)區(qū)熔多晶硅棒。該工藝沒(méi)
中國(guó)有色冶金 2019年6期2019-01-21
- 三氯氫硅制備技術(shù)進(jìn)展
1000））三氯氫硅是制備有機(jī)硅、生產(chǎn)硅晶太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體器件的重要原料[1，2]，也可用于外延硅片和硅烷的制備。目前三氯氫硅制備主要有硅氯氫化法、四氯化硅氫化和綜合利用副產(chǎn)物的反歧化法。1 硅氯氫化法制備三氯氫硅硅氯氫化法是將無(wú)水氯化氫和硅粉放在流化床中于 280～320 ℃、0.20～0.40 MPa的條件下反應(yīng)制得，必要時(shí)添加銅或銅鹽作為催化劑，反應(yīng)產(chǎn)物主要為SiHCl3和SiCl4，反應(yīng)方程式如下：該反應(yīng)為強(qiáng)放熱反應(yīng)，通常采用內(nèi)置的換熱管將反應(yīng)熱
中國(guó)氯堿 2018年9期2018-10-30
- 三氯氫硅生產(chǎn)中現(xiàn)存問(wèn)題及發(fā)展前景
發(fā)展迅猛，而三氯氫硅則是光伏產(chǎn)業(yè)和有機(jī)硅產(chǎn)業(yè)中一個(gè)重要環(huán)節(jié)。本文通過(guò)對(duì)三氯氫硅生產(chǎn)中遇到的問(wèn)題以及發(fā)展前景進(jìn)行分析，針對(duì)這些問(wèn)題，找到解決問(wèn)題的辦法，為我國(guó)三氯氫硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供參考。關(guān)鍵詞：三氯氫硅；生產(chǎn)；存在問(wèn)題；發(fā)展前景三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體，還是制造多晶硅的主要原料。我國(guó)三氯氫硅行業(yè)的發(fā)展，跟整個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展息息相關(guān)。同其他行業(yè)一樣，也經(jīng)歷過(guò)初期、發(fā)展、高潮、低迷、穩(wěn)定的各個(gè)階段。本來(lái)基于解決氯堿生產(chǎn)中氯過(guò)剩問(wèn)題
中國(guó)化工貿(mào)易·上旬刊 2018年4期2018-09-10
- 三孚股份延伸硅鉀產(chǎn)業(yè)鏈布局高端
現(xiàn)已形成了以三氯氫硅、高純四氯化硅、氫氧化鉀和硫酸鉀的“兩硅兩鉀”為核心的循環(huán)經(jīng)濟(jì)模式，綜合競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升，打造了以精細(xì)化工產(chǎn)品為主線的產(chǎn)業(yè)鏈聚合。三氯氫硅生產(chǎn)系統(tǒng)的副產(chǎn)品氫氣作為氫氧化鉀生產(chǎn)所需能源，氫氧化鉀生產(chǎn)系統(tǒng)的副產(chǎn)品氯化氫作為三氯氫硅生產(chǎn)所需原材料，硫酸鉀生產(chǎn)系統(tǒng)的副產(chǎn)品鹽酸可解析為氯化氫用作三氯氫硅生產(chǎn)所需原材料，三氯氫硅生產(chǎn)系統(tǒng)的副產(chǎn)品普通四氯化硅作為高純四氯化硅生產(chǎn)所需原材料，余能余熱回收副產(chǎn)蒸汽供應(yīng)生產(chǎn)系統(tǒng)循環(huán)利用。目前三孚股份的募投項(xiàng)目
證券市場(chǎng)紅周刊 2018年23期2018-05-14
- 三氯氫硅精餾過(guò)程的模擬與優(yōu)化
基礎(chǔ)材料，而三氯氫硅提純是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，并且這一環(huán)節(jié)的提純效果直接影響著多晶硅產(chǎn)品最終的產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí)，由于多方面因素的干擾和影響，目前三氯氫硅精餾生產(chǎn)流程仍存在著能耗偏高、三氯氫硅損失量較高等問(wèn)題，制約著光伏產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步健康發(fā)展。筆者即從三氯氫硅精餾入手，通過(guò)化工流程模擬軟件，針對(duì)目前主流的三氯氫硅精餾雙塔工藝流程進(jìn)行了模擬計(jì)算，并相應(yīng)提出了幾點(diǎn)優(yōu)化建議，以供相關(guān)人員參考。關(guān)鍵詞： 三氯氫硅；精餾；過(guò)程模擬；優(yōu)化近幾年，我國(guó)社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展迅速，帶動(dòng)
科學(xué)與財(cái)富 2018年5期2018-04-21
- 2018062 電子級(jí)多晶硅的制備方法
方法包括：將三氯氫硅液體和/或氯硅烷液體進(jìn)行提純，得到三氯氫硅，氯硅烷液體包括三氯氫硅；及采用氫氣與三氯氫硅進(jìn)行還原反應(yīng)，得到電子級(jí)多晶硅，提純步驟包括：對(duì)三氯氫硅液體和/或氯硅烷液體進(jìn)行第一精餾過(guò)程，得到三氯氫硅粗產(chǎn)品；將三氯氫硅粗產(chǎn)品與絡(luò)合劑發(fā)生絡(luò)合反應(yīng)，以使三氯氫硅粗產(chǎn)品中的雜質(zhì)轉(zhuǎn)化為絡(luò)合物，得到中間產(chǎn)物，其中雜質(zhì)包括B、P和Fe、Al組成的組分中的一種或多種；及將中間產(chǎn)物進(jìn)行第二精餾過(guò)程，以去除絡(luò)合物，得到三氯氫硅。將純度較高的三氯氫硅原料與氫氣發(fā)
