摘 要：

針對(duì)真空干泵機(jī)組故障、生產(chǎn)工藝需要等原因影響真空設(shè)備產(chǎn)線在線運(yùn)行時(shí)間的問題，研究真空干泵用屏蔽式感應(yīng)電機(jī)帶速重投策略，尋求重投的有利時(shí)刻以保證帶速重投的成功，對(duì)電機(jī)斷電后的轉(zhuǎn)速和定子失電殘壓特性展開研究。為此，根據(jù)屏蔽感應(yīng)電機(jī)空間向量模型，建立基于電壓電流混合磁鏈觀測(cè)的無速度傳感器估算模型、推導(dǎo)電機(jī)斷電期間的轉(zhuǎn)速估算方法以及定子失電殘壓解析式。通過重點(diǎn)研究定子殘壓和虛擬重投電壓間幅值特性和相角特性，確定控制系統(tǒng)的首次重投點(diǎn)和其次重投點(diǎn)。以4 kW真空干泵用屏蔽感應(yīng)電機(jī)機(jī)組為例，通過模型仿真和失電殘壓實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該控制方法在泵類工程中有較好的適用性和準(zhǔn)確性，重投階段的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定時(shí)間為0.5 s以內(nèi)，重投階段的沖擊電流平均減小59.18%。

關(guān)鍵詞：真空干泵；屏蔽電機(jī)；帶速重投；定子失電殘壓；無速度傳感器；失電殘壓實(shí)驗(yàn)

DOI：10.15938/j.emc.2024.02.011

中圖分類號(hào)：TM301.4

文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

文章編號(hào)：1007-449X（2024）02-0110-10

收稿日期： 2022-08-31

基金項(xiàng)目：遼寧省\"揭榜掛帥\"科技重大專項(xiàng)（2022JH1/10400038）

作者簡介：安躍軍（1962—），男，博士，教授，博士生導(dǎo)師，研究方向?yàn)樘胤N電機(jī)及其控制；

初佰慧（1991—），男，碩士，研究方向?yàn)樘胤N電機(jī)控制；

安 輝（1989—），男，碩士，高級(jí)工程師，研究方向?yàn)樘胤N電機(jī)及其控制；

陸艷君（1990—），女，碩士，工程師，研究方向?yàn)橛来挪牧吓c芯片制備；

鄧文宇（1982—），男，學(xué)士，正高級(jí)工程師，研究方向?yàn)橛来朋w制備技術(shù)；

齊麗君（1981—），男，碩士，高級(jí)工程師，研究方向?yàn)橄⊥劣来挪牧现苽洌?/p>

李 明（1987—），男，博士，講師，研究方向?yàn)樘胤N電機(jī)及其控制。

通信作者：安躍軍

Residual voltage restart control strategy with sensorless of canned motor for vacuum dry pump

AN Yuejun1， CHU Baihui1， AN Hui1， LU Yanjun2， DENG Wenyu3， QI Lijun3， LI Ming1，4

（1.School of Electrical Engineering， Shenyang University of Technology， Shenyang 110870， China;

2.Shenyang KINGSEMI Co.， Ltd.， Shenyang 110168， China; 3.Shenyang China North Vacuum Equipment Co.， Ltd.， Shenyang 110159， China; 4.College of Control Science and Engineering， Bohai University， Jinzhou 121013， China）

Abstract：

To discuss the problem that the on-line running time of the vacuum equipment production line is affected by the failure of vacuum dry pump unit and the need of production process， it is very significant to study the strategy of restarting at unknown speed of the canned induction motor for vacuum dry pump. In order to find the optimal moment of restarting and ensure the success of restarting at unknown speed， it is necessary to study the speed of motor and the stator residual voltage characteristics after the power off. Therefore， according to the space vector model of canned induction motor， a speed sensorless speed estimation model based on flux observation of voltage-current hybrid rotor was established， and the speed estimation method during the power off and the analytical formula of stator residual voltage after power off were deduced. By focusing on the amplitude and phase-angle characteristics between the stator residual voltage and the virtual reinput voltage， the first and the secondary restart points of the control system were determined. Taking the canned induction motor unit for 4 kW vacuum dry pump as an example， through model simulation and power-off residual voltage experiment， the good applicability and accuracy of the control method in pump engineering were verified， the speed stability time is less than 0.5 s， and the impact current decreases by 59.18% on average.

