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Zr含量對磁控濺射NiCrZr薄膜結(jié)構(gòu)及耐蝕性的影響

2019-02-26 02:26孫康崔洪芝田碩碩宋曉杰王維國
表面技術(shù) 2019年2期
關(guān)鍵詞:磁控濺射耐蝕性薄膜

孫康,崔洪芝,田碩碩,宋曉杰,王維國

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