許德成，高永慧，郭小輝

（1.吉林師范大學(xué)信息技術(shù)學(xué)院，吉林四平136000；2.合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院，安徽合肥230009）

一種全柔性電容式觸覺(jué)傳感器設(shè)計(jì)與試驗(yàn)

許德成1，高永慧1，郭小輝2

（1.吉林師范大學(xué)信息技術(shù)學(xué)院，吉林四平136000；2.合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院，安徽合肥230009）

為實(shí)現(xiàn)法向力與切向力感知，設(shè)計(jì)了一種可用于機(jī)器人仿生皮膚的電容式柔性觸覺(jué)傳感器，并設(shè)計(jì)成陣列結(jié)構(gòu).以硅橡膠為柔性基體，有機(jī)硅導(dǎo)電銀膠為上下兩柔性極板，共同構(gòu)成電容式觸覺(jué)敏感單元.分析并介紹電容式柔性觸覺(jué)傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及觸覺(jué)信息采集與處理系統(tǒng).可實(shí)現(xiàn)法向力0～5 N范圍內(nèi)靈敏度為6.78 fF/N，切向力0～3 N范圍內(nèi)靈敏度為11.45 fF/N的觸覺(jué)感知功能.試驗(yàn)結(jié)果表明，該全柔性電容式觸覺(jué)陣列傳感器具有良好的穩(wěn)定性與靈敏度，可用作人工皮膚實(shí)現(xiàn)觸覺(jué)感知.

觸覺(jué)傳感器；電容式傳感器；全柔性；傳感信息處理；人工皮膚

觸覺(jué)作為服務(wù)型機(jī)器人感知外界信息的一種有效方式，為復(fù)雜多元的環(huán)境下輔助智能機(jī)器人完成預(yù)期動(dòng)作或安全人機(jī)交互提供了保障［1-2］.此外，觸覺(jué)在人工皮膚研究領(lǐng)域中同樣起著舉足輕重的作用［3-4］，一種能檢測(cè)法向力與切向力的柔性觸覺(jué)傳感器逐漸成為仿生皮膚研究的熱點(diǎn)之一.A.Cirillo等［5］介紹了一種基于光電技術(shù)的人工皮膚，將觸覺(jué)傳感陣列置于印刷電路板基體上可實(shí)現(xiàn)觸覺(jué)力檢測(cè).M.Philipp等［6］設(shè)計(jì)一種模塊化的觸覺(jué)傳感單元，可構(gòu)成不同大小敏感“皮膚”實(shí)現(xiàn)觸覺(jué)感知.上述觸覺(jué)傳感器缺乏應(yīng)有的柔性，不宜在服務(wù)型機(jī)器人彎曲表面廣泛應(yīng)用.文獻(xiàn)［7］提出了一種可用在彎曲表面的電阻式“皮膚”，具有一定的可拉伸性，然而缺乏對(duì)法向力與切向力同時(shí)感知的能力.文獻(xiàn)［8］利用聚偏氟乙烯（PVDF）柔性壓電薄膜制作了一種仿生皮膚，然而PVDF只能檢測(cè)動(dòng)態(tài)力，缺乏對(duì)靜態(tài)力的感知功能.文獻(xiàn)［9］介紹了一種高靈敏度、高可拉伸的壓阻式觸覺(jué)傳感器，由于共用同一柔性極板，限制了其陣列化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).

電容式傳感器因具有體積小、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)在機(jī)器人仿生皮膚研究領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用［10］.針對(duì)現(xiàn)有觸覺(jué)傳感器存在的缺點(diǎn)，文中提出一種可檢測(cè)法向力與切向力的電容式柔性觸覺(jué)傳感陣列，介紹該傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及電容敏感信號(hào)采集與處理系統(tǒng).

