赫梓宇，周永勝，趙偉利，李德鑫

（核工業(yè)理化工程研究院，天津 300180）

帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏方法研究

赫梓宇，周永勝，趙偉利，李德鑫

（核工業(yè)理化工程研究院，天津 300180）

帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，往往對(duì)密封性要求嚴(yán)格。為了進(jìn)行帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏而進(jìn)行研究，分析可行的檢漏方法，提出適用手段。通過(guò)分析，經(jīng)過(guò)分級(jí)冷凍、物料處理及選用適合的檢漏步驟，能夠使氦質(zhì)譜檢漏儀滿(mǎn)足負(fù)壓檢漏條件，從而使用噴氦法確定漏點(diǎn)位置，使用氦罩法獲得準(zhǔn)確的漏率。實(shí)際應(yīng)用證明，該方法用于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏，能夠準(zhǔn)確、有效的檢測(cè)漏點(diǎn)位置及漏率。該研究為帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏提供了技術(shù)支持。

真空系統(tǒng)；檢漏；氦質(zhì)譜；腐蝕性物料

0 引言

真空系統(tǒng)在使用過(guò)程中壓力出現(xiàn)異常增加，此時(shí)系統(tǒng)可能是出現(xiàn)了漏點(diǎn)，如果系統(tǒng)的漏點(diǎn)不及時(shí)判斷并消除，系統(tǒng)內(nèi)的空氣不斷積累，會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)無(wú)法正常使用。對(duì)于正在使用的帶有腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，要找到并消除漏點(diǎn)，通常步驟為：回收物料→清洗系統(tǒng)→抽空檢漏→消除漏點(diǎn)→供料并投入使用。步驟多、周期長(zhǎng)，對(duì)于暫時(shí)無(wú)法回收物料的系統(tǒng)，則不適用。這時(shí)尋找一種適合不卸料情況下的在線(xiàn)檢漏方法極其重要，文章對(duì)此進(jìn)行研究。

1 真空系統(tǒng)常見(jiàn)檢漏方法分析

根據(jù)文獻(xiàn)[1-3]，檢漏方法可以分為兩大類(lèi)，即壓力檢漏法和真空檢漏法。對(duì)于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，通常為了防止物料外漏，內(nèi)部壓力通常小于一個(gè)大氣壓（105Pa）。因此檢漏方法上主要考慮真空檢漏法，表1列舉了常見(jiàn)的真空檢漏方法。

在選擇檢漏儀器和方法時(shí)，最重要的是能夠達(dá)到所要求的檢漏靈敏度，其次還要考慮示漏物質(zhì)在空氣中的含量以及示漏氣體的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)，如濃度、擴(kuò)散率、分層、堵塞、易燃易爆、腐蝕、有毒有害等，同時(shí)由于腐蝕性物料通常為酸、堿等物質(zhì)，示漏氣體還應(yīng)考慮與物料的反應(yīng)。對(duì)于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，一般總漏率要求小于10-6Pa·m3/s，系統(tǒng)壓力為低真空（102～105Pa）。根據(jù)以上分析，對(duì)照表1，同時(shí)滿(mǎn)足漏率和壓力要求的方法為差動(dòng)熱傳導(dǎo)真空規(guī)法、具有吸附阱的熱傳導(dǎo)真空規(guī)法等真空規(guī)檢漏法，但是此類(lèi)檢測(cè)真空規(guī)的燈絲通常不耐物料腐蝕，吸附阱還可能會(huì)和物料反應(yīng)。因此常規(guī)方法較難滿(mǎn)足檢漏要求，需要考慮使用非常規(guī)的方法。

表1 真空檢漏方法

2 帶腐蝕性物料真空系統(tǒng)檢漏的非常規(guī)方法分析

經(jīng)過(guò)查閱文獻(xiàn)及檢漏過(guò)程中的總結(jié)，得到一些適用于帶腐蝕性物料的非常規(guī)檢漏方法，主要包括緊固部件法、臨時(shí)密封法、負(fù)壓采樣法[4]等。

2.1 緊固部件法

該方法適用于連接件松動(dòng)造成的漏點(diǎn)。如經(jīng)過(guò)冷熱沖擊造成的連接件松動(dòng)。

這種方法通過(guò)對(duì)系統(tǒng)連接部位逐一檢查，對(duì)發(fā)現(xiàn)松動(dòng)處進(jìn)行緊固，同時(shí)觀(guān)測(cè)真空參數(shù)進(jìn)行漏點(diǎn)檢測(cè)。如果經(jīng)過(guò)緊固真空指標(biāo)好轉(zhuǎn)，證明該處為漏點(diǎn)，消除的漏率可以用公式（1）估算。

