張文東/上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

0 引言

隨著技術(shù)的進(jìn)步，濕度測(cè)量已經(jīng)遍及工農(nóng)業(yè)、國(guó)防和科技領(lǐng)域，各類(lèi)濕度測(cè)量?jī)x器廣泛使用于石化、微電子、通信、氣象、電力、環(huán)境監(jiān)測(cè)、制藥、建筑、空調(diào)、軍工航天、煙草、汽車(chē)等行業(yè)，不僅使用數(shù)量越來(lái)越多，而且用戶(hù)對(duì)其環(huán)境適應(yīng)性、測(cè)量范圍、響應(yīng)速度、測(cè)量精度等方面要求也越來(lái)越高。社會(huì)的需求極大地促進(jìn)了濕度測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，各種新技術(shù)、新原理不斷涌現(xiàn)，儀器的技術(shù)性能不斷提高，對(duì)濕度量值溯源提出了更高的要求，從而推動(dòng)了世界濕度計(jì)量技術(shù)的快速發(fā)展。

1 概述

真正意義上的濕度測(cè)量技術(shù)是20世紀(jì)初才出現(xiàn)的，早期主要用于氣象測(cè)量，后來(lái)逐漸擴(kuò)展到工農(nóng)業(yè)、國(guó)防和科學(xué)技術(shù)各領(lǐng)域，隨著技術(shù)的發(fā)展越顯其重要性。在許多技術(shù)工藝和科學(xué)研究過(guò)程中，濕度是一個(gè)極為重要的技術(shù)參數(shù)，它不僅關(guān)系到工農(nóng)業(yè)和國(guó)防產(chǎn)品的質(zhì)量，而且對(duì)安全生產(chǎn)、節(jié)能減排和環(huán)境與社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展都具有十分重要的意義。濕度測(cè)量技術(shù)是伴隨著社會(huì)生產(chǎn)實(shí)踐的迫切需求而在近幾十年內(nèi)快速發(fā)展起來(lái)的，它在理論性和系統(tǒng)性上遠(yuǎn)遠(yuǎn)不如溫度、壓力等其他物理量那么完善。濕度既是一個(gè)物理量又是一個(gè)化學(xué)量。盡管1963年第一屆國(guó)際濕度會(huì)議對(duì)濕度和水分的定義進(jìn)行了界定，將氣體中水蒸氣的含量稱(chēng)為濕度(Humidity)，而將液體和固體中水的含量則稱(chēng)為水分(Moisture)，但是由于濕度測(cè)量誕生于生產(chǎn)實(shí)踐，不同行業(yè)的工藝需求出現(xiàn)了各種各樣的濕度表達(dá)方式，且都難于以實(shí)物方式來(lái)體現(xiàn)，它們之間雖然可以相互換算，但換算時(shí)還涉及到溫度、壓力、密度、成分等很多參數(shù)，因此要實(shí)現(xiàn)濕度量值的完全統(tǒng)一和建立濕度國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)就顯得十分困難，目前理論上比較成熟、溯源性比較好、在國(guó)際上能夠?qū)崿F(xiàn)相互比對(duì)的濕度物理量只有露點(diǎn)溫度和霜點(diǎn)溫度（有時(shí)統(tǒng)稱(chēng)為露點(diǎn)溫度）。

目前常用的濕度表示方式很多，其中化學(xué)類(lèi)濕度量主要有：質(zhì)量混合比（Mixing rate，g/kg）、 含 濕 量 /比 濕（Specific Humidity，g/kg）、體積比/體積分?jǐn)?shù)（Parts per million，μL/L）等；物理類(lèi)濕度量主要有：相對(duì)濕度（Relative Humidity，%RH）、露點(diǎn)溫度（Dew point temperature，℃DP）、霜點(diǎn)溫度（Frost point temperature，℃ FP）、絕對(duì)濕度（Absolute Humidity，kg/m3）、水蒸氣分壓力（Fractional Vapor pressure，Pa）等，其中具有成分含量概念的濕度量（如混合比、體積比、比濕、飽和度等），在測(cè)量過(guò)程中均與其溫度、壓力等狀態(tài)參數(shù)無(wú)關(guān)；物理類(lèi)濕度量中，露點(diǎn)溫度、霜點(diǎn)溫度等參數(shù)在測(cè)量過(guò)程中卻與溫度無(wú)關(guān)，僅與壓力有關(guān)；而相對(duì)濕度、絕對(duì)濕度、水蒸氣分壓力等參數(shù)則與溫度、壓力均有關(guān)。