1 觸覺(jué)傳感器設(shè)計(jì)

1.1 傳感器模型與工作原理

電容式觸覺(jué)傳感單元結(jié)構(gòu)模型如圖1所示，每個(gè)觸覺(jué)傳感單元可等效為4個(gè)上下極板尺寸相同、非完全重合的平行板電容器.文中以GD401（中昊晨光化工研究院有限公司）硅橡膠為柔性基體，YC-2型有機(jī)硅導(dǎo)電銀膠（南京喜力特膠粘劑有限公司）作為平行板電容的上下電極，觸覺(jué)傳感器上表面附有半球形觸頭.YC-2型有機(jī)硅導(dǎo)電銀膠常溫下固化后具有良好的延展性、成膜性好等優(yōu)點(diǎn)，使得電容式觸覺(jué)傳感單元整體具有柔性，為可穿戴仿生皮膚的研制提供了可能性.

電容式觸覺(jué)傳感器結(jié)構(gòu)俯視圖與垂直剖面圖分別如圖2a，b所示，4個(gè)平行板電容分別記為C1，C2，C3，C4，上下極板均是邊長(zhǎng)l為5 mm的正方形有機(jī)硅導(dǎo)電銀膠膜，且非完全重合，兩層極板由4個(gè)半徑為0.5 mm的硅橡膠圓柱支撐，空氣和覆蓋在極板表面的硅橡膠充當(dāng)電容式觸覺(jué)傳感器的復(fù)合電介質(zhì).多個(gè)觸覺(jué)傳感單元可以組成陣列形式，方便實(shí)現(xiàn)大面積法向力與切向力檢測(cè).

電容式觸覺(jué)傳感器檢測(cè)法向力與切向力的機(jī)理如圖3所示.

圖3 a中，當(dāng)電容式觸覺(jué)傳感器受法向力Fz作用時(shí)，圓形硅橡膠支柱受力被壓縮Δd，等效為極板間距減小Δd（假設(shè)極板表面未發(fā)生變化），此時(shí)對(duì)應(yīng)輸出電容值滿足公式（1）：

其中：ε0=8.854×10-12F·m-1為真空介電常數(shù)；εr為兩極板間硅橡膠和空氣復(fù)合相對(duì)介電常數(shù)；S0= l2為極板初始面積；Ci為受力時(shí)平行板電容值，i= 1，2，3，4.理想情況下，受法向力作用時(shí)，C1，C2，C3，C4這4個(gè)電容變化量ΔC=ΔCi-C0是相同的，C0為平行板電容初始電容值.以ΔCnormal表示法向力Fz作用時(shí)4個(gè)電容的平均變化量，則滿足公式（2）：

圖3b中，當(dāng)電容式觸覺(jué)傳感器受切向力Fx/Fy時(shí)，圓形硅橡膠支柱發(fā)生傾斜，上極板沿受力方向發(fā)生位移Δl，電容式觸覺(jué)傳感器等效極板面積發(fā)生變化.若沿x軸正方向施加切向力Fx時(shí)，C1，C4等效極板面積減小ΔS=l2-l（l-Δl），C2，C3等效極板面積增加ΔS=l（l+Δl）-l2.同理，沿y軸正方向施加切向力Fy時(shí)，C3，C4等效極板面積減小，C1，C2等效極板面積增加.與傳統(tǒng)上下極板完全重合的電容式觸覺(jué)傳感器結(jié)構(gòu)相比，文中提出的電容式觸覺(jué)傳感器在檢測(cè)切向力時(shí)采用一種差分方式，提高了切向力檢測(cè)的靈敏度.另外，電容式觸覺(jué)傳感器單元上下兩層平行板由圓形硅橡膠支柱連接，使得在切向力作用時(shí)上下極板更容易發(fā)生相對(duì)位移.以ΔCshear-x和ΔCshear-y分別表示沿x軸和y軸正方向施加切向力時(shí)兩對(duì)差分電容的平均變化量，則分別滿足公式（3）和（4）：

利用ANSYS有限元分析軟件［11］對(duì)電容式觸覺(jué)傳感器進(jìn)行受法向力與切向力仿真，其仿真結(jié)果如圖4所示.

圖4 a為1 N法向力作用于電容式觸覺(jué)傳感器中央時(shí)ANSYS仿真結(jié)果，可以看出4個(gè)電容的變化情況大致相同；圖4b為1 N切向力作用于電容式觸覺(jué)傳感器側(cè)面時(shí)ANSYS仿真結(jié)果，C2，C3減小，C1，C4增加.可以看出ANSYS仿真和上述檢測(cè)原理分析結(jié)果一致.