式中：ΔQ為消除的漏率，Pa·m3/s；ΔP0為消漏前指定時(shí)間內(nèi)封閉真空系統(tǒng)的壓力上漲量，Pa；ΔP1為消漏后指定時(shí)間內(nèi)封閉真空系統(tǒng)的壓力上漲量，Pa；V為封閉真空系統(tǒng)的總?cè)莘e，m3；t為指定時(shí)間，s。

使用這種方法必須找到松動(dòng)部位，對(duì)于連接口繁多的系統(tǒng)工作量大，同時(shí)如果漏點(diǎn)不是由于連接件松動(dòng)造成，則無(wú)法找到并消除。

2.2 臨時(shí)密封法

如果漏點(diǎn)是系統(tǒng)腐蝕等原因造成的漏孔，同時(shí)通過(guò)分段測(cè)量壓力等方法發(fā)現(xiàn)了可疑部位，可在懷疑有漏部位涂抹酒精或使用真空封泥[5]實(shí)現(xiàn)臨時(shí)密封，如果真空參數(shù)好轉(zhuǎn)，可以判定該部位是漏點(diǎn)，判斷出漏點(diǎn)后便可以進(jìn)行消除，消除的漏率同樣可用公式（1）估算。使用這種方法必須知道可能的漏點(diǎn)部位，有針對(duì)性的操作。并且酒精易揮發(fā)，必須在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)。真空封泥不易清除，可能堵塞漏點(diǎn)無(wú)法判斷漏點(diǎn)具體位置并消除，為以后系統(tǒng)使用造成隱患。

2.3 負(fù)壓采樣法

帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)如果帶有尾氣泵，可以在尾氣泵排氣口放置帶吸槍的檢漏儀，啟動(dòng)尾氣泵并對(duì)真空系統(tǒng)噴氦，再由吸槍捕捉氦氣。這種方法優(yōu)點(diǎn)是可判斷以上兩種原因造成的漏點(diǎn)，缺點(diǎn)是吸槍易被水氣與油污污染，吸嘴法檢漏靈敏度較低、誤差大。

以上列舉了常見(jiàn)的三種非常規(guī)方法，其檢漏方法有一定局限性，因此解決該類(lèi)的問(wèn)題，需要尋找更適合的靈敏度更高、誤差更小的檢漏方法。

3 帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)檢漏方法的研究

對(duì)表1中的檢漏方法進(jìn)行研究，分析具體不適用的原因及能否有針對(duì)性的進(jìn)行改進(jìn)，結(jié)果如表2所列。

表2 檢漏方法分析表

通過(guò)以上分析，相對(duì)于其他方法，氦質(zhì)譜檢漏法最有改進(jìn)的可能，并且氦質(zhì)譜檢漏法在檢漏靈敏度、最小可檢漏率等方面最具優(yōu)勢(shì)，氦氣是惰性氣體，與物料不發(fā)生反應(yīng)，因此對(duì)其進(jìn)行研究改進(jìn)。

氦質(zhì)譜檢漏法中最常用的為噴吹法，可以準(zhǔn)確判斷無(wú)物料的中高真空系統(tǒng)的漏點(diǎn)和漏率。將其用于帶腐蝕性物料的低真空系統(tǒng)并得到準(zhǔn)確的檢漏結(jié)果，主要存在三個(gè)難點(diǎn)：

（1）氦質(zhì)譜檢漏儀入口工作壓力通常要求小于100 Pa，外國(guó)先進(jìn)的檢漏儀入口工作壓力最大也只能達(dá)到1 500 Pa，而帶物料的真空系統(tǒng)因?yàn)橛形锪系拇嬖?，?nèi)部壓力通常為低真空（102～105Pa），直接檢漏難以滿(mǎn)足檢漏儀的工作條件；

（2）檢漏時(shí)氦氣進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀的同時(shí)物料也會(huì)進(jìn)入檢漏儀，造成物料損失，損壞檢漏儀；

（3）系統(tǒng)容積較大，管路較長(zhǎng)，又帶有物料時(shí)，反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，噴氦法噴出的少量的氦氣擴(kuò)散到系統(tǒng)中難以形成穩(wěn)定的流態(tài)，難以得到準(zhǔn)確的漏率，誤差大。要使得氦質(zhì)譜檢漏法適用于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏，必須針對(duì)以上三個(gè)問(wèn)題進(jìn)行分析解決。