Keywords：vacuum dry pump; canned motor; restarting at unknown speed; stator residual voltage; speed-sensorless; power-off residual voltage experiment

0 引 言

隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)、裝備制造業(yè)、薄膜工業(yè)、化工產(chǎn)業(yè)、液晶顯示器等行業(yè)的快速發(fā)展，真空技術(shù)在行業(yè)發(fā)展中的應(yīng)用也越來越廣泛，同時(shí)各行業(yè)對(duì)極限真空度的要求也越來越嚴(yán)格［1］。目前常使用由屏蔽電機(jī)、羅茨泵等組成的真空系統(tǒng)來獲取真空環(huán)境，屏蔽電機(jī)因其體積小、能耗低、極限真空度好等優(yōu)點(diǎn)，逐漸成為獲得真空環(huán)境的核心設(shè)備［2］。

在真空系統(tǒng)工程中，常因真空泵間歇性故障或工藝流程需要等原因?qū)е抡婵毡孟到y(tǒng)發(fā)生直排大氣現(xiàn)象，造成電機(jī)負(fù)載突增，過大的沖擊負(fù)載會(huì)使屏蔽電機(jī)過載停機(jī)，設(shè)備真空度將不能維持，為減少因真空度破壞造成過大的經(jīng)濟(jì)損失，需要斷電后屏蔽電機(jī)仍處于高轉(zhuǎn)速狀態(tài)，盡快重新投入工作。如果在電機(jī)斷電后直接重新投入電源，勢(shì)必會(huì)產(chǎn)生較大的沖擊轉(zhuǎn)矩和沖擊電流［3］；如果等斷電后電機(jī)轉(zhuǎn)速降至0，真空系統(tǒng)的真空度將難以保證。因此，在真空干泵用屏蔽電機(jī)斷電后，實(shí)現(xiàn)快速、平穩(wěn)、低沖擊的帶速重投具有重要的工程意義［4］。

對(duì)于感應(yīng)電機(jī)的帶速重投控制問題，國內(nèi)外學(xué)者進(jìn)行了一些相應(yīng)研究。文獻(xiàn)［5］對(duì)感應(yīng)電機(jī)采用d軸直流電流注入法，以q軸電流振蕩周期估計(jì)電機(jī)重投初始轉(zhuǎn)速，該方法估算轉(zhuǎn)速所需時(shí)間過長。文獻(xiàn)［6］分析了感應(yīng)電機(jī)定子殘壓產(chǎn)生原理，討論了電源與剩余電壓之間的相位差對(duì)重新啟動(dòng)瞬態(tài)的影響。文獻(xiàn)［7］通過采取殘壓相位校正與電流滯環(huán)配合重投方法，減小了重投時(shí)的定子電流，保證了重投成功。文獻(xiàn)［8］運(yùn)用波波夫穩(wěn)定性理論建立了全階自適應(yīng)觀測(cè)器無速度傳感器控制系統(tǒng)，采用中心向兩側(cè)檢索方法估算初始重投轉(zhuǎn)速，保證了重投勵(lì)磁成功。文獻(xiàn)［9-10］將轉(zhuǎn)子反電動(dòng)勢(shì)非線性模型輸入輸出線性化與無速度傳感器矢量控制相結(jié)合，簡單實(shí)現(xiàn)了重投系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。然而，上述研究方法中理論和仿真分析利用的電機(jī)數(shù)學(xué)模型階數(shù)較高，不利于運(yùn)算；轉(zhuǎn)子反電動(dòng)勢(shì)的非線性模型未考慮定子電流而導(dǎo)致數(shù)學(xué)模型不精準(zhǔn)，進(jìn)而可能會(huì)導(dǎo)致重投失敗。重合閘的控制方法裝置復(fù)雜，沒有充分利用定子殘壓來減小瞬態(tài)沖擊電流和瞬態(tài)沖擊轉(zhuǎn)矩，未能很好地解決電機(jī)的斷電帶速重投問題。