相對(duì)濕度是人們最熟知、應(yīng)用最廣泛的濕度量，主要用于室內(nèi)外環(huán)境濕度測(cè)量（包括氣象探測(cè)）。它是指氣體中水蒸氣的摩爾分?jǐn)?shù)與相同溫度、壓力條件下飽和水蒸氣的摩爾分?jǐn)?shù)之比，用百分?jǐn)?shù)表達(dá)，代表了氣體接近水飽和的程度，空氣達(dá)到水飽和就可能凝露、結(jié)霜或下雨，在實(shí)驗(yàn)室和廠(chǎng)房中相對(duì)濕度越高，凝露風(fēng)險(xiǎn)越大。由于相對(duì)濕度與溫度、壓力密切相關(guān)，有時(shí)盡管空氣中的含濕量增加了，但因空氣溫度上升得更多，其相對(duì)濕度反而降低。

相對(duì)濕度的定義也在不斷發(fā)展，2010年5月在斯洛文尼亞召開(kāi)的第六屆國(guó)際濕度大會(huì)上，專(zhuān)家組對(duì)溫度100 ℃以上的原相對(duì)濕度定義提出了修改意見(jiàn)，飽和水蒸汽壓以一個(gè)大氣壓為極限顯然不合適。

2 濕度計(jì)量理論的進(jìn)展

根據(jù)拉烏爾定律，在一定溫度下，稀溶液中的水分摩爾含量百分?jǐn)?shù)等于該溶液表面的平衡相對(duì)濕度，而對(duì)于其他固體和液體物質(zhì)，也存在一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，因此，環(huán)境中空氣相對(duì)濕度越高，各種材料所能吸收的水分也越多。根據(jù)此原理，可以制備出不同種類(lèi)和濃度的鹽溶液用于相對(duì)濕度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定，其中國(guó)際認(rèn)可且使用較多的有十多種飽和鹽溶液（很多歐洲國(guó)家將其定為相對(duì)濕度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)），如在25℃時(shí)氯化鈉飽和鹽溶液的平衡相對(duì)濕度為75.3%RH。

直接測(cè)量或發(fā)生相對(duì)濕度的儀器和方法有很多種，其中測(cè)量?jī)x器有機(jī)械式（毛發(fā)式和高分子彈性元件式）、干濕球式（阿斯曼式和自然通風(fēng)式）和濕度傳感器式（高分子電容式和電阻式），以上原理都不能直接復(fù)現(xiàn)相對(duì)濕度的定義，而需要溯源到露點(diǎn)溫度、飽和水蒸氣壓力等其他參數(shù)的定義。

20世紀(jì)70年代以前，在其他濕度測(cè)量技術(shù)還不成熟、不普及的情況下，阿斯曼式通風(fēng)干濕表作為當(dāng)時(shí)世界氣象組織（WHO）的濕度最高標(biāo)準(zhǔn)，用于濕度國(guó)際比對(duì)，到20世紀(jì)90年代才逐漸被冷鏡式露點(diǎn)儀替代。另外，相對(duì)濕度測(cè)量?jī)x器的測(cè)量準(zhǔn)確度會(huì)受溫度的影響，其技術(shù)指標(biāo)一般都是在一定溫度條件下給出的。

露點(diǎn)溫度是指將濕氣等壓冷卻至飽和狀態(tài)（即相對(duì)濕度為100%RH）時(shí)的溫度，它是一種假想的溫度，單位與溫度相同，可是它的作用卻是用來(lái)表示氣體的濕度。目前冷鏡式露點(diǎn)儀的技術(shù)已較成熟 ，在很寬的濕度范圍內(nèi)能比較方便地直接復(fù)現(xiàn)露點(diǎn)溫度的定義，因此露點(diǎn)這一參數(shù)就顯得十分重要。世界各國(guó)實(shí)際的濕度量值傳遞都是通過(guò)它來(lái)實(shí)現(xiàn)的，而且露點(diǎn)在很多行業(yè)也是極其重要的參數(shù)，如石化、電力、半導(dǎo)體、國(guó)防等，往往與生產(chǎn)安全息息相關(guān)，目前工業(yè)上廣泛使用露點(diǎn)儀主要有氧化鋁電容式和高分子電容式兩種 ，實(shí)際測(cè)量下限為-90 ℃DP，準(zhǔn)確度為（±3～±5）℃DP。