中國(guó)有色冶金 2018年6期2018-02-02
- 多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅精餾節(jié)能工藝
多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅精餾節(jié)能工藝劉露(江蘇索普工程科技有限公司，江蘇鎮(zhèn)江212006)多晶硅在我國(guó)擁有著廣泛的生產(chǎn)市場(chǎng)和消費(fèi)市場(chǎng)，為了實(shí)現(xiàn)能量的集成與過(guò)程的優(yōu)化，可以采用化工模擬軟件PRO進(jìn)行模擬集成，減少設(shè)備投資，提高工業(yè)化程度。全球性的氣候變化和能源安全使各國(guó)積極推進(jìn)能源產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型，我國(guó)光伏產(chǎn)能以70%的速度增長(zhǎng)，位居世界前列，多晶硅的供應(yīng)將直接影響光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。本文主要分析了多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅精餾節(jié)能工藝在我國(guó)的發(fā)展。多晶硅生產(chǎn);三氯氫硅;精餾節(jié)能
化工管理 2017年30期2017-11-03
- 太陽(yáng)能級(jí)多晶硅用三氯氫硅中金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法
能級(jí)多晶硅用三氯氫硅中金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法陳黎明 / 上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院在潔凈室里，采用在氬氣保護(hù)下進(jìn)行高純三氯氫硅的揮發(fā)，然后用高純酸溶解，用高分辨電感耦合等離子體質(zhì)譜儀檢測(cè)痕量金屬雜質(zhì)，方法的檢出限為0.45～14.6 ng/kg，加標(biāo)法回收率為89.6%～108.2%。前處理簡(jiǎn)單、快速，避免了在樣品前處理時(shí)的污染問(wèn)題，檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確可靠。多晶硅；三氯氫硅；金屬雜質(zhì)0 引言高純三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯(lián)劑和其他有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體，還是制造多晶硅的
上海計(jì)量測(cè)試 2017年3期2017-07-24
- 三氯氫硅合成工藝及系統(tǒng)
三氯氫硅合成工藝及系統(tǒng)申請(qǐng)(專利)號(hào)： 201510120467.4公開(kāi)(公告)日：2016-10-19申請(qǐng)(專利權(quán))人：內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司一種三氯氫硅合成系統(tǒng)，包括合成爐、為合成爐供應(yīng)與合成爐內(nèi)外加硅粉反應(yīng)HCL的HCL儲(chǔ)罐、用于冷凝合成爐尾氣的第一冷凝器、接收來(lái)自第一冷凝器冷凝后氯硅烷液體的冷凝料儲(chǔ)罐、接收來(lái)自于冷凝器的不凝氣的緩沖罐，分離提純來(lái)自于冷凝料儲(chǔ)罐的氯硅烷的分離提純裝置、氯硅烷儲(chǔ)罐、汽化器、混合加熱器、流化床反應(yīng)器、第二冷凝器。本發(fā)
低溫與特氣 2017年2期2017-04-14
- 氣相色譜法測(cè)定高純三氯氫硅中的總碳含量
譜法測(cè)定高純三氯氫硅中的總碳含量劉英杰 劉新軍 鄭華榮 柯尊斌(南京中鍺科技有限責(zé)任公司，南京 211165)將高純三氯氫硅中的含碳物質(zhì)在氫氣還原爐內(nèi)轉(zhuǎn)化成甲烷，利用配備氫火焰離子化檢測(cè)器的氣相色譜儀進(jìn)行測(cè)定，最后換算成總碳的含量。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，高純三氯氫硅中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物質(zhì)在轉(zhuǎn)化爐內(nèi)均具有良好的轉(zhuǎn)化率，轉(zhuǎn)化率大于85%。樣品中含碳量的測(cè)定結(jié)果之間重復(fù)性好，精密度較高，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差均小于10%。方法簡(jiǎn)單、快捷，準(zhǔn)確度
中國(guó)無(wú)機(jī)分析化學(xué) 2017年1期2017-03-27
- 三氯氫硅精餾提純模擬和優(yōu)化