本文首先根據(jù)屏蔽式感應(yīng)電機(jī)的特殊結(jié)構(gòu)建立電機(jī)的空間向量法模型，設(shè)計(jì)基于電壓電流混合磁鏈觀測(cè)的模型參考自適應(yīng)（model reference adaptive system， MRAS）轉(zhuǎn)速估算策略。在此基礎(chǔ)上，對(duì)屏蔽感應(yīng)電機(jī)失電后定子殘壓、斷電轉(zhuǎn)速進(jìn)行理論分析和解析式推導(dǎo)，提出利用虛擬重投電壓源替代斷電后原控制系統(tǒng)輸出電壓的方法，運(yùn)用殘壓比較控制器中的希爾伯特變換（Hilbert）函數(shù)，對(duì)失電殘壓和虛擬重投電壓間的電壓差和相角差特性進(jìn)行分析，據(jù)此確定首次重投點(diǎn)及其次重投點(diǎn)，并通過軟件仿真及4 kW樣機(jī)失電殘壓實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證無速度傳感器殘壓差控制策略的準(zhǔn)確性和工程實(shí)用性。

1 真空泵屏蔽電機(jī)斷電處理方法及空間向量法模型

1.1 定子繞組斷電過程處理方法

屏蔽感應(yīng)電機(jī)斷電時(shí)，瞬態(tài)熄弧過程錯(cuò)綜復(fù)雜，目前對(duì)斷電過程常采用3種處理方法［11］：

1）認(rèn)為電源斷開時(shí)，定子三相繞組同時(shí)斷開，即定子三相電流立刻為0。這種處理方法最簡單，但與屏蔽電機(jī)斷電實(shí)際工程情況有些差別。

2）認(rèn)為電源斷電時(shí)，定子三相電流不立即變?yōu)?，而是以指數(shù)規(guī)律逐漸衰減至0。這種方法雖然接近實(shí)際工況，但衰減時(shí)間難以確定，工程實(shí)用性較差。

3）認(rèn)為電源斷電時(shí)，在某相電流過零時(shí)該相定子電流先關(guān)斷。隨后，其余兩相電流于過零處再同時(shí)關(guān)斷。這種方法更貼近實(shí)際斷電過程，但電機(jī)三相定子繞組瞬態(tài)關(guān)斷過程較復(fù)雜，涉及三相對(duì)稱、兩相不對(duì)稱及三相定子完全斷電狀態(tài)，難以建立適合工程穩(wěn)態(tài)分析的瞬態(tài)斷電期間的數(shù)學(xué)模型。

為確定屏蔽感應(yīng)電機(jī)繞組斷電時(shí)的處理方法，對(duì)電機(jī)進(jìn)行斷電仿真。圖1為2 s時(shí)真空泵發(fā)生故障沖擊電機(jī)斷電時(shí)的定子三相電流波形，可以發(fā)現(xiàn)，階段1為定子三相繞組斷電瞬態(tài)過程，階段2為定子三相繞組電流均過零關(guān)斷后的狀態(tài)。本文主要研究直排大氣工況沖擊屏蔽電機(jī)斷電后的少降速重投，關(guān)注的是電源斷開后其定子殘壓的大小和相位，失電殘壓初值對(duì)帶速重投影響很小，所以可對(duì)第3）種斷電處理方法進(jìn)行簡化，忽略第3）種方法的瞬態(tài)關(guān)斷過程（階段1），從三相定子電流均過零關(guān)斷后（階段2）來深入研究屏蔽電機(jī)的失電特性。但是，應(yīng)考慮階段1的三相電流均完成過零關(guān)斷的時(shí)間點(diǎn)，在該時(shí)間點(diǎn)后才可進(jìn)行電機(jī)重投。