1.2 電容式觸覺(jué)傳感器設(shè)計(jì)

電容式觸覺(jué)傳感器設(shè)計(jì)流程如圖5所示，主要采用3D打印技術(shù)，隨著3D打印技術(shù)日趨成熟，為傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)帶來(lái)了極大便利并得到一定應(yīng)用［12］，利用Solidworks等三維設(shè)計(jì)軟件構(gòu)建需要的模型可靈活打印出所需傳感器微結(jié)構(gòu).3D打印所用材料為ABS（acrylonitrile butadiene styrene plastic）工程塑料，基于硅橡膠的流體成型特性及有機(jī)硅導(dǎo)電銀膠良好的延展性、成膜性，固化脫模后可獲得傳感器對(duì)應(yīng)部件結(jié)構(gòu).電容式觸覺(jué)傳感器實(shí)物如圖6所示.

2 電容式觸覺(jué)傳感信息提取系統(tǒng)

2.1 觸覺(jué)傳感信息提取系統(tǒng)硬件設(shè)計(jì)

文中主控芯片選用意法半導(dǎo)體公司的基于ARM Cortex-M3處理器內(nèi)核的32位高性能STM32F103VET6微處理器，其豐富的硬件資源與庫(kù)函數(shù)很大程度上縮短了產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期.綜合電容檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)復(fù)雜度、數(shù)據(jù)精度等因素，選擇具備I2C接口的CDC（capacitance-to-digital converter）AD7147-1，該芯片采用有源交流屏蔽技術(shù)可消除容性輸入對(duì)地之間的寄生電容，高達(dá)16位CDC精度，13路容性輸入可方便構(gòu)成電容式觸覺(jué)傳感陣列信息提取系統(tǒng)，其4×4電容式觸覺(jué)陣列傳感器信號(hào)采集系統(tǒng)原理圖如圖7所示.

在4×4電容傳感陣列中選中列接地，作為每行容性輸入的接地極板，其余列接有源屏蔽端.通過(guò)控制模擬開(kāi)關(guān)連接方式與AD7147-1容性輸入配置模式不僅實(shí)現(xiàn)了可同時(shí)采集4路容性輸入，提高了數(shù)據(jù)采集速率，而且消除了各容性傳感單元間的交叉干擾.

電容式觸覺(jué)傳感陣列檢測(cè)系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)框圖如圖8所示，微控制器通過(guò)控制多路模擬開(kāi)關(guān)逐次掃描電容式觸覺(jué)傳感陣列的某一列，同時(shí)，4行容性輸入經(jīng)AD7147-1電容信號(hào)處理模塊采集該列傳感信息.微控制器以I2C方式讀取觸覺(jué)傳感信息并通過(guò)串口傳至上位機(jī)，實(shí)時(shí)顯示試驗(yàn)結(jié)果.

2.2 觸覺(jué)傳感信息提取系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)

電容式柔性觸覺(jué)陣列傳感信息提取系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)流程圖如圖9所示，上位機(jī)開(kāi)發(fā)選用NI（national instruments）公司的圖形化編程開(kāi)發(fā)平臺(tái)，LabVIEW具備強(qiáng)大的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理功能與顯示功能，其內(nèi)置分析與控制函數(shù)可較方便地對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行更高級(jí)的運(yùn)算和處理.微控制器程序流程圖如圖9a所示，控制器完成一次陣列掃描后按預(yù)定通信協(xié)議格式將數(shù)據(jù)打包發(fā)送至上位機(jī).上位機(jī)程序流程圖如圖9b所示，LabVIEW接到下位機(jī)發(fā)送的新數(shù)據(jù)，解析數(shù)據(jù)包并判斷無(wú)誤后顯示試驗(yàn)結(jié)果.

3 試 驗(yàn)

室溫下，使用AIKOH MODEL-762型拉壓力計(jì)對(duì)文中提出的全柔性電容式觸覺(jué)傳感單元的輸入輸出特性進(jìn)行試驗(yàn)與驗(yàn)證，其中，法向力與切向力加載平臺(tái)示意圖分別如圖10a，b所示.