4 難點(diǎn)分析及解決

4.1 低真空到中真空的轉(zhuǎn)換

通常帶物料的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)有卸料管路等，其壓力較低，可以在這些部位入口處連接液氮冷阱，后端設(shè)置羅茨真空泵機(jī)組[7]，同時(shí)并聯(lián)檢漏儀，此時(shí)冷阱能夠冷凝腐蝕性物料，由于氦氣的液化溫度極低，可以通過(guò)液氮冷阱而不被液化[8]，真空泵機(jī)組可以抽除漏入的空氣，通過(guò)該方法能夠?qū)z漏儀入口壓力降至滿(mǎn)足要求的真空度。

4.2 物料的隔絕

通過(guò)以上的處理，基本實(shí)現(xiàn)了氦氣與物料的隔絕，但同時(shí)也帶入新的問(wèn)題。首先羅茨真空泵機(jī)組存在水蒸氣、油蒸氣的反流，液氮冷阱冷凍物料的同時(shí)也會(huì)冷凍這些氣體，使得冷凝的物料受到污染無(wú)法繼續(xù)使用。同時(shí)，如果進(jìn)入液氮冷阱的物料流量得不到控制，在檢漏過(guò)程中會(huì)大量損失物料。因此，在問(wèn)題解決上，根據(jù)物料的物理性質(zhì)，在液氮冷阱的前端設(shè)計(jì)物料冷阱及限流閥。通過(guò)限流閥控制物料的流量，使用物料冷阱進(jìn)行物料回收。物料冷阱溫度達(dá)到物料的凝固點(diǎn)，從而使得進(jìn)入的物料完全冷凝。此時(shí)通過(guò)液氮冷阱與物料冷阱的配合實(shí)現(xiàn)了物料與水蒸氣、油蒸氣的隔離。

4.3 穩(wěn)定流態(tài)的獲得

要進(jìn)行容積較大、管路較長(zhǎng)的系統(tǒng)檢漏，檢漏儀最小可檢漏率應(yīng)高出真空系統(tǒng)允許漏率的幾個(gè)數(shù)量級(jí)。如檢測(cè)1×10-6Pa·m3/s的漏率，應(yīng)選擇檢漏儀最小可檢漏率優(yōu)于1×10-10Pa·m3/s，提高靈敏度。同時(shí)應(yīng)盡可能延長(zhǎng)單點(diǎn)噴氦時(shí)間及觀(guān)察檢漏儀讀數(shù)的時(shí)間。此時(shí)，如果在檢漏過(guò)程中發(fā)現(xiàn)檢漏儀輸出指示上升，便可以初步判定附近為漏點(diǎn)區(qū)域。確定漏點(diǎn)區(qū)域后，進(jìn)一步縮小檢漏范圍，直至獲得確定的漏點(diǎn)。

初判后，便需要獲得穩(wěn)定的氦氣流判斷漏率，此時(shí)可以采用氦罩累積法。對(duì)有漏部位噴氦并使塑料袋等密封物作為氦罩包裹氦氣，直至施氦時(shí)間達(dá)到3倍反應(yīng)時(shí)間的要求，儀器反應(yīng)達(dá)到最大值，得到較為準(zhǔn)確的漏率。

氦罩累積法優(yōu)點(diǎn)是既可以提高漏率測(cè)量的準(zhǔn)確性，同時(shí)還能夠保證施氦時(shí)間達(dá)到3倍反應(yīng)時(shí)間的要求。而采用噴氦法檢漏，當(dāng)反應(yīng)時(shí)間比較長(zhǎng)時(shí)（如大容器檢漏），如果不能夠保證足夠的施氦時(shí)間，往往很難檢出小漏，這也是氦罩累積法的優(yōu)勢(shì)所在。

5 檢漏裝置的設(shè)計(jì)

通過(guò)以上分析，可以設(shè)計(jì)如圖1的檢漏裝置。其中，虛線(xiàn)部分為檢漏裝置。

圖1 檢漏裝置結(jié)構(gòu)圖

檢漏儀采用ZLS-26D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀，最小可檢漏率優(yōu)于5×10-12Pa·m3/s。