4 殘壓差真空泵屏蔽電機(jī)重投控制系統(tǒng)

根據(jù)真空泵用屏蔽電機(jī)的空間向量法模型以及失電殘壓機(jī)理解析設(shè)計(jì)了真空干泵用屏蔽電機(jī)無速度傳感器殘壓差重投控制系統(tǒng)，如圖4所示。控制系統(tǒng)主要由給定轉(zhuǎn)速計(jì)算模塊、基于電壓電流磁鏈觀測(cè)器的轉(zhuǎn)速估算模塊、殘壓比較控制器、虛擬電壓源模塊、空間矢量脈寬調(diào)制（space vector pulse width module，SVPWM）模塊、斷電轉(zhuǎn)速估算模塊等組成。電機(jī)帶電正常運(yùn)行時(shí)采用MRAS轉(zhuǎn)速估算，當(dāng)電機(jī)斷電時(shí)采用斷電轉(zhuǎn)速估算模塊對(duì)轉(zhuǎn)速進(jìn)行推算。殘壓比較控制器輸出虛擬電壓源與定子失電殘壓的電壓差幅值和相角差特性，進(jìn)而確定重投的有利時(shí)刻，輸出指令控制斷路器QF1，電機(jī)二次上電帶速重投。

4.1 虛擬重投電壓源

當(dāng)屏蔽電機(jī)重新上電時(shí)，重投電壓UABC與定子殘壓的電壓差幅值和相位差對(duì)電機(jī)沖擊起主導(dǎo)作用，實(shí)時(shí)檢測(cè)重投電壓和定子失電殘壓是確定有利重投時(shí)刻的關(guān)鍵因素［19］。為確定有利的重投時(shí)刻，設(shè)計(jì)虛擬電壓源U′ABC模擬斷電期間當(dāng)前控制系統(tǒng)輸出的三相電壓UABC。虛擬重投電壓源示意圖如圖5所示。

定義當(dāng)前控制系統(tǒng)為控制系統(tǒng)1，虛擬控制系統(tǒng)為控制系統(tǒng)2。電機(jī)斷電后，斷路器開關(guān)QF1斷開，控制系統(tǒng)1斷電。同時(shí)控制系統(tǒng)2開始工作，輸出虛擬電壓U′ABC，并不斷與定子失電殘壓對(duì)比，輸出兩者幅值差和相角差，以此確定有利的重投時(shí)刻，控制斷路器QF1接通，進(jìn)而控制系統(tǒng)恢復(fù)供電。

經(jīng)過虛擬重投電壓源的電壓和定子失電殘壓實(shí)時(shí)比較，在殘壓比較控制器中進(jìn)行計(jì)算，可得二者電壓差，然后運(yùn)用希爾伯特變換（Hilbert）函數(shù)計(jì)算定子殘壓與重投電壓間幅值差和相角差，進(jìn)而確定有利的重投時(shí)刻。

4.2 殘壓比較控制器

殘壓比較控制器中運(yùn)用希爾伯特變換（Hilbert）函數(shù)，將模擬重投電壓與定子殘壓的電壓差作為目標(biāo)函數(shù)，對(duì)非平穩(wěn)信號(hào)的目標(biāo)函數(shù)運(yùn)用希爾伯特變換（Hilbert）計(jì)算出解析信號(hào)，將解析信號(hào)取模會(huì)得出包絡(luò)信號(hào)，然后再進(jìn)行傅里葉變換，最終生成電壓差幅值Hilbert包絡(luò)譜，如圖6所示。

根據(jù)仿真計(jì)算的定子失電殘壓及虛擬重投電壓得出兩者電壓差幅值。對(duì)斷電時(shí)刻初期電壓差幅值的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，并與斷電時(shí)相角差特性進(jìn)行合并分析，可得電壓差和相角差特性如圖7所示，進(jìn)而可確定有利的重投時(shí)刻。

