羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測(cè)性維修技術(shù)分析

羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

多年的調(diào)查分析研究表明，預(yù)測(cè)性維修技術(shù)是維修領(lǐng)域近年來(lái)研究的重點(diǎn)對(duì)象，對(duì)其關(guān)注度逐漸提升。本文從預(yù)測(cè)性維修技術(shù)出發(fā)，首先分析故障后維修和預(yù)防性維修以及預(yù)測(cè)性維修，對(duì)三者的不同點(diǎn)和相同點(diǎn)及各自的優(yōu)缺點(diǎn)做了相應(yīng)的論述。近年來(lái)的半導(dǎo)體設(shè)備主要都是流水線作業(yè)生產(chǎn)，因此在流水線生產(chǎn)的過(guò)程中，只要有其中任何一臺(tái)設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題或發(fā)生故障，流水線作業(yè)的中斷都會(huì)使整個(gè)作業(yè)過(guò)程中斷，給公司或企業(yè)帶來(lái)經(jīng)濟(jì)損失。

半導(dǎo)體設(shè)備；故障后維修；預(yù)防性維修；預(yù)測(cè)性維修；技術(shù)分析

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，設(shè)備制造技術(shù)也越來(lái)越先進(jìn)，設(shè)備自身構(gòu)造也越來(lái)越復(fù)雜。因此使得半導(dǎo)體設(shè)備的維修技術(shù)面臨著前所未有的挑戰(zhàn)，也對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備維修人員的專業(yè)知識(shí)提出了更高的要求。本文主要對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的故障后維修和預(yù)防性維修以及預(yù)測(cè)性維修技術(shù)進(jìn)行了相關(guān)的分析，由于預(yù)測(cè)性維修技術(shù)作為維修技術(shù)中心新方向，也成為一種新型的維修方式，相對(duì)于傳統(tǒng)的其他維修方式，有更多的優(yōu)點(diǎn)和可取之處，從長(zhǎng)遠(yuǎn)角度來(lái)看其發(fā)展的空間和實(shí)用性還是比較大的。

1 維修方式的發(fā)展

按照半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和維修的時(shí)間，從維修方角度的方式出發(fā)，在故障前進(jìn)行了維修，屬于故障前維修，在故障后進(jìn)行維修，屬于故障后維修。如果從維修所使用的依據(jù)的角度出發(fā)，可以將故障前維修分為預(yù)防性維修和預(yù)測(cè)性維修。

故障后維修主要是指的事后維修，主要是在故障發(fā)生之后存在故障的情況下才有維修的這個(gè)過(guò)程，主要維修依據(jù)是設(shè)備是否正常運(yùn)作或者設(shè)備是否整體完好，如果設(shè)備遭到損壞之后再維修并不屬于修復(fù)性維修，這種屬于因?yàn)椴辉谠ㄓ?jì)劃范圍內(nèi)的維修，因此叫做非計(jì)劃性維修。

1.1 預(yù)防性維修的概述

預(yù)防性維修主要指的是以一段時(shí)間或者一段時(shí)間的時(shí)間間隔為維修依據(jù)，定時(shí)對(duì)機(jī)器進(jìn)行檢修，也就是定時(shí)進(jìn)行預(yù)防性維修，其檢修的間隔時(shí)間的設(shè)置可以參照相關(guān)企業(yè)的生產(chǎn)計(jì)劃，企業(yè)經(jīng)驗(yàn)和具體的生活環(huán)境等等因素，這些問(wèn)題都可以請(qǐng)教專業(yè)的維修技術(shù)人員，大部分企業(yè)主要是根據(jù)和企業(yè)相關(guān)的生產(chǎn)計(jì)劃和豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，按照規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行維修，應(yīng)經(jīng)常更換一些容易受到磨損的小零件，來(lái)防止由于小零件帶來(lái)的小問(wèn)題而使得整個(gè)生產(chǎn)線停產(chǎn)整頓等危害事件的發(fā)生和損失的進(jìn)一步擴(kuò)大，導(dǎo)致機(jī)器設(shè)備的損壞。從目前的情況來(lái)看，這種維修方法還是目前維修技術(shù)中比較先進(jìn)和常用的方法，也就是我們?cè)谌粘Ｉ钪兴f(shuō)的以不變應(yīng)萬(wàn)變采用的計(jì)劃維修和定期維修，根據(jù)具體情況的不同，可以設(shè)置成不同程度的，比如大修、小修和中修等不同的修理情況。