以0.2 N為步進(jìn)對(duì)該全柔性電容式觸覺(jué)傳感器施加法向力Fz，其輸出電容值與施加法向力之間曲線關(guān)系如圖11所示.從圖中可以看出，在0～5 N范圍該全柔性電容式觸覺(jué)傳感器具備良好的線性度，經(jīng)線性擬合得法向最低靈敏度為6.78 fF·N-1.

同樣，使用AIKOH MODEL-762型拉壓力計(jì)以0.2 N為步進(jìn)對(duì)文中提出的全柔性電容式觸覺(jué)傳感單元加載切向力Fx和Fy作用，其輸出電容與施加切向力之間曲線關(guān)系分別如圖12和13所示.

由圖12，13可見(jiàn)，在施加切向力作用時(shí)4個(gè)敏感單元構(gòu)成兩對(duì)差分結(jié)構(gòu)，在不同切向力作用下其輸出電容值與上文分析切向力檢測(cè)原理中結(jié)果相一致.在0～3 N范圍內(nèi)該全柔性電容式觸覺(jué)傳感器具備良好的線性度，經(jīng)線性擬合得切向力作用時(shí)最低靈敏度為11.45 fF·N-1.

為驗(yàn)證文中提出全柔性電容式觸覺(jué)傳感器的靈敏度、響應(yīng)特性及重復(fù)性，向該電容式觸覺(jué)傳感器間隔施加和釋放作用力，以1 N為步進(jìn)，從1到4 N進(jìn)行動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)，其傳感單元?jiǎng)討B(tài)響應(yīng)特性如圖14所示，其響應(yīng)時(shí)間為0.49 s，圖中可以看出該觸覺(jué)傳感器能快速感知觸覺(jué)信息且具備良好的重復(fù)性.

對(duì)電容式觸覺(jué)傳感器進(jìn)行5組不同的壓強(qiáng)檢測(cè)試驗(yàn)，測(cè)得觸覺(jué)傳感器的輸出電容值與對(duì)應(yīng)壓強(qiáng)值，其結(jié)果如表1所示.

從上述試驗(yàn)中可以看出檢測(cè)過(guò)程中存在一定的誤差，誤差產(chǎn)生的原因一方面來(lái)自試驗(yàn)環(huán)境的干擾，此外，幾乎所有的傳感器都存在時(shí)漂和溫漂，后期預(yù)引入溫度補(bǔ)償功能降低溫漂，提高檢測(cè)精度.

4 結(jié) 論

文中提出了一種全柔性、可用作智能機(jī)器人敏感皮膚的電容式柔性觸覺(jué)陣列傳感器，可實(shí)現(xiàn)法向力0～5 N和切向力0～3 N內(nèi)，對(duì)應(yīng)靈敏度分別為6.78 fF·N-1和11.45 fF·N-1.針對(duì)該電容式柔性觸覺(jué)傳感器，闡述了其工作原理、結(jié)構(gòu)模型等，同時(shí)，構(gòu)建了電容信號(hào)采集與處理系統(tǒng)，提高了電容傳感信息的采集速率與可信度.通過(guò)對(duì)電容式柔性觸覺(jué)傳感器進(jìn)行法向力與切向力特性測(cè)試及動(dòng)態(tài)響應(yīng)與恢復(fù)特性測(cè)試結(jié)果表明，該觸覺(jué)傳感器可作為一種仿生皮膚實(shí)現(xiàn)觸覺(jué)可靠感知.

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［1］ 石金進(jìn)，吳海彬，馬志舉.一種新型機(jī)器人仿生皮膚的設(shè)計(jì)［J］.機(jī)器人，2013，35（1）：32-38. Shi Jinjin，Wu Haibin，Ma Zhiju.Design of a new robotskin［J］.Robot，2013，35（1）：32-38.（in Chinese）

［2］ Takei K，Yu Z，Zheng M，et al.Highly sensitive electronic whiskers based on patterned carbon nanotube and silver nanoparticle composite films［J］.Proceedings of the National Academy of Sciences，2014，111（5）：103-107.