質(zhì)量混合比（簡(jiǎn)稱(chēng)混合比）是指濕氣中水蒸氣質(zhì)量與干氣質(zhì)量之比，它與空調(diào)工程常用的含濕量為同一概念。

體積比是指水蒸氣的分體積與干氣的分體積之比的106倍，該參數(shù)經(jīng)常用于氣體微量水分測(cè)量中。直接測(cè)量體積比的濕度計(jì)為P2O5電解式水分儀等。

絕對(duì)濕度是指單位體積濕氣中水蒸氣的質(zhì)量，該參數(shù)常用于工程計(jì)算。目前用于測(cè)量絕對(duì)濕度的儀器很多，主要包括紅外線(xiàn)法、紫外線(xiàn)法、微波法、熱導(dǎo)法、光腔衰蕩光譜法等，這類(lèi)儀器價(jià)格高，一般僅限于高溫、超低濕等特殊場(chǎng)合使用。

水蒸氣分壓力目前主要用于100℃以上的高溫濕度測(cè)量，測(cè)量?jī)x器有氧化鋯濕度儀等。

長(zhǎng)期以來(lái)，各國(guó)科學(xué)家一直致力于水蒸氣和濕空氣的物理化學(xué)特性研究，在濕度測(cè)量領(lǐng)域也涉及這方面的關(guān)鍵參數(shù)，如飽和水蒸氣的壓力、密度、壓縮因子和濕空氣/氣體的密度、增強(qiáng)系數(shù)、壓縮因子等，研究結(jié)果很多，方程也有很多種。對(duì)于飽和水蒸氣壓，在濕度界一般傾向于采用以Wexler方程（對(duì)應(yīng)IPTS-68）為基礎(chǔ)推導(dǎo)至IPTS-90溫標(biāo)的各種方程（如Sonntag方程），增強(qiáng)系數(shù)一般采用Greenspan方程，這些方程是進(jìn)行濕度計(jì)算和各種濕度表示方式之間相互換算的基礎(chǔ)。目前用于濕度計(jì)算的軟件不少，大多以該方程為依據(jù)。

3 濕度測(cè)量技術(shù)新進(jìn)展

3.1 濕度傳感器技術(shù)

近年來(lái)濕度測(cè)量技術(shù)的大面積推廣應(yīng)用得益于濕度傳感器技術(shù)的高速發(fā)展，其性能越來(lái)越好，成本越來(lái)越低。濕度傳感器主要包括電容式和電阻式兩種，在電容式中最突出的為聚酰亞胺高分子濕敏電容傳感器，從基片形式上可分為陶瓷基片（testo）、玻璃基片（vaisala）和無(wú)基片（rotronic）三種，感濕層均為聚酰亞胺高分子薄膜，其適用溫度范圍-60℃～180℃，濕度測(cè)量范圍0%RH～99%RH，耐水性好， 常溫潔凈環(huán)境下年穩(wěn)定性在1%RH以?xún)?nèi)，最高準(zhǔn)確度可達(dá)±0.8%RH，技術(shù)性能還在不斷提高。電容式傳感器還有陶瓷電容式、氧化鋁電容式，主要用于測(cè)量高溫濕度。

高分子電容式的種類(lèi)非常多，傳統(tǒng)的為電容信號(hào)輸出，近年來(lái)出現(xiàn)了采用集成電路工藝將濕敏電容與信號(hào)處理部分結(jié)合起來(lái)做成的一體式芯片，不僅體積非常小，而且能直接輸出標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號(hào)（honeywell），有的還能直接進(jìn)行計(jì)算機(jī)通訊（Sensirion）。

電阻式濕度傳感器主要包括電解質(zhì)式（氯化鋰等）、陶瓷式（四氧化三鐵等）和碳膜式，它們的各項(xiàng)技術(shù)性能都不如高分子電容，但因成本特別低，大量用于家庭或低端工業(yè)領(lǐng)域。

由于紅外衛(wèi)星遙測(cè)的精度不夠高，目前仍采用探空儀測(cè)量高空平流層水氣分布。以前探空儀中濕度傳感器主要為碳膜電阻式，其適用溫度下限不足-30℃，目前逐漸為高分子電容替代，溫度下限可低至-60℃。