由圖7可知，兩者電壓差幅值和相角差的變化可分為2個(gè)階段。第1階段：相角差從0逐漸增大到180°。當(dāng)相角差為180°時(shí)，虛擬重投電壓和定子A相殘壓反向，電壓差幅值因此達(dá)到最大值，此時(shí)重投電源沖擊較大，不適合重投。第2階段：相角差由-180°逐漸變化到0，當(dāng)相角差為0時(shí)，虛擬重投電壓和定子A相殘壓同相位，兩者電壓差幅值達(dá)到最小值，適合重投。隨著時(shí)間推移，兩者電壓差和相角差變化也越來越快，當(dāng)電機(jī)A相殘壓衰減至0后，電壓差幅值和相角差為虛擬重投電壓幅值和相角，并按其幅值和頻率變化。

在圖7中第一次相角差為0時(shí)，電壓差幅值第一次達(dá)到最小，定義該點(diǎn)為首次重投點(diǎn)；在第二次相角差為0時(shí)，電壓差幅值第二次達(dá)到最小，定義該區(qū)域?yàn)槠浯沃赝饵c(diǎn)。電機(jī)斷電后，越快重投將越有利，可以選擇首次重投點(diǎn)進(jìn)行重投，首次重投點(diǎn)若不能實(shí)現(xiàn)，可考慮在其次重投點(diǎn)重投。

5 實(shí)驗(yàn)及仿真驗(yàn)證

根據(jù)MathsWorks公司的MATLAB/Simulink軟件建立真空干泵用屏蔽式感應(yīng)電機(jī)無速度傳感器殘壓差重投控制系統(tǒng)，利用4 kW屏蔽式感應(yīng)電機(jī)機(jī)組實(shí)驗(yàn)平臺(tái)對(duì)電機(jī)斷電后定子A相失電殘壓進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)量，之后對(duì)殘壓差重投控制策略進(jìn)行軟件仿真，驗(yàn)證了屏蔽式感應(yīng)電機(jī)殘壓差重投方法的可行性。屏蔽感應(yīng)電機(jī)定子失電殘壓實(shí)驗(yàn)平臺(tái)如圖8所示，屏蔽式感應(yīng)電機(jī)參數(shù)見表1。

實(shí)驗(yàn)裝置主要包括4 kW屏蔽式感應(yīng)電機(jī)機(jī)組、磁粉制動(dòng)器、磁粉控制器、示波器、轉(zhuǎn)矩轉(zhuǎn)速分析儀、功率分析儀、變頻器、水冷機(jī)、電流表、電壓表、控制柜等。變頻器設(shè)置電機(jī)額定頻率、電流保護(hù)、過載保護(hù)等。

5.1 屏蔽式感應(yīng)電機(jī)殘壓實(shí)驗(yàn)結(jié)果

實(shí)驗(yàn)前，調(diào)整電機(jī)與磁粉制動(dòng)器的軸平行度及對(duì)中度，設(shè)置變頻器、功率分析儀以及轉(zhuǎn)矩轉(zhuǎn)速測(cè)量儀等參數(shù)，起動(dòng)電機(jī)升頻至額定轉(zhuǎn)速6 000 r/min，待轉(zhuǎn)速穩(wěn)定后，電機(jī)斷電，使用示波器測(cè)量電機(jī)A相定子繞組失電殘壓，殘壓實(shí)驗(yàn)波形及放大圖如圖9（a）及圖9（b）所示。利用MATLAB/Simulink軟件，在2 s時(shí)進(jìn)行屏蔽感應(yīng)電機(jī)失電殘壓實(shí)驗(yàn)，失電殘壓仿真波形如圖9（c）所示。

由圖9可以看出，斷電后定子A相失電殘壓幅值和頻率隨著時(shí)間的推移在逐漸減小。對(duì)比示波器實(shí)驗(yàn)波形及軟件仿真波形，結(jié)果表明本文控制方法可以準(zhǔn)確計(jì)算電機(jī)斷電后的定子失電殘壓，為殘壓差重投奠定了理論和實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。