K物性方法對(duì)三氯氫硅精餾提純過(guò)程進(jìn)行了模擬計(jì)算，得到了和實(shí)際相符的結(jié)果，并在保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提下進(jìn)行了優(yōu)化，降低了能耗，對(duì)生產(chǎn)實(shí)際具有一定的指導(dǎo)意義?！娟P(guān)鍵詞】三氯氫硅；模擬；精餾迄今為止，多晶硅生產(chǎn)方法多采用改良西門子法工藝生產(chǎn)的，即氫氣和三氯氫硅反應(yīng)生成高純硅。三氯氫硅的純度是最終產(chǎn)品太陽(yáng)能級(jí)多晶硅純度的關(guān)鍵因素之一[1]。在現(xiàn)階段工藝流程中，三氯氫硅的提純方法主要采用精餾提純的方式。精餾分離效果直接影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量，尤其是硼，磷等微量雜質(zhì)，產(chǎn)品中要
科技視界 2016年22期2016-10-18
- 三氯氫硅生產(chǎn)工藝的優(yōu)化
10007)三氯氫硅生產(chǎn)工藝的優(yōu)化許保紅(亞洲硅業(yè)(青海)有限公司, 青海 西寧 810007)三氯氫硅是有機(jī)硅偶聯(lián)劑中最為基礎(chǔ)的單體，且是制備多晶硅的主要原料，常常用來(lái)合成芳基、烷基、有機(jī)硅烷、有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷等。在我們的日常生活與生產(chǎn)中三氯氫硅有著非常重要的作用。然而現(xiàn)階段我國(guó)三氯氫硅的生產(chǎn)工藝仍存在許多不足，急需改進(jìn)。為此，本文將結(jié)合筆者實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，對(duì)三氯氫硅生產(chǎn)工藝及其相應(yīng)的優(yōu)化策略進(jìn)行分析。三氯氫硅；生產(chǎn)工藝；優(yōu)化1 三氯氫硅生產(chǎn)工藝(1)三氯氫硅
化工管理 2016年13期2016-03-15
- 淺談?dòng)绊?span id="syggg00" class="hl">三氯氫硅合成爐運(yùn)行周期的因素
0）淺談?dòng)绊?span id="syggg00" class="hl">三氯氫硅合成爐運(yùn)行周期的因素孔建梅（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖655000）三氯氫硅合成爐是生產(chǎn)三氯氫硅的核心設(shè)備，合成爐的運(yùn)行周期直接影響三氯氫硅合成系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行的時(shí)間。本文結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)，經(jīng)過(guò)理論分析，提出了如何延長(zhǎng)三氯氫硅合成爐運(yùn)行周期，從而保證三氯氫硅合成系統(tǒng)穩(wěn)定生產(chǎn)。三氯氫硅；合成爐；因素當(dāng)今太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的主要生產(chǎn)方法為改良西門子法［1］。三氯氫硅合成是閉環(huán)生產(chǎn)中的源頭工序，三氯氫硅合成爐是多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中合成三氯氫硅原料的
化工管理 2016年12期2016-03-14
- 三氯氫硅廢氣處理系統(tǒng)改造技術(shù)
55150）三氯氫硅廢氣處理系統(tǒng)改造技術(shù)張賀廣（河北邢礦硅業(yè)科技有限公司，河北 邢臺(tái) 055150）通過(guò)更換尾氣吸收塔，增加塔高，提高循環(huán)泵的功率、揚(yáng)程、流量，增加噴頭的數(shù)量，增加中和池等，改善了尾氣吸收塔堵塞的狀況，并解決了由此帶來(lái)的安全和環(huán)境問(wèn)題。吸收塔；循環(huán)泵；中和池1 工藝過(guò)程簡(jiǎn)述河北邢礦硅業(yè)科技有限公司位于邢臺(tái)市任縣化工園區(qū)，擁有2萬(wàn)t/a三氯氫硅生產(chǎn)規(guī)模，生產(chǎn)工藝為沸騰氯化法能耗低、產(chǎn)品質(zhì)量高，無(wú)污染。采用加壓鹽酸解析工藝，廢水含酸控制在1%以
中國(guó)氯堿 2016年8期2016-02-09
- 氯化氫含氧量等技術(shù)條件對(duì)三氯氫硅質(zhì)量、產(chǎn)量的影響
71000）三氯氫硅（TCS）合成的基本反應(yīng)式為Si+3HCl=SiHCl3+H2，在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)有大約15%的副產(chǎn)物STC產(chǎn)生。目前，國(guó)內(nèi)外基本通過(guò)生產(chǎn)有機(jī)硅、氫化生產(chǎn)TCS及白炭黑等工藝消耗STC，但從節(jié)能減排，降低成本的角度分析，提高三氯氫硅合成的效率依然是合成生產(chǎn)過(guò)程中控制的關(guān)鍵點(diǎn)之一。1 HCl含氧、H2O對(duì)TCS生成反應(yīng)的影響在合成反應(yīng)過(guò)程中，因?yàn)镾i-O鍵比Si-Cl鍵更為穩(wěn)定，所以反應(yīng)生成的TCS在有氧及H2O存在的前提下極易發(fā)生副反應(yīng)，降