出于對(duì)防爆、抗電磁干擾等方面的考慮，目前國(guó)內(nèi)外都在進(jìn)行光纖濕度傳感器的研究，但研究成果還未達(dá)實(shí)用階段。

近年來(lái)隨著信息技術(shù)的快速發(fā)展，溫濕度測(cè)量技術(shù)也逐漸向信息化邁進(jìn)，溫濕度傳感器和儀器由模擬式逐步轉(zhuǎn)向數(shù)字式，在功能上由數(shù)據(jù)存貯記錄式和有線(xiàn)網(wǎng)絡(luò)式逐步向無(wú)線(xiàn)網(wǎng)絡(luò)式發(fā)展。目前傳感器的無(wú)線(xiàn)傳送距離能達(dá)100 m以上，基本滿(mǎn)足環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室、廠(chǎng)房、倉(cāng)庫(kù)等場(chǎng)合的溫濕度分布檢測(cè)要求，大大減輕了測(cè)量人員的工作量。

3.2 光學(xué)濕度測(cè)量技術(shù)

近年來(lái)各種紅外和激光濕度測(cè)量技術(shù)發(fā)展很快，迅速進(jìn)入實(shí)用階段。紅外濕度計(jì)是利用水分子對(duì)某種紅外特征光譜的選擇吸收作用而設(shè)計(jì)制造的，最早的紅外濕度計(jì)十分復(fù)雜，主要用于大氣探測(cè)和衛(wèi)星遙測(cè)以確定大氣層水分分布。隨著技術(shù)的發(fā)展，目前推出的紅外濕度計(jì)的價(jià)格和尺寸已和其他普通濕度計(jì)相當(dāng)了，它的特點(diǎn)是直接測(cè)量絕對(duì)濕度，穩(wěn)定比較好，測(cè)量范圍寬。

光腔衰蕩光譜（DRDS）技術(shù)是近年發(fā)展起來(lái)的一種檢測(cè)技術(shù)，它也是利用某種氣體成分對(duì)其特征光譜的選擇性吸收而制造的，與紅外濕度計(jì)不同之處在于：紅外濕度計(jì)測(cè)量一定光程中光強(qiáng)度的衰減量，而DRDS則利用特殊的光反射和透射結(jié)構(gòu)，直接測(cè)量光全部衰減所需的時(shí)間。由于時(shí)間測(cè)量的分辨率和準(zhǔn)確度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于光強(qiáng)度測(cè)量，因此DRDS特別適合于超低濕領(lǐng)域的測(cè)量，而該領(lǐng)域恰恰需求最迫切卻又一直沒(méi)有找到比較有效的測(cè)量方法。

3.3 超低濕測(cè)量技術(shù)

所謂超低濕是指霜點(diǎn)在-75℃DP以下，即體積含水量在（1～1000）ppb的氣體濕度，主要用于微電子和石化等行業(yè)。該類(lèi)儀器以往主要有電解式、石英振蕩式、氧化鋁電容式和冷鏡式。其中電解式最為經(jīng)典，準(zhǔn)確度可達(dá)±5%以?xún)?nèi)，測(cè)量下限最低可達(dá)10 ppbv。氧化鋁電容式體積小、成本低，測(cè)量下限最低可達(dá)100 ppbv。

大氣壓離子質(zhì)譜儀（APIMS）是通過(guò)測(cè)量分子離子的質(zhì)荷比來(lái)檢測(cè)水蒸氣濃度，該法適于ppb量級(jí)的濕度測(cè)量，準(zhǔn)確度達(dá)20%左右，還可測(cè)量其他組份，缺點(diǎn)是成本高，操作復(fù)雜。

近年來(lái)出現(xiàn)的光腔衰蕩光譜式技術(shù)，準(zhǔn)確度比較高，測(cè)量下限可達(dá)1 ppbv。

4 濕度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)研究進(jìn)展

4.1 重量法濕度計(jì)

目前世界各國(guó)的濕度基準(zhǔn)大多是依據(jù)質(zhì)量混合比的定義建立的，一般由重量法濕度計(jì)配動(dòng)態(tài)濕度發(fā)生器構(gòu)成。我國(guó)也是如此，現(xiàn)保存于中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院，其測(cè)量范圍為混合比（0.2～19）g/kg，相應(yīng)的露點(diǎn)范圍為（-30～20）℃DP，混合比測(cè)量的不確定度 Δγ/γ≤0.31%（k=3）。國(guó)際上，美國(guó)NIST重量法濕度計(jì)范圍為（-60～30）℃DP，不確定度為0.13%，日本NIM為0.11%。