根據(jù)實(shí)際情況[9]，采用WAU251/D40型羅茨真空泵機(jī)組，連接管路及物料冷阱、液氮冷阱采用不銹鋼材質(zhì)，并在內(nèi)壁鍍防護(hù)膜使其抗物料腐蝕。連接部位的密封墊采用氟橡膠，可以耐高溫、低溫、酸、堿、油、輻射等介質(zhì)，能夠在不同條件下使用[10]。物料冷阱使用液氮和酒精的混合物，控制其溫度為物料的凝固點(diǎn)，并設(shè)置有蒸發(fā)器，在檢漏完成后通過(guò)加熱解凍的方式使液氮冷阱中物料返回真空系統(tǒng)，避免物料損失。

通過(guò)以上的設(shè)計(jì)，該裝置滿(mǎn)足了帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)的檢漏要求。同時(shí)，此裝置還能夠進(jìn)一步進(jìn)行改進(jìn)，如不采用整體羅茨泵機(jī)組，而采用分體的機(jī)械泵和羅茨泵，將檢漏儀放置于如圖2所示的位置，即羅茨泵之后，利用羅茨泵提高氦質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)靈敏度。

圖2 優(yōu)化檢漏裝置結(jié)構(gòu)圖

6 實(shí)際應(yīng)用

某帶腐蝕性物料的大型真空系統(tǒng)出現(xiàn)壓力異常增長(zhǎng)，無(wú)法卸料檢漏，因此采用以上裝置和方法進(jìn)行了檢漏。

6.1 檢漏過(guò)程

（1）將圖1裝置通過(guò)閥門(mén)接入真空系統(tǒng)卸料管路入口，此時(shí)不與系統(tǒng)連通，通過(guò)真空泵機(jī)組抽空使裝置壓力低于0.1 Pa，物料冷阱注入酒精和液氮，液氮冷阱注入液氮，進(jìn)行充分冷凍；

（2）啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀并校準(zhǔn)靈敏度；

（3）打開(kāi)裝置與真空系統(tǒng)之間的閥門(mén)實(shí)現(xiàn)連通，并控制限流閥開(kāi)度，此時(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀滿(mǎn)足了工作條件；

（4）停止真空泵機(jī)組的抽空，對(duì)真空系統(tǒng)按照整體→部分→部件→部位的方法進(jìn)行噴氦，同時(shí)觀(guān)測(cè)檢漏儀的讀數(shù)變化情況，確定漏點(diǎn)部位。檢漏過(guò)程中，噴氦時(shí)間盡可能長(zhǎng)。在噴氦結(jié)束后，繼續(xù)觀(guān)察檢漏儀讀數(shù)一段時(shí)間。確定漏點(diǎn)后，采用氦罩法檢漏至檢漏儀讀數(shù)不再上漲，以滿(mǎn)足反應(yīng)時(shí)間要求，確定漏率；

（5）確定漏點(diǎn)并消除漏點(diǎn)、復(fù)檢，將檢漏裝置與真空系統(tǒng)斷開(kāi)，拆下裝置，結(jié)束檢測(cè)。

6.2 檢漏結(jié)果

經(jīng)過(guò)判斷該系統(tǒng)有一處漏點(diǎn)，由連接部位松動(dòng)造成，對(duì)此處進(jìn)行緊固，復(fù)檢時(shí)漏點(diǎn)消除。

不使用氦罩，檢漏儀漏率反應(yīng)曲線(xiàn)如圖3所示。數(shù)值在10 min內(nèi)由4.0×10-10Pa·m3/s漲至1.1× 10-9Pa·m3/s，判定該部位有漏。

圖3 有漏部位漏率上漲曲線(xiàn)（無(wú)氦罩狀態(tài)）

使用真空泵機(jī)組將氦氣抽除后，對(duì)有漏部位使用氦罩，檢漏儀20 min內(nèi)數(shù)值由7.6×10-10Pa·m3/s漲至5.6×10-6Pa·m3/s并逐漸達(dá)到穩(wěn)定。如圖4所示。

對(duì)比圖3、圖4可知，使用氦罩法由于施氦時(shí)間和氦氣濃度較噴吹法有更好的保證，從而反應(yīng)信號(hào)較噴吹法有明顯改變。消漏后，封閉系統(tǒng)壓力上漲由原先每2 h時(shí)2 Pa降至每2 h時(shí)0.7 Pa，使用公式（1）估算消除的漏率為5×10-6Pa·m3/s，和氦罩法得到的漏率接近。

圖4 有漏部位漏率上漲曲線(xiàn)（氦罩狀態(tài)）

6.3 結(jié)果分析

6.3.1 漏率

采用氦罩時(shí)，進(jìn)入漏點(diǎn)的氣體可以看成純氦，隨著氦氣的擴(kuò)散，系統(tǒng)內(nèi)氦分壓上升，從漏孔到檢漏儀之間最終形成穩(wěn)態(tài)流動(dòng)，這時(shí)儀器的反應(yīng)漏率取決于漏孔的位置，氣體的流動(dòng)狀態(tài)，氦氣分布及混合氣體比例。