化工管理 2015年12期2015-12-21
- 多晶硅副產(chǎn)物在生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)利用
壓條件下生成三氯氫硅，將三氯氫硅進(jìn)一步歧化加氫生成二氯二氫硅，繼而生成硅烷氣。將硅烷氣通入加有小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行連續(xù)熱分解反應(yīng)，生成粒狀多晶硅。此方法缺點(diǎn)是安全性差，危險(xiǎn)性大，生產(chǎn)出的產(chǎn)品純度不高。1.3西門子法1955年，德國(guó)西門子公司開(kāi)發(fā)出以氫氣還原高純三氯氫硅在1 100℃左右的硅芯上沉積多晶硅的生產(chǎn)工藝，1957年這種工藝開(kāi)始工業(yè)化生產(chǎn)，被外界稱為西門子法。西門子法存在多晶硅轉(zhuǎn)化率低、副產(chǎn)物排放污染嚴(yán)重等不足。1.4改良西門子法改良西門
無(wú)機(jī)鹽工業(yè) 2015年12期2015-10-27
- 三氯氫硅生產(chǎn)裝置設(shè)計(jì)及優(yōu)化措施
侯松濤三氯氫硅生產(chǎn)裝置設(shè)計(jì)及優(yōu)化措施侯松濤上海華誼工程有限公司 （上海200235）摘要本三氯氫硅工業(yè)生產(chǎn)裝置采用硅粉與氯化氫氣體直接反應(yīng)的常壓沸騰床工藝。介紹了整個(gè)生產(chǎn)工藝流程；分析生產(chǎn)過(guò)程中的主要危險(xiǎn)因素，提出避免危險(xiǎn)因素出現(xiàn)的主要設(shè)計(jì)措施；分析了硅粉粒徑、氯化氫含水量、合成爐反應(yīng)溫度、精餾效果對(duì)三氯氫硅產(chǎn)品的影響并提出優(yōu)化措施。關(guān)鍵字三氯氫硅多晶硅生產(chǎn)工藝工業(yè)化設(shè)計(jì)優(yōu)化三氯氫硅又稱三氯硅烷，分子式為SiHCl3，可用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及其他有機(jī)
上?；?2015年8期2015-07-25
- 三氯氫硅生產(chǎn)工藝的優(yōu)化
63305）三氯氫硅生產(chǎn)工藝的優(yōu)化李雪瑛 （唐山三孚硅業(yè)股份有限公司，河北 唐山 063305）摘 要：本文針對(duì)三氯氫硅生產(chǎn)工藝中存在的問(wèn)題，提出了具體的整改措施，并闡述了方案實(shí)施后取得的良好經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境效益。關(guān)鍵詞：三氯氫硅；生產(chǎn)工藝；改造；優(yōu)化1 概述唐山三孚硅業(yè)股份有限公司成立于2006年10月20日，以生產(chǎn)三氯氫硅﹑四氯化硅﹑氫氧化鉀等產(chǎn)品為主，目前三氯氫硅生產(chǎn)能力6.5萬(wàn)噸/年﹑四氯化硅1.08萬(wàn)噸/年﹑氫氧化鉀5.6萬(wàn)噸/年，該公司已經(jīng)成為我
中國(guó)新技術(shù)新產(chǎn)品 2015年21期2015-07-19
- 高純硅烷生產(chǎn)技術(shù)研究進(jìn)展
化鋰直接還原三氯氫硅來(lái)制備硅烷。在315～425℃下，在熔融氯化鋰和氯化鉀中，以氦氣為載氣將三氯氫硅引入反應(yīng)器與氫化鋰反應(yīng)，得到硅烷。反應(yīng)中必須不斷地補(bǔ)充氯化鉀，以保持氯化鋰和氯化鉀的比例為1∶1。涉及反應(yīng)如下:存在問(wèn)題:反應(yīng)消耗大量氯化鋰和氯化鉀，原材料成本高;反應(yīng)條件苛刻，因而難以形成大規(guī)模生產(chǎn)。1.3 氟硅法該技術(shù)以氫化鋁鈉直接還原四氟化硅來(lái)制備硅烷，是美國(guó)MEMC公司開(kāi)發(fā)的技術(shù)。它用鋁粉和液態(tài)金屬鈉與氫氣反應(yīng)制取氫化鋁鈉，氫化鋁鈉與四氟化硅反應(yīng)制取
河南化工 2015年10期2015-06-21
- 硅粉活性對(duì)三氯氫硅合成的功效及其評(píng)定
催化反應(yīng)合成三氯氫硅(多晶硅中間體)，進(jìn)而制取多晶硅。硅扮演合成的載體，將其剛性的無(wú)機(jī)特性賦予柔性的高分子有機(jī)物，獲得特異功能材料[1-3]，正像硅熔進(jìn)鋼中，煉得優(yōu)質(zhì)硅鋼。作用明顯，身價(jià)倍增，硅這種優(yōu)化各類材料的“品格”值得稱贊。2)借助優(yōu)勢(shì)，強(qiáng)化自身。硅優(yōu)化了高分子材料，同時(shí)高分子材料也以自己特有的化學(xué)功能[4]，使硅得到純化，達(dá)到9個(gè)9的純度，開(kāi)拓出多晶硅、單晶硅特異的光伏功效。硅就這樣經(jīng)歷有機(jī)化和無(wú)機(jī)化，借助友好材料，得化工演變之機(jī)，發(fā)揮天賦的特異稟
太陽(yáng)能 2015年7期2015-05-15
- 多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)二氯二氫硅的產(chǎn)生與利用