5.2 殘壓差重投仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果

屏蔽感應(yīng)電機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行后，通過斷路器QF1控制電機(jī)的斷電，根據(jù)圖7確定的重投點(diǎn)，分別在首次重投點(diǎn)（t=2.047 s）、其次重投點(diǎn)（t=2.075 s）進(jìn)行仿真驗(yàn)證，可得2種重投方式下的定子三相電流仿真波形。同時(shí)在其次重投點(diǎn)（t=2.075 s）不采用殘壓差重投，而進(jìn)行直接重投仿真，驗(yàn)證殘壓差重投的可行性，波形如圖10所示。

由圖10可知，在首次重投點(diǎn)重投時(shí)，定子三相電流峰值大小為22.32 A；在其次重投點(diǎn)重投時(shí)，定子三相電流峰值大小為27.80 A；采用直接重投時(shí)，定子三相電流峰值大小為54.69 A，電流大且無規(guī)律波動(dòng)。分析可知，在首次重投點(diǎn)重投較在其次重投點(diǎn)重投的殘壓和重投電壓差幅值更小，重投時(shí)電壓沖擊更小，所以重投時(shí)定子三相電流的峰值更小，而直接重投時(shí)，由于重投電壓相位和殘壓相位的耦合作用，導(dǎo)致重投失敗，引起持續(xù)的不穩(wěn)定電流波動(dòng)。因此，采用殘壓差重投的控制策略可以有效減小重投的沖擊電流，避免因電機(jī)定子電流過大導(dǎo)致變頻器沖擊關(guān)斷、重投失敗等問題的發(fā)生。

圖11為不同重投方式下的電機(jī)轉(zhuǎn)速波形，從圖11（a）和圖11（b）可以看出，在首次重投點(diǎn)重投時(shí)電機(jī)轉(zhuǎn)速降至5 500 r/min，在其次重投點(diǎn)重投時(shí)電機(jī)轉(zhuǎn)速降至5 350 r/min，越快重投，電機(jī)的轉(zhuǎn)速降低得越少，恢復(fù)至額定轉(zhuǎn)速所用的時(shí)間越短。用殘壓差重投控制方法，電機(jī)在帶電正常運(yùn)行及斷電期間，轉(zhuǎn)速估算準(zhǔn)確，重投時(shí)刻轉(zhuǎn)速波動(dòng)小、達(dá)到額定轉(zhuǎn)速時(shí)間短。重投成功后推算轉(zhuǎn)速也能快速跟隨電機(jī)實(shí)際轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定時(shí)間在0.5 s內(nèi)，保證了帶速重投的成功。從圖11（c）可以看出，電機(jī)采用直接重投方法重投失敗。主要由于電機(jī)斷電后，定子電流變?yōu)?，MRAS的轉(zhuǎn)速估算將不再適用，磁鏈觀測(cè)器不能對(duì)磁場(chǎng)精準(zhǔn)定向，不能準(zhǔn)確地估算斷電轉(zhuǎn)速，重投時(shí)刻估算轉(zhuǎn)速遠(yuǎn)小于電機(jī)實(shí)際轉(zhuǎn)速，使得電磁轉(zhuǎn)矩的性質(zhì)為制動(dòng)轉(zhuǎn)矩，電磁轉(zhuǎn)矩跌落，電流及轉(zhuǎn)速波動(dòng)較大，導(dǎo)致電機(jī)重投失敗。

6 結(jié) 論

本文提出利用電機(jī)定子殘壓和虛擬重投電壓間的電壓差幅值和相角差特性確定帶速重投的有利時(shí)刻，設(shè)計(jì)了適用于真空干泵用屏蔽感應(yīng)電機(jī)的無速度傳感器殘壓差重投控制系統(tǒng)。確定了帶速重投的首次重投區(qū)域、其次重投區(qū)域。

1）根據(jù)解析計(jì)算得到的定子殘壓和虛擬重投電壓確定了定子殘壓和重投電壓的電壓差幅值和相角差特性，進(jìn)而判斷出適合屏蔽感應(yīng)電機(jī)的首次重投點(diǎn)和其次重投點(diǎn)。