由于重量法濕度計(jì)的露點(diǎn)范圍很狹窄，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能覆蓋實(shí)際的濕度測(cè)量范圍，目前國(guó)際上一般都以標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器作為重量法濕度計(jì)的補(bǔ)充，對(duì)低露點(diǎn)和高露點(diǎn)量程進(jìn)行濕度量值傳遞。

4.2 冷鏡式露點(diǎn)儀

由于重量法濕度計(jì)結(jié)構(gòu)十分復(fù)雜，操作極為麻煩，使用頻率極低，實(shí)際上各國(guó)都極少將其直接用于濕度量值傳遞，而是用來(lái)對(duì)自用的標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器或冷鏡式露點(diǎn)儀進(jìn)行傳遞，然后再以此為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行對(duì)外傳遞。另外由于標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器一般體積龐大、重量重，運(yùn)輸不便，所以冷鏡式露點(diǎn)儀成為實(shí)際上唯一可移動(dòng)的濕度傳遞標(biāo)準(zhǔn)。

冷鏡式露點(diǎn)儀從檢露方式可分為目測(cè)式、閾值式（轉(zhuǎn)折點(diǎn)式）和自動(dòng)光電平衡式三種，而作為濕度標(biāo)準(zhǔn)的必須是自動(dòng)光電平衡式。冷鏡式露點(diǎn)儀經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展，通過(guò)多級(jí)壓縮制冷技術(shù)與熱電致冷技術(shù)的結(jié)合，目前最大測(cè)量范圍達(dá)到（-100～95）℃DP，準(zhǔn)確度優(yōu)于±0.1℃DP。本文通過(guò)對(duì)幾種冷鏡式露點(diǎn)儀在標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器上進(jìn)行反復(fù)測(cè)量，顯示在0℃DP露點(diǎn)以上時(shí)，露點(diǎn)儀的結(jié)果復(fù)現(xiàn)性?xún)?yōu)于0.03℃DP，因此有可能將其準(zhǔn)確度提高至±0.05℃DP以?xún)?nèi)，這對(duì)實(shí)際濕度量傳是十分有用的，因?yàn)?.1℃DP露點(diǎn)誤差換算至相對(duì)濕度最大達(dá)0.6%RH，對(duì)于1%RH精度以?xún)?nèi)的傳感器就顯得過(guò)大。

（-30～0）℃DP之間，由于過(guò)冷水的存在，露點(diǎn)儀鏡面可能出現(xiàn)結(jié)露、結(jié)霜和霜露共存三種現(xiàn)象，從而給測(cè)量結(jié)果帶來(lái)很大的不確定度，針對(duì)這一問(wèn)題，除采用目測(cè)觀(guān)察鏡判別外，還出現(xiàn)了圖象法和聲表波檢露法自動(dòng)判別霜露的技術(shù)，但技術(shù)的成熟性有待檢驗(yàn)。

另外，針對(duì)冷鏡式露點(diǎn)儀在測(cè)量低露點(diǎn)時(shí)鏡面成露困難而造成反應(yīng)速度慢的問(wèn)題，瑞士MBW發(fā)明了自動(dòng)加濕技術(shù)，當(dāng)鏡面難于成露時(shí)就注入一定量的濕氣，使鏡面得以結(jié)露，從而大大縮短平衡時(shí)間。

露點(diǎn)儀的正確操作也十分重要，鏡面應(yīng)采用脫脂棉簽蘸專(zhuān)用清潔液進(jìn)行定期清潔。采用內(nèi)拋光不銹鋼管或壁厚>1 mm的PTFE管作樣氣管，保持合適的樣氣流量，注意露點(diǎn)室壓力情況，在測(cè)量（-30～0）℃DP之間露點(diǎn)時(shí)，最好先測(cè)量-40℃DP以下露點(diǎn)，然后將露點(diǎn)逐漸升高，以避免出現(xiàn)霜露不能確定的情況。

4.3 濕度發(fā)生器

按工作原理濕度發(fā)生器主要包括雙壓法、雙溫法、滲透法、分流法、庫(kù)侖法等。其中雙壓法、雙溫法有比較完善的理論支持，其結(jié)果不依賴(lài)于載氣的干燥程度，所涉及的參量為溫度和壓力，其測(cè)量技術(shù)比較成熟，準(zhǔn)確度很高，因此以該原理構(gòu)造的發(fā)生器可具有很高的準(zhǔn)確度，甚至可作為濕度基準(zhǔn)的補(bǔ)充。