硅氫化工序、三氯氫硅合成工序以及整個(gè)系統(tǒng)二氯二氫硅的生成量，對(duì)多晶硅系統(tǒng)副產(chǎn)二氯二氫硅的利用進(jìn)行了討論。多晶硅； 二氯二氫硅； 生產(chǎn)； 利用0 引言二氯二氫硅是一種高附加值產(chǎn)品，分子量101，沸點(diǎn)8.2 ℃，熔點(diǎn)-122.0 ℃，常溫下存儲(chǔ)于高壓罐中，呈液化氣體狀態(tài)，25 ℃液體密度為1 250 kg/m3，極易水解，在空氣中冒白煙，有鹽酸氣味，水分存在下有極強(qiáng)的腐蝕性。二氯二氫硅主要應(yīng)用在外延硅和多晶硅的生長(zhǎng)、硅化鎢等的化學(xué)氣相沉積及高性能太陽(yáng)能電池等領(lǐng)
中國(guó)有色冶金 2014年4期2014-08-10
- 差壓耦合聯(lián)合熱泵精餾在SiHCl3提純過(guò)程中的模擬
多晶硅生產(chǎn)時(shí)三氯氫硅提純過(guò)程能耗高的特點(diǎn)，運(yùn)用化工模擬軟件Aspen Plus，采用差壓耦合聯(lián)合熱泵精餾技術(shù)對(duì)傳統(tǒng)的三氯氫硅雙塔提純工藝進(jìn)行的節(jié)能模擬分析。計(jì)算結(jié)果表明：在處理量相同的情況下，與傳統(tǒng)精餾提純工藝以及差壓耦合精餾技術(shù)相比，能耗費(fèi)用分別節(jié)約83.9%和68.1%。關(guān)鍵詞：三氯氫硅；差壓耦合；熱泵精餾；節(jié)能中圖分類號(hào)：TQ053 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1009-2374（2014）15-0057-02近年來(lái)，太陽(yáng)能作為一種環(huán)境友好型的清潔能源
中國(guó)高新技術(shù)企業(yè) 2014年10期2014-07-02
- 氣相色譜－質(zhì)譜法測(cè)定三氯氫硅中甲基二氯硅烷的方法研究
－質(zhì)譜法測(cè)定三氯氫硅中甲基二氯硅烷的方法研究沈立俊，楊紅燕，趙建為（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖 655000）采用氣相色譜－質(zhì)譜（GC－MS）聯(lián)用技術(shù)，以1，2－二氯乙烷為內(nèi)標(biāo)，用內(nèi)標(biāo)法對(duì)三氯氫硅（SiH3Cl）中的含碳雜質(zhì)甲基二氯硅烷快速分離并進(jìn)行了分析測(cè)定方法研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，甲基二氯硅烷含量在0.1～100μg／mL范圍內(nèi)有良好的線性關(guān)系，相關(guān)系數(shù)r大于0.999 9。該方法重現(xiàn)性好，可用于多晶硅生產(chǎn)用三氯氫硅中含碳雜質(zhì)甲基二氯硅烷的分析
湖南有色金屬 2014年2期2014-07-01
- 三氯氫硅市場(chǎng)走出低谷
，拉動(dòng)了上游三氯氫硅市場(chǎng)，使三氯氫硅行業(yè)逐漸走出低谷并漸入佳境。行業(yè)開(kāi)工率從上半年的60%提升到現(xiàn)在的80%，一些龍頭企業(yè)如唐山三孚、河南尚宇等產(chǎn)能已經(jīng)開(kāi)足開(kāi)滿，售價(jià)也從上半年的5400元(噸價(jià)，下同)逐步提高到目前的5700～5800元，市場(chǎng)逐步轉(zhuǎn)向賣方為主導(dǎo)的銷售格局。據(jù)預(yù)測(cè)，2014年全球新增光伏裝機(jī)容量將達(dá)45 GW。其中，中、日、美等國(guó)光伏裝機(jī)量將首次超過(guò)歐洲，成為光伏裝機(jī)量新的增長(zhǎng)點(diǎn)。近期國(guó)家能源局發(fā)布了《關(guān)于進(jìn)一步落實(shí)分布式光伏發(fā)電有關(guān)政策的
低溫與特氣 2014年6期2014-03-23
- 外延用三氯氫硅精餾生產(chǎn)過(guò)程中各參數(shù)之間關(guān)系的研究
外延用電子級(jí)三氯氫硅主要是應(yīng)用在硅襯底外延過(guò)程中的一種重用的氣體材料，外延生長(zhǎng)過(guò)程中通過(guò)精準(zhǔn)摻雜與襯底形成PN型材料作為后道產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。純度作為電子級(jí)三氯氫硅產(chǎn)品的重要的質(zhì)量指標(biāo)受到多了制造團(tuán)隊(duì)以及使用方的高度關(guān)注，本文將著重對(duì)外延用三氯氫硅的生產(chǎn)過(guò)程中各參數(shù)之間的關(guān)系進(jìn)行分析研究。原理精餾作為一種分離技術(shù)，在電子級(jí)三氯氫硅的制造過(guò)程中被主要應(yīng)用。它是以相互混合的體系中各組分在同樣的條件下的沸點(diǎn)或者飽和蒸汽壓的不同為依據(jù)，通過(guò)吸收或放出熱量，使得混合物形成氣
化工管理 2013年8期2013-08-15
- 熱泵精餾在三氯氫硅提純過(guò)程中的模擬