2）建立基于電壓電流混合模型的轉(zhuǎn)速估計(jì)策略，估算準(zhǔn)確，對(duì)于大慣量交流電機(jī)如屏蔽電機(jī)、泵類負(fù)載電機(jī)等具有很好的適用性。

3）通過對(duì)4 kW屏蔽式感應(yīng)電機(jī)機(jī)組進(jìn)行斷電殘壓實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了電機(jī)斷電后定子失電殘壓的存在以及所計(jì)算的失電殘壓的準(zhǔn)確性。

4）通過Simulink仿真驗(yàn)證了無速度傳感器殘壓差重投的控制策略能有效抑制重投時(shí)刻電流沖擊，重投階段的沖擊電流平均減小59.18%，重投階段的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定時(shí)間為0.5 s以內(nèi)。為提高真空干泵用屏蔽式感應(yīng)電機(jī)帶速重投提供了理論基礎(chǔ)。

參 考 文 獻(xiàn)：

［1］ 鄧文宇， 齊麗君， 王光玉， 等.中國高端真空泵驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展［J］.電機(jī)與控制應(yīng)用，2020，47（7）：1.

DENG Wenyu， QI Lijun， WANG Guangyu， et al. Present situation and development of drive motor and control technology for high-end vacuum pump in China ［J］. Electric Machines and Control Application，2020，47（7）：1.

［2］ 馬義剛， 李智慧. 超高真空和高真空技術(shù)的應(yīng)用［J］. 真空， 2021， 58（4）： 98.

MA Yigang， LI Zhihui. Application of ultra-high and high vacuum technology ［J］. Vacuum， 2021， 58（4）： 98.

［3］ YIN S B， XIA J H， ZHAO Z， et al. Fast restarting of free-running induction motors under speed-sensorless vector control［J］. IEEE Transactions on Industrial Electronics， 2020， 67（7）： 6124.

［4］ 安躍軍， 張志恒， 張振厚， 等. 真空干泵用屏蔽電機(jī)無速度傳感器帶速重投控制系統(tǒng)［J］. 電工技術(shù)學(xué)報(bào)， 2018， 33（12）： 2665.

AN Yuejun， ZHANG Zhiheng， ZHANG Zhenhou， et al. Restarting at unknown speed-sensorless control system of canned motor for vacuum dry pump［J］. Transactions of China Electrotechnical Society，2018，33（12）：2665.

［5］ IURA H， IDE K， HANAMOTO T， et al. An estimation method of rotational direction and speed for freerunning AC machines without speed and voltage sensor［J］. IEEE Transactions on Industry Applications， 2011，47（5）：153.

［6］ GABARAANE T， BARENDSE P S， KHAN A. Reclosing transients in standard and premium efficiency induction machines in the presence of voltage unbalance［C］//2006 IEEE Energy Conversion Congress And Exposition（ECCE），September 18-22，2016，Milwaukee， WI，USA.2016：1-7.

［7］ 唐捷. 異步電機(jī)無速度傳感器 DTC系統(tǒng)帶速重啟動(dòng)控制研究［J］. 科技創(chuàng)新與應(yīng)用，2016（18）：54.

TANG Jie. Asynchronous motor speed sensorless DTC system with speed reset control research［J］. Technology Innovation and Application， 2016（18）： 54.

［8］ 劉輝， 雷亞洲， 曾禮. 異步電機(jī)無速度傳感器帶速重 投策略［J］. 電機(jī)與控制應(yīng)用， 2018，45（5）： 1.

LIU Hui， LEI Yazhou， ZENG Li. Speed sensorless control and restarting at unknown speed of induction motor［J］. Electric Machines and Control Application，2018，45（5）：1.

［9］ FUJINAMI K， TAKAHASHI K， KONDO K. A restarting method of an induction motor speed-sensorless vector control system for a small-sized wind turbine power generator system［C］//2009 International Conference on Electrical Machines and Systems， November 15-18， 2009， Tokyo， Japan.2009：1320-1324.