［3］ 郭小輝，黃 英，袁海濤，等.柔性復(fù)合傳感器陣列信號(hào)采集及溫度補(bǔ)償系統(tǒng)［J］.電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)，2014，28（11）：1254-1261. Guo Xiaohui，Huang Ying，Yuan Haitao，et al.Design on signal acquisition and temperature compensation system of flexible composite sensor array［J］.Journal of Electronic Measurement and Instrumentation，2014，28（11）：1254-1261.（in Chinese）

［4］ Dobrzynska J A，Gijs M A M.Polymer-based flexible capacitive sensor for three-axial force measurements［J］. Journal of Micromechanics and Microengineering，2013，23（1）：1-11.

［5］ Cirillo A，Cirillo P，de Maria G，et al.An artificial skin based on optoelectronic technology［J］.Sensors and Actuators A：Physical，2014，212（1）：110-122.

［6］ Philipp M，Gordon C.Humanoid multimodal tactilesensing modules［J］.IEEE Transactions on Robotics，2011，27（3）：401-410.

［7］ Wang H，Zhou D，Cao J.Development of a skin-like tactile sensor array for curved surface［J］.IEEE Sensors Journal，2014，14（1）：55-61.

［8］ Shirafuji S，Hosoda K.Detection and prevention of slip using sensors with different properties embedded in elastic artificial skin on the basis of previous experience［J］.Robotics and Autonomous Systems，2014，62（1）：46-52.

［9］ Choong C L，Shim M B，Lee B S，et al.Highly stretchable resistive pressure sensors using a conductive elastomeric composite on a micropyramid array［J］.Advanced Materials，2014，26（21）：3451-3458.

［10］ Perla M，Marco M，Giorgio C，et al.A flexible and robust large capacitive tactile system for robots［J］.IEEE Sensors Journal，2013，13（10）：3910-3917.

［11］ 吳 怡，唐 嵐.基于有限元的發(fā)動(dòng)機(jī)受熱零件溫度場(chǎng)分析［J］.江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)：自然科學(xué)版，2012，33（6）：638-642. Wu Yi，Tang Lan.Temperature field analysis of engine heated parts based on finite element method［J］.Journal of Jiangsu University：Natural Science Edition，2012，33（6）：638-642.（in Chinese）

［12］ Muth JT，Vogt D M，Truby R L，et al.Embedded 3D printing of strain sensors within highly stretchable elastomers［J］.Advanced Materials，2014，26：6307-6312.

（責(zé)任編輯 徐紅星）

Design and experiment of a fully com pliant capacitive tactile sensor

Xu Decheng1，Gao Yonghui1，Guo Xiaohui2
（1.College of Information Technology，Jilin Normal University，Siping，Jilin 136000，China；2.School of Electronic Science&Applied Physics，Hefei University of Technology，Hefei，Anhui230009，China）

To realize normal force and shear force perception，a fully compliant capacitive tactile sensor was designed for bio-inspired skin sensor array.The pressure-sensitive unit was constructed with silicone rubber as flexible substrate and silver conductive adhesive as flexible parallel-plate capacitor.The working principle and the structure design of capacitive flexible tactile sensor were introduced.The sensing information acquisition and processing system was also designed and implemented.When the normal load measurement ranges from 0 to 5 N with shear load measurement ranging from 0 to 3 N，the measured sensitivities are 6.78 fF/N and 11.45 fF/N，respectively.The experiment results indicate that the flexible capacitive sensors array and the capacitive signal extraction system have good stability and sensitivity for artificial skin to achieve tactile perception.

tactile sensor；capacitive sensor；fully compliant；sensing information processing；artificial skin

TP212.1

A

1671-7775（2015）03-0337-06

許德成，高永慧，郭小輝.一種全柔性電容式觸覺(jué)傳感器設(shè)計(jì)與試驗(yàn)［J］.江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)：自然科學(xué)版，2015，36（3）：337-342.

10.3969/j.issn.1671-7775.2015.03.016

2014-10-11

吉林省教育廳“十一五”科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目（吉教科合字第2010135號(hào)）

許德成（1977-），男，吉林遼源人，講師，博士研究生（xudechengxdc@163.com），主要從事智能系統(tǒng)控制與傳感技術(shù)的研究.高永慧（1980-），男，遼寧大連人，講師，博士研究生（39225947@qq.com），主要從事通信系統(tǒng)設(shè)計(jì)的研究.