目前濕度下限最低的俄羅斯VNIIM雙溫法發(fā)生器，露點(diǎn)范圍為（-120～-20）℃DP，不確定度為0.13℃DP（k=2）。濕度上限最高的為我院1996年研制的雙溫雙壓法高溫發(fā)生器，露點(diǎn)范圍為（40～145）℃DP，準(zhǔn)確度為±0.1℃DP。最近我院又研制成功一套雙溫雙壓法的高低溫可變壓力標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器，露點(diǎn)范圍為（-70～88）℃DP，不確定度為0.05℃DP（k=2），相對(duì)濕度范圍：5%RH～95%RH（-50～90）℃，樣品測(cè)試室尺寸φ150×400，最大樣氣流量30 L/min，測(cè)試室可變壓，為目前國(guó)內(nèi)唯一的能進(jìn)行低溫低氣壓下濕度檢測(cè)的設(shè)備。

分流法濕度發(fā)生器雖然準(zhǔn)確度不夠高，但是其反應(yīng)速度非?？?，濕度范圍非常寬（從相對(duì)濕度至低露點(diǎn)），有的體積很小，在相對(duì)濕度和低露點(diǎn)檢測(cè)中很適合于以露點(diǎn)儀為標(biāo)準(zhǔn)器的配套設(shè)備。

滲透法濕度發(fā)生器主要用于低露點(diǎn)，因其滲透管的滲透率在理論上可溯源至重量法濕度基準(zhǔn)，故在理論上其低露點(diǎn)段的溯源性要比其他方法好。另外滲透法的準(zhǔn)確度還取決于載氣的干燥程度。

近年來(lái)，隨著磁懸浮稱(chēng)重技術(shù)的發(fā)展和成熟，出現(xiàn)一種以重量法和滲透法結(jié)合的濕度發(fā)生器，通過(guò)磁浮天平連續(xù)稱(chēng)量出向干載氣中滲透的水分的質(zhì)量，就可以發(fā)生一定混合比的濕氣。

庫(kù)侖法濕度發(fā)生器是由電解水產(chǎn)生的氫和氧在催化劑作用下重新形成水，通過(guò)電解電流和載氣流速?zèng)Q定發(fā)生器的最終濕度，PTB建立了該套裝置，其露點(diǎn)下限達(dá)-90℃DP（PTB）。

另外，由于目前水三相點(diǎn)的蒸汽壓力值最準(zhǔn)確，其不確定度達(dá)到0.002%，以該點(diǎn)為基礎(chǔ)，通過(guò)混合配比，可以得到更為準(zhǔn)確的濕度量值。

4.4 其他

在對(duì)溫濕度計(jì)和溫濕度傳感器進(jìn)行計(jì)量校準(zhǔn)時(shí)，一般采用比較法，以冷鏡式精密露點(diǎn)儀為標(biāo)準(zhǔn)器，用濕度發(fā)生器或溫濕度檢定箱產(chǎn)生穩(wěn)定均勻的溫濕度源，因此溫濕度檢定箱的穩(wěn)定度和均勻度是最重要的指標(biāo)，目前以雙溫法原理構(gòu)造的溫濕度檢定箱性能最佳。

低露點(diǎn)計(jì)量方法有標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器法和比較法兩種，標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器主要有雙壓法、雙溫法和滲透法。而比較法是目前最常用的方法，它是以冷鏡式精密露點(diǎn)儀為標(biāo)準(zhǔn)器，通過(guò)分流法露點(diǎn)發(fā)生器產(chǎn)生兩路以上恒定露點(diǎn)的樣氣來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢儀器的計(jì)量。

5 發(fā)展趨勢(shì)

綜觀(guān)近年來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)，國(guó)際濕度計(jì)量技術(shù)得到了空前的發(fā)展。目前存在的問(wèn)題是濕度基準(zhǔn)的范圍過(guò)窄，濕度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)確度不夠，難于滿(mǎn)足實(shí)際需求，下一步的研究方向應(yīng)為進(jìn)一步完善濕度基礎(chǔ)理論（包括水蒸氣壓數(shù)據(jù)等），逐步提高各級(jí)濕度基標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)確度，拓展?jié)穸确秶?，向PPB級(jí)低露點(diǎn)和高溫高濕方向發(fā)展。

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