［10］ 茍立峰， 王琛琛， 游小杰， 等.基于積分滑膜的感應(yīng)電機(jī)無速度傳感器帶速重投控制策略［J］.電工技術(shù)學(xué)報(bào)， 2018，33（24）：5700.

GOU Lifeng， WANG Chenchen， YOU Xiaojie， et al.A restart method based on integral sliding mode for speed sensorless controlled induction motor［J］. Transactions of China Electrotechnical Society，2018，33（24）：5700.

［11］ 崔學(xué)深， 張自力， 李和明， 等. 感應(yīng)電機(jī)電源切換中殘壓和電壓差的研究及最優(yōu)切換策略［J］. 電工技術(shù)學(xué)報(bào)，2015，30（2）：162.

CUI Xueshen， ZHANG Zili， LI Heming， et al. Residual voltage， voltage difference and optimal switching strategy during the power switching of induction motors［J］. Transactions of China Electrotechnical Society，2015，30（2）：162.

［12］ 秦鑫， 安躍軍， 張志恒， 等. 化工泵用新型復(fù)合鼠籠結(jié)構(gòu)屏蔽電機(jī)驅(qū)動(dòng)性能及多物理場(chǎng)分析［J］.電機(jī)與控制應(yīng)用， 2020，47（5）：3.

QIN Xin， AN Yuejun， ZHANG Zhiheng， et al. Driving performance and multiphysics analysis of new composite squirrel cage structure canned motor for chemical pumps［J］. Electric Machines and Control Application，2020，47（5）：3.

［13］ 安躍軍， 李明， 鄧文宇， 等.一種低渦流損耗高效屏蔽電泵： CN111614210B［P］.2022.

［14］ 安躍軍， 殷福久， 王光玉， 等.真空干泵屏蔽電動(dòng)機(jī)溫度場(chǎng)與屏蔽套應(yīng)力場(chǎng)分析［J］.沈陽工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)，2016，38（2）：121.

AN Yuejun， YIN Fujiu， WANG Guangyu， et al. Analysis for temperature field and can stress field of vacuum pump canned motor［J］. Journal of Shenyang University of Technology，2016，38（2）：121.

［15］ 梁艷萍， 張廣超， 高蓮蓮， 等.核主泵驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)屏蔽套渦流損耗混合算法研究［J］.電工技術(shù)學(xué)報(bào)，2018，33（5）：1015.

LIANG Yanping， ZHANG Guangchao， GAO Lianlian，et al. Research on hybrid algorithm of can losses in double canned induction motor for nuclear pump［J］. Transactions of China Electrotechnical Society， 2018，33（5）：1015.

［16］ 包廣清， 祁武剛. 基于MRAS的異步電機(jī)無速度傳感器應(yīng)用研究［J］. 微特電機(jī)，2020，48（3）： 43.

BAO Guangqing， QI Wugang. Application research of speed sensorless asynchronous motor based on MRAS［J］. Small amp; Special Electrical Machines，2020，48（3）：43.

［17］ 湯蘊(yùn)璆， 王成元. 交流電機(jī)動(dòng)態(tài)分析［M］. 北京：機(jī)械工業(yè)出版社，2015.

［18］ 高吉增， 楊玉磊， 崔學(xué)深. 感應(yīng)電動(dòng)機(jī)失電殘壓的研究及其對(duì)重合過程的影響［J］. 電力系統(tǒng)保護(hù)與控制，2009，37（4）：4.

GAO Jizeng， YANG Yulei， CUI Xueshen. The research of the residual voltage of induction motor after dumping and its influence during restoration［J］. Power System Protection and Control，2009，37（4）：4.

［19］ 高雅， 劉衛(wèi)國， 駱光照. PMSM斷電-重投時(shí)的沖擊電流研究［J］. 電機(jī)與控制學(xué)報(bào)，2017，21（3）：55.

GAO Ya， LIU Weiguo， LUO Guangzhao. Research of surge current for PMSM when power down-rejoining on［J］. Electric Machines and Control，2017，21（3）：55.

（編輯：邱赫男）