子法中，高純三氯氫硅的提純和精制是能耗很高的化工分離單元，國(guó)內(nèi)一般用3 塔甚至是6 塔串聯(lián)來(lái)提純三氯氫硅，能耗極高，因此做好該單元的節(jié)能減排工作迫在眉睫。熱泵精餾技術(shù)是有效的節(jié)能手段，目前廣泛應(yīng)用于丙烯-丙烷精餾過(guò)程中[4]，使能量費(fèi)用急劇下降。本文作者將熱泵精餾技術(shù)應(yīng)用于三氯氫硅精餾過(guò)程中，并對(duì)熱泵精餾的操作參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，給三氯氫硅熱泵精餾工業(yè)化提供了設(shè)計(jì)參考。1 熱泵精餾節(jié)能技術(shù)熱泵精餾技術(shù)的想法最早是在20 世紀(jì)50年代由Robinson 和Gill
化工進(jìn)展 2013年6期2013-08-02
- 四氯化硅氫化工藝研究與探討
氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的兩種工藝：熱氫化與冷氫化。對(duì)兩種工藝的特點(diǎn)、過(guò)程能耗及發(fā)展方向進(jìn)行了研究與探討。四氯化硅；熱氫化；冷氫化；三氯氫硅隨著能源危機(jī)和環(huán)保壓力的日益加劇，國(guó)內(nèi)外在努力發(fā)展可再生、清潔能源。太陽(yáng)能作為取之不竭、用之不盡的清潔能源得到了廣泛關(guān)注[1]。多晶硅是太陽(yáng)能行業(yè)的基礎(chǔ)原材料，其主要生產(chǎn)工藝是改良西門子法和硅烷法。三氯氫硅還原制備多晶硅以及三氯氫硅歧化制備硅烷生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的四氯化硅副產(chǎn)物[2]。四氯化硅是無(wú)色透明有毒的液體，具有刺
石油化工應(yīng)用 2013年3期2013-01-16
- 三氯氫硅合成尾氣回收方法探討
65環(huán)境保護(hù)三氯氫硅合成尾氣回收方法探討鄭開(kāi)學(xué)*華陸工程科技有限責(zé)任公司 西安 710065探討三氯氫硅合成尾氣回收方法，降低三氯氫硅生產(chǎn)成本，利于環(huán)境保護(hù)。多晶硅三氯氫硅尾氣回收1 概述多晶硅是制造集成電路、光伏太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵材料，是發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和光伏新能源產(chǎn)業(yè)的重要基石。三氯氫硅又是生產(chǎn)多晶硅的重要原料，作為多晶硅生產(chǎn)工藝的重要組成部分，三氯氫硅生產(chǎn)成本和“三廢”排放直接影響多晶硅的生產(chǎn)成本和環(huán)境。因此，改進(jìn)三氯氫硅生產(chǎn)工藝對(duì)多晶硅生產(chǎn)有著重要意義。
化工設(shè)計(jì) 2012年2期2012-12-08
- 三氯氫硅氣相色譜分析條件研究
工分析與測(cè)試三氯氫硅氣相色譜分析條件研究楊 裴1，范國(guó)強(qiáng)1，白 瑩1，郭永欣1，胡家啟2，葉世勝2（1.中海油天津化工研究設(shè)計(jì)院，天津 300131；2.浙江新安化工有限公司）對(duì)三氯氫硅氣相色譜分析條件進(jìn)行了研究，確定了三氯氫硅毛細(xì)管柱的色譜分析條件。采用確定的色譜分析條件進(jìn)行了方法的線性范圍測(cè)定，得到線性相關(guān)系數(shù)R=0.999 93。進(jìn)行了方法的平行性和重復(fù)性試驗(yàn)，結(jié)果表明：方法的平行性好，重復(fù)性好，三氯氫硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD）小于0.02%
無(wú)機(jī)鹽工業(yè) 2012年9期2012-11-14
- 四氯化硅加氫及其催化劑的研究進(jìn)展
化硅加氫生成三氯氫硅是處理多晶硅廢物四氯化硅最理想的方法，四氯化硅在高溫、高壓、催化劑的條件下，與氫氣反應(yīng)生成三氯氫硅，而三氯氫硅是生產(chǎn)多晶硅的原料，這就從源頭上避免了污染的產(chǎn)生。1 四氯化硅氫化的研究現(xiàn)狀四氯化硅加氫制備三氯氫硅可分為熱氫化和冷氫化，冷氫化根據(jù)是否加氯化氫可延伸出氯氫化法和等離子氫化法等。等離子氫化是四氯化硅轉(zhuǎn)化率最高的方法，目前還處于實(shí)驗(yàn)階段。下面就這幾種方法作一簡(jiǎn)單的介紹。1.1 熱氫化熱氫化法是指四氯化硅與氫氣在高溫、催化劑條件下反
化工設(shè)計(jì)通訊 2012年6期2012-10-20
- 三氯氫硅合成爐運(yùn)行總結(jié)
04000）三氯氫硅合成爐運(yùn)行總結(jié)柯曾，張同榮（重慶三陽(yáng)化工有限公司，重慶萬(wàn)州404000）分析了影響三氯氫硅合成反應(yīng)效果的因素并對(duì)合成爐的技術(shù)改進(jìn)提出了建議。關(guān)鍵詞：三氯氫硅；流化床；料層；氣速；硅粉粒度；反應(yīng)溫度三氯氫硅是重要的化工原料也是氯堿企業(yè)重要的耗氯、耗氫產(chǎn)品。重慶三陽(yáng)化工有限公司1.5萬(wàn)t/a三氯氫硅項(xiàng)目于2010年6月投料試車，經(jīng)過(guò)探索和調(diào)整運(yùn)行參數(shù)，使裝置突破了設(shè)計(jì)能力，產(chǎn)品質(zhì)量居于國(guó)內(nèi)同行業(yè)先進(jìn)水平。1 工藝流程簡(jiǎn)述硅粉和HCl主要進(jìn)行
中國(guó)氯堿 2012年6期2012-09-07
- 三氯氫硅尾氣處理裝置運(yùn)行情況及技改效果