有時(shí)對(duì)于反應(yīng)時(shí)間較短，漏率較大的小容積，只需要知道漏點(diǎn)部位，不需要知道具體漏率值，則可以采用無(wú)氦罩噴吹法，這時(shí)為保證有效檢到漏點(diǎn)，要求檢漏儀最小可檢漏率比真空系統(tǒng)允許漏率應(yīng)低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。而當(dāng)被檢容積較大時(shí)，反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，用噴吹法難以保證施氦應(yīng)時(shí)間，小漏很難檢測(cè)，因此即使不需要知道具體漏率值，在此情況也還是采用氦罩法為宜。

6.3.2 反應(yīng)時(shí)間

氦氣由漏點(diǎn)進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間由幾部分構(gòu)成。

（1）氦氣通過(guò)漏孔的時(shí)間t1。

計(jì)算公式為：

式中：t1為氦氣通過(guò)漏孔的時(shí)間，s；vˉ為氦氣通過(guò)漏孔的平均速度，Pa。

這一時(shí)間通?？梢院雎?，但對(duì)于細(xì)長(zhǎng)型且中間帶有小空間的漏孔，反應(yīng)時(shí)間則可達(dá)到100 s以上。

（2）氦氣通過(guò)真空系統(tǒng)的時(shí)間t2。

流體流動(dòng)產(chǎn)生阻力，阻力W與流速u(mài)2成正比，與管長(zhǎng)L成正比，即：

式中：k為比例系數(shù)。

系統(tǒng)與系統(tǒng)的總流阻WT大小取決于真空系統(tǒng)的流阻Ws和雙冷阱與檢漏儀組成的系統(tǒng)的有效抽速Sp。

由公式（3）、（4）得：

（3）氦質(zhì)譜檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間t3。

一般氦質(zhì)譜檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間<3 s?？偡磻?yīng)時(shí)間由以上構(gòu)成t=t1+t2+t3。

綜上，對(duì)于漏孔形狀復(fù)雜，內(nèi)部流阻大的含腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，為有效檢出漏點(diǎn)，必須估算并延長(zhǎng)噴氦時(shí)間，以滿(mǎn)足噴氦時(shí)間為反應(yīng)時(shí)間的3倍以上。

7 結(jié)論

文章研究了帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)的檢漏方法，分析了相關(guān)方法，并提出使用適合的檢漏方法和步驟，能夠使氦質(zhì)譜檢漏儀滿(mǎn)足檢漏條件，采用氦質(zhì)譜檢漏噴吹法找到漏點(diǎn)位置，利用氦罩累積法判斷出較為準(zhǔn)確的漏率。在實(shí)際工作中運(yùn)用這種方法，解決了內(nèi)部帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線(xiàn)檢漏問(wèn)題，為該類(lèi)問(wèn)題提供了技術(shù)上的參考。

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STUDY OF ONLINE LEAK DETECTING METHOD OF VACUUM SYSTEM WHICH CONTAIN CORROSIVE MATERIALS

HE Zi-yu，ZHOU Yong-sheng，ZHAO Wei-li，LI De-xin

（Research Institute of Physical and Chemical Engineering of Nuclear Industry，Tianjin300180，China）

Vacuum system which contain of corrosive metearals is always strict for leakages.This paper reasearched the online leak detecting methods of vacuum system which contain of corrosive metearals.It analyzed relatively leak detecting methods，supplied a suitable way.First，dealt with corrosive metearals，elected suitable leak detecting steps，made the leak detector fulfilled with its working condition，then used helium cumulated method to acquire leakage rates.The result indicate that the method could detect the vacuum system online leakage exactly and availability.The study provide an assistant technique for the online leakage detecting of vacuum system which contain corrosive metearals.

vacuum system；leak detection；He mass spectrum；corrosive material

TB79文獻(xiàn)識(shí)別碼：A

1006-7086（2014）06-0335-05

10.3969/j.issn.1006-7086.2014.06.007

2014-07-29

赫梓宇（1982-），男，河北南宮人，工程師，主要從事真空系統(tǒng)的檢漏及設(shè)計(jì)研究，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定；中國(guó)真空學(xué)會(huì)質(zhì)譜分析和檢漏專(zhuān)委會(huì)委員。

E-mail：pcfun@sohu.com