1.2 預(yù)測(cè)性維修的概述

預(yù)測(cè)性維修主要是以工作狀態(tài)和機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)為依據(jù)，對(duì)機(jī)器設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，并且當(dāng)機(jī)器在正常工作狀態(tài)下運(yùn)行時(shí)，對(duì)它的主要技術(shù)參數(shù)作出測(cè)量和相關(guān)參數(shù)的記錄，當(dāng)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，可以對(duì)機(jī)器設(shè)備的狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，然后請(qǐng)相關(guān)的專業(yè)技術(shù)維修人員進(jìn)行相應(yīng)的故障排除與診斷，不僅可以判定設(shè)備當(dāng)前所處的工作狀態(tài)是否處于正常狀態(tài)，還可以預(yù)測(cè)一段時(shí)間以內(nèi)設(shè)備狀態(tài)的未來(lái)趨勢(shì)。預(yù)測(cè)性維修不僅不需要定時(shí)定期的對(duì)于相關(guān)的機(jī)器設(shè)備進(jìn)行檢查，還僅僅只需要做好對(duì)工作機(jī)器設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)測(cè)和故障診斷以及故障排查與修復(fù)，并且根據(jù)所出現(xiàn)的問(wèn)題，有針對(duì)性的提出維修的解決方案后，將措施真正的進(jìn)一步落實(shí)，故障排除和故障維修融為一體，這是一種非常新型的維修技術(shù)運(yùn)作方式。

1.3 預(yù)測(cè)性維修的意義

預(yù)測(cè)性維修不同于傳統(tǒng)的維修方式，在對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行管理時(shí)一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)，雖然在某種程度上來(lái)看，目前它并不能取代定時(shí)和定期維修，但是目前可以通過(guò)對(duì)其工作狀態(tài)的監(jiān)測(cè)，提前了解相應(yīng)的資料和工作說(shuō)明。

這種監(jiān)測(cè)和實(shí)時(shí)監(jiān)控的模式對(duì)于流水線作業(yè)的產(chǎn)品來(lái)說(shuō)還是非常有必要的，因?yàn)樵谡５纳a(chǎn)過(guò)程中，只要某個(gè)失誤或者不確定因素造成這個(gè)設(shè)備無(wú)法使用時(shí)，只要有一臺(tái)工作設(shè)備出現(xiàn)故障，那么整個(gè)生產(chǎn)的過(guò)程就需要停止并檢查出問(wèn)題所在，只有在排除故障之后，方可正常運(yùn)行，在定時(shí)定量的更新設(shè)備的同時(shí)，也要注重實(shí)時(shí)監(jiān)控技術(shù)，對(duì)于比較重要的關(guān)鍵設(shè)備可以進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，選用預(yù)測(cè)性維修，就可以貫徹執(zhí)行并落實(shí)預(yù)防性維修維護(hù)的依據(jù)和范圍。從內(nèi)部斷絕隱患從而避免對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備造成本身的損失。

對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，不僅有利于現(xiàn)代設(shè)備維修，符合生產(chǎn)流水線的要求，并且可以逐步減少故障率，大大減少了新的培訓(xùn)維修的費(fèi)用，這樣更有利于大家貫徹執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)技術(shù)的基礎(chǔ)對(duì)策和措施。

2 半導(dǎo)體設(shè)備維修管理模式建議

首先是堅(jiān)持預(yù)防為主，防治結(jié)合的原則，從根本上斷絕設(shè)備事故出現(xiàn)的概率，最大限度的減少設(shè)備故障的發(fā)生可能性。

其次是建立較為完善標(biāo)準(zhǔn)的文件，從設(shè)備技術(shù)到技術(shù)保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。

再次就是需要有關(guān)部門建立健全并完善相應(yīng)的法律法規(guī)，使維修性技術(shù)能夠得到大幅的提升，而不是游走在法律的邊緣。

此外，還需要相關(guān)管理人員明確管理目標(biāo)，樹(shù)立正確的觀念，堅(jiān)持全面協(xié)調(diào)可持續(xù)發(fā)展，在堅(jiān)持安全第一的前提條件下又好又快的發(fā)展經(jīng)濟(jì)。

最后是可以對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程中的流水線上一些關(guān)鍵的設(shè)備設(shè)置監(jiān)控和檢測(cè)，監(jiān)控并檢測(cè)對(duì)于可能存在的需要使用的數(shù)據(jù)，例如溫度、壓強(qiáng)真空、電流、電壓等一系列的設(shè)備參數(shù)，可以通過(guò)監(jiān)控來(lái)及時(shí)有效、準(zhǔn)確無(wú)誤的把握整個(gè)流水線生產(chǎn)過(guò)程中的每一臺(tái)機(jī)器的運(yùn)作情況，因此從這個(gè)角度來(lái)看，預(yù)測(cè)性檢測(cè)還是非常有幫助的。相關(guān)管理人員和相關(guān)專業(yè)人士更要及時(shí)對(duì)系統(tǒng)存在的問(wèn)題進(jìn)行相應(yīng)的排查。