56800）三氯氫硅，又稱硅仿、三氯硅烷、硅氯仿，常溫常壓下為具有刺激性惡性臭、易流動(dòng)易揮發(fā)的無(wú)色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成 SiO2、HCl和 Cl2；沸點(diǎn) 31.8℃。 遇水極易分解，溶于二硫化碳、氯仿、苯等，廣泛用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷的合成，是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑的基礎(chǔ)原料，也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的主要原料。1 三氯氫硅生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)介工藝流程簡(jiǎn)圖見(jiàn)圖1。山
中國(guó)氯堿 2012年8期2012-08-16
- 三氯氫硅本征電阻率（純度）的測(cè)試方法
8）1 引言三氯氫硅（SiHCl3）作為硅外延片的關(guān)鍵原材料，其純度將直接影響著硅外延層的性能。一般三氯氫硅純度的測(cè)試方法有兩種，除采用化學(xué)分析方法測(cè)試外，通常用生長(zhǎng)不摻雜外延層（本征外延層）的方法來(lái)確定，即測(cè)量三氯氫硅本征生長(zhǎng)后的外延電阻率來(lái)衡量其純度。在硅外延的本征生長(zhǎng)過(guò)程中，影響三氯氫硅本征電阻率參數(shù)的主要因素為系統(tǒng)內(nèi)的自摻雜。增加硅外延層的厚度可以有效抑制系統(tǒng)自摻雜，但無(wú)限制地增加生長(zhǎng)時(shí)間必然導(dǎo)致生產(chǎn)成本的增加。本文對(duì)襯底的選擇、生長(zhǎng)時(shí)間、生長(zhǎng)前生
電子與封裝 2012年10期2012-08-15
- 濕法除塵技術(shù)在三氯氫硅生產(chǎn)中的應(yīng)用
00072)三氯氫硅(SiHCl3)又稱三氯硅烷、硅氯仿,為無(wú)色液體,易揮發(fā)易潮解,在空氣中發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生白煙,遇水分解,溶于苯和醚等有機(jī)溶劑,屬一級(jí)遇濕易燃易爆物品。遇水反應(yīng)產(chǎn)生氯化氫氣體，遇氧化劑發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，遇明火、高熱時(shí)發(fā)生燃燒或爆炸,閃點(diǎn)為-13.9 ℃，屬甲B類火災(zāi)危險(xiǎn)等級(jí)。三氯氫硅是生產(chǎn)硅烷偶聯(lián)劑、多晶硅和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的主要原料。近年來(lái)隨著我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，帶動(dòng)了半導(dǎo)體基礎(chǔ)功能性材料多晶硅行業(yè)的快速發(fā)展，而做為多晶硅中間產(chǎn)
化學(xué)工業(yè)與工程 2012年5期2012-04-09
- 從反應(yīng)活化能壘角度探討多晶硅還原機(jī)理
4117）以三氯氫硅做為硅源，在常壓高溫下與H2發(fā)生還原反應(yīng)是目前多晶硅企業(yè)中應(yīng)用最廣泛的方法，此方法是由德國(guó)西門子公司發(fā)明，因而命名為“西門子生產(chǎn)多晶硅方法”[1，2]。對(duì)此反應(yīng)的研究已有較多報(bào)道，但從活化能角度看探討三氯氫硅和H2反應(yīng)最容易生產(chǎn)硅的原理還未見(jiàn)報(bào)道。本文基于密度泛函理論方法，模擬三氯氫硅還原反應(yīng)過(guò)程，搜索各反應(yīng)中可能出現(xiàn)的過(guò)渡態(tài)，從分子角度探討多晶硅還原反應(yīng)機(jī)理。通過(guò)軟件Materials Studio5.0計(jì)算比較反應(yīng)過(guò)渡態(tài)中的活化能壘
化學(xué)工程師 2012年5期2012-02-07
- 基于ChemCAD的三氯氫硅尾氣處理過(guò)程模擬及優(yōu)化
emCAD的三氯氫硅尾氣處理過(guò)程模擬及優(yōu)化吳 正 勇（四川化工職業(yè)技術(shù)學(xué)院，四川 瀘州 646005）通過(guò)ChemCAD流程模擬軟件對(duì)實(shí)際年產(chǎn)7000 t三氯氫硅的生產(chǎn)流程進(jìn)行模擬、分析，改進(jìn)三氯氫硅合成所產(chǎn)生尾氣的處理。原工況為合成氣深冷分離廢氣進(jìn)入三廢系統(tǒng)，新工況將原工況的深冷后的氣體壓縮后再次深冷分離。使廢氣的排放量減小至原工藝的 8%左右，減少了尾氣排放的污染，產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境效益。ChemCAD；三氯氫硅；流程模擬；尾氣處理三氯氫硅是一種用
化工進(jìn)展 2011年10期2011-10-18
- 三氯氫硅生產(chǎn)過(guò)程的優(yōu)化
