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一種光學(xué)加速度傳感器及加速度傳感器系統(tǒng)

2021-03-27 17:53:08
傳感器世界 2021年6期
關(guān)鍵詞:布拉格光柵傳導(dǎo)

申請?zhí)?202110107185.6

【公開號】CN112782424A

【公開日】2021.05.11

【分類號】G01P15/03

【申請日】2021.01.27

【申請人】寧波正業(yè)自動化科技有限公司

【發(fā)明人】吳迅奇;朱潔瓊

【摘 要】本發(fā)明提供了一種光學(xué)加速度傳感器及加速度傳感器系統(tǒng),所述光學(xué)加速度傳感器包括:傳導(dǎo)光纖,其內(nèi)部傳導(dǎo)光波;半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其上刻蝕布拉格光柵,且與所述傳導(dǎo)光纖對準(zhǔn),對射入的光波進(jìn)行調(diào)制后反射回所述傳導(dǎo)光纖;振動組件,其與所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)連接,感應(yīng)被測物體的振動并傳遞給所述布拉格光柵。這樣,將半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和傳導(dǎo)光纖分離開來設(shè)置,需要封裝的時候,直接對半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)進(jìn)行封裝,解決了光纖彎曲半徑過小,封裝成傳感器尺寸過大的問題;另外,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)更為穩(wěn)固,所以解決了布拉格光纖光柵易脆易斷,無法測量高頻振動信號的問題。

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