3 半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測(cè)性維修分析

從目前的情況來(lái)看，預(yù)測(cè)性維修主要是通過(guò)實(shí)時(shí)的監(jiān)控，并根據(jù)狀態(tài)監(jiān)測(cè)進(jìn)行調(diào)整，相關(guān)監(jiān)控設(shè)備主要是根據(jù)所設(shè)定的時(shí)間來(lái)定期或連續(xù)不斷的對(duì)設(shè)備進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)，以期來(lái)保證機(jī)器的正常運(yùn)作和整個(gè)生產(chǎn)流水線過(guò)程的適應(yīng)性。如果出現(xiàn)問(wèn)題就會(huì)發(fā)出警報(bào)；如果發(fā)出警報(bào)，說(shuō)明流水線作業(yè)的某一環(huán)節(jié)出現(xiàn)了問(wèn)題，這就需要相關(guān)技術(shù)人員及時(shí)查清故障發(fā)生部位，設(shè)備是否運(yùn)行正常，有無(wú)相關(guān)故障，或是否存在故障的發(fā)展趨勢(shì)和潛在問(wèn)題，根據(jù)實(shí)際具體的情況再適當(dāng)?shù)陌才啪S修情況。

首先要對(duì)流水生產(chǎn)線上的每一臺(tái)設(shè)備都制定設(shè)備臺(tái)賬賬本，記錄每一臺(tái)設(shè)備的故障原因的發(fā)生時(shí)間，持續(xù)時(shí)間，維修方法以及維修結(jié)果，這樣就如同醫(yī)院看病的病歷，保持對(duì)過(guò)去記錄的備錄在案，這樣能幫助我們又快又好的找到故障設(shè)備的故障和問(wèn)題存在。第二，要對(duì)設(shè)備正常工作運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的相關(guān)動(dòng)態(tài)參數(shù)加以記錄，例如波動(dòng)范圍，對(duì)于壓力、壓強(qiáng)的控制等等，需要每天有專職人員對(duì)其進(jìn)行檢查并記錄在案。根據(jù)每天的巡查和記錄，我們需要了解的是故障診斷是指不定期或者是值得記錄的相關(guān)重要設(shè)備進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)，并將有關(guān)結(jié)果記錄在案。根據(jù)其結(jié)果確定設(shè)備有無(wú)狀態(tài)異?；蛘吖收馅厔?shì)，然后相關(guān)技術(shù)人員和專業(yè)人士對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理，并對(duì)可能出現(xiàn)故障的設(shè)備加以維修，這不僅僅提高了工作上的效率，還大大節(jié)省了時(shí)間，一舉兩得。相關(guān)維修技術(shù)人員也需要充分的了解他們的專業(yè)知識(shí)，應(yīng)該查清故障設(shè)備的內(nèi)部運(yùn)轉(zhuǎn)情況并發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，有針對(duì)性的對(duì)所提出的問(wèn)題進(jìn)行相應(yīng)的改變，維修好之后也要及時(shí)考慮如何加強(qiáng)防范措施并且加以總結(jié)反思，記錄在案，這樣也是對(duì)維修工作的極大幫助。

4 結(jié)語(yǔ)

僅僅依靠人工來(lái)對(duì)設(shè)備進(jìn)行故障分析和故障排查，不僅消耗了大量的人力物力，而且由于人工監(jiān)控存在不連續(xù)性和不準(zhǔn)確性，可能遺漏一些重要的參數(shù)。如果要對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測(cè)性維修，做到真正實(shí)際科學(xué)的監(jiān)控，還需要科學(xué)技術(shù)進(jìn)一步的支持和幫助，利用科學(xué)技術(shù)設(shè)備來(lái)對(duì)生產(chǎn)流水線上的主要設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，保證生產(chǎn)生活的順利進(jìn)行，并且要時(shí)刻保持對(duì)先進(jìn)科學(xué)技術(shù)發(fā)展的關(guān)注，為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)測(cè)性維修技術(shù)作出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

[1]艾恩溪．解讀集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要暢談發(fā)展大計(jì)[J]．集成電路應(yīng)用，2014(12)．

[2]電力設(shè)備維修診斷與預(yù)防性試驗(yàn)[M]．北京：中國(guó)電力出版社，2014

[3]預(yù)測(cè)性維修原理及其應(yīng)用[J]．化工機(jī)械，2006．

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