00072）三氯氫硅生產(chǎn)過(guò)程的優(yōu)化宋寶東，劉本旭（天津大學(xué)化工學(xué)院化學(xué)工程研究所，天津300072）闡述了三氯氫硅主要工藝過(guò)程，并針對(duì)現(xiàn)有工藝存在的主要問(wèn)題提出了綜合解決方案三氯氫硅；四氯化硅；多晶硅；尾氣1 國(guó)內(nèi)三氯氫硅生產(chǎn)現(xiàn)狀太陽(yáng)能做為一種清潔能源，因其具有“取之不盡，用之不竭”的特性，現(xiàn)在已經(jīng)和風(fēng)能一起成為受關(guān)注度高、增長(zhǎng)快、建設(shè)項(xiàng)目大而多的能源種類，在新能源中占有重要地位。多晶硅是生產(chǎn)太陽(yáng)能電池的最重要原料，近3～5年，多晶硅產(chǎn)業(yè)在全球特別是中國(guó)迅
中國(guó)氯堿 2011年3期2011-08-15
- 多晶硅的冷氫化工藝
內(nèi)或俄羅斯的三氯氫硅合成、氯硅烷精餾、還原爐，配套熱氫化的工藝技術(shù)生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅，雖然工藝有較為可靠的技術(shù)來(lái)源，國(guó)內(nèi)有運(yùn)行的經(jīng)驗(yàn)，但其普遍存在流程長(zhǎng)，公用工程消耗高，三氯氫硅合成過(guò)程生成的四氯化硅不易處理或處理成本高等問(wèn)題。而采用國(guó)外工藝，圍繞冷氫化技術(shù)組織的多晶硅生產(chǎn)流程與熱氫化流程相比有著顯著的優(yōu)越性：通過(guò)四氯化硅與硅粉的冷氫化反應(yīng)，在完全轉(zhuǎn)化還原反應(yīng)副產(chǎn)的四氯化硅的過(guò)程中，除生成等物質(zhì)的量的三氯氫硅，還有額外數(shù)量的三氯氫硅（即新鮮三氯氫硅）生成，
化學(xué)與粘合 2011年6期2011-07-19
- 淺談三氯氫硅的發(fā)展
191)淺談三氯氫硅的發(fā)展李 顯(昊華宇航化工有限責(zé)任公司 ,河南焦作 454191)近年來(lái),中國(guó)硅烷偶聯(lián)劑和多晶硅產(chǎn)業(yè),特別是多晶硅產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,拉動(dòng)了三氯氫硅的快速發(fā)展。由于三氯氫硅項(xiàng)目的盲目上馬、擴(kuò)建,三氯氫硅企業(yè)又面臨著風(fēng)險(xiǎn)和挑戰(zhàn)。三氯氫硅 ;合成三氯氫硅是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體,也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅、多晶硅的原料。我國(guó)經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展,尤其是精細(xì)化工、有機(jī)硅產(chǎn)業(yè)、電子產(chǎn)品、光纖通訊等行業(yè)的快速發(fā)展,為三氯氫硅的生產(chǎn)和下游產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)提供了
河南化工 2010年16期2010-09-26
- 三氯氫硅氫還原法制多晶硅的自控難點(diǎn)及選型
制難點(diǎn)閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法工藝生產(chǎn)裝置主要有下列單元組成:制氫、氯化氫合成、三氯氫硅合成或氯化氫、三氯氫硅精餾、三氯氫硅還原、多晶硅整理、尾氣分離以及工藝廢氣、廢液處理。工藝流程如圖1所示。圖1 閉環(huán)式三氯氫硅還原法工藝流程示意該工藝的自動(dòng)控制需要解決以下難題:a)固態(tài)物料(硅粉)的輸送進(jìn)料控制。閉環(huán)式三氯氫硅還原法生產(chǎn)多晶硅的重要原料三氯氫硅是由氯化氫和工業(yè)硅粉在一定的溫度下合成而得。目前三氯氫硅合成為間歇式生產(chǎn),需要頻繁開(kāi)啟關(guān)閉閥門,加上硅粉硬度高,
石油化工自動(dòng)化 2010年5期2010-01-12
- 全國(guó)最大“雙料”生產(chǎn)基地落戶河北邢臺(tái)
化鉀和4萬(wàn)噸三氯氫硅，分兩期實(shí)施，一期建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)3萬(wàn)噸氫氧化鉀和2萬(wàn)噸三氯氫硅。項(xiàng)目建成后，加上現(xiàn)有氫氧化鉀產(chǎn)能，屆時(shí)邢礦集團(tuán)將成為全國(guó)最大的鉀堿生產(chǎn)基地和三氯氫硅生產(chǎn)基地之一。三氯氫硅是制造半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池及多晶硅等光伏材料的基礎(chǔ)原料。由于新能源太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，以三氯氫硅為原料的新能源、有機(jī)硅產(chǎn)業(yè)成為國(guó)家鼓勵(lì)支持的項(xiàng)目。據(jù)有關(guān)方面預(yù)測(cè)，全球?qū)Χ嗑Ч璧男枨罅颗c日俱增，造成三氯氫硅供應(yīng)嚴(yán)重短缺。未來(lái)5年，我國(guó)三氯氫硅的消耗量將達(dá)到120萬(wàn)噸
中小企業(yè)管理與科技·中旬刊 2009年2期